Вакуумные затворы | Стандартные вакуумные затворы | Алюминиевые вакуумные затворы | Вакуумные затворы с миллионным циклом | Вакуумные затворы для агрессивных приложений

Вакуумные затворы. Стандартные вакуумные затворы для общевакуумных приложений. Алюминиевые вакуумные затворы. Вакуумные затворы с миллионным циклом. Вакуумные затворы для агрессивных приложений

Более 40 лет деятельность компании HVA (США) посвящена созданию вакуумных затворов высочайшего качества (до 2004 года компания называлась High Vacuum Apparatus).

Завод HVA оснащён самым современным металлообрабатывающим оборудованием с компьютерным управлением, для проектирования клапанов используется современное 3D программное обеспечение.
Каждый шаг производства строго контролируется: от получения сырья, изготовления сильфонов или других узлов, до сборки и конечного продукта – самих вакуумных шиберов.
Корпус вакуумных затворов и все основные внутренние узлы вакуумных затворов спаяны или сварены в вакуумных камерах на нашем производстве.
Это исключает появление виртуальных течей и искривление корпуса при эксплуатации вакуумного затвора, что иногда наблюдается при обычном, не вакуумном, изготовлении вакуумных затворов.
После контроля всех узлов, они перемещаются в чистую комнату для окончательной сборки, тестирования на герметичность, и упаковки.
Описанные здесь ключевые моменты производства вакуумных затворов производства HVA обеспечивают их высокое качество, и гарантируют их надежное функционирование в самых сложных вакуумных процессах.

Большой опыт работы с клиентами из разных областей позволил компании наряду с универсальными вакуумными затворами предложить большую линейку специальных вакуумных затворов для разных областей промышленности (стандартная серийно выпускаемая линейка состоит из вакуумных затворов с диаметром перекрываемого отверстия от 16 до 1250 мм).

Основные приоритеты компании HVA: высочайшее качество, профессиональный инжиниринг, обеспечение соответствия требованиям ТЗ специализированных заказчиков. Поэтому, если вы не подобрали вакуумный затвор для вашего приложения, обратитесь в компанию АКТАН, наши инженеры совместно с инженерами компании HVA подберут, и если необходимо – разработают и изготовят вакуумный затвор (вакуумный шибер) под вашу задачу.

Особенно обращаем ваше внимание, что изготавливаемые вакуумные затворы, в отличие от некоторых других производителей (особенно азиатских) имеют сильфонное уплотнение штока и электрополировку поверхности внутренних узлов.

Когда вы проектируете или модернизируете свою вакуумную систему, обратитесь к нам – мы всегда дадим альтернативное имеющемуся у вас решению, при этом наше предложение будет интересным по цене при сохранении высочайшего качества предлагаемых вакуумных затворов.

Основные преимущества вакуумных затворов HVA

■ Вакуумные затворы (вакуумные шиберы) остаются герметично закрытыми даже в случае проблем со сжатым воздухом или электропитанием, которые подаются для управления работой вакуумного затвора, что обеспечивается уникальной конструкцией механизма фиксации соединения тарелка-седло вакуумного затвора. При этом данный механизм прост и надежен в работе, что обеспечивает повышенный ресурс работы вакуумного шибера.
■ Наименьшая площадь внутренних частей и механизмов среди вакуумных затворов всех производителей
■ Линейный привод внутри вакуумного затвора герметично изолирован сильфоном, в конструкции затвора не используются «открытые в вакуум» приводы (например, вакуумные приводы вращения, которые уменьшает проблему «чистоты» вакуума по сравнению с открытыми линейными приводами, но не решают её полностью). Вибрация и удар в момент закрытия вакуумного затвора значительно меньше по сравнению с вакуумными затворами других производителей благодаря уникальной конструкции пневматического цилиндра вакуумного шибера. Данная особенность вакуумных затворов позволила использовать их на многих вакуумных установках в полупроводниковой промышленности, где требуется относительно безвибрационная работа вакуумного затвора.
■ Все внутренние механизмы легко извлекаются из корпуса вакуумных затворов, что обеспечивает легкость их сервисного обслуживания.

Серия 11000 – стандартные вакуумные затворы для общевакуумных приложений

■ Ду от 16 до 600 мм
■ Ручное или электропневматическое управление
■ Сильфоны из нержавеющей стали, обеспечивающие «чистоту» вакуума
■ Большой выбор фланцев, стандартных или изготовленных под заказ
■ Управление клапаном с помощью соленоида, наличие ручной коррекции
■ Корпус и внутренние узлы выполнены с помощью вакуумной пайки при температуре 1100°С, что обеспечивает максимальную герметичность вакуумных затворов.
■ Опционно данный вакуумный затвор может быть поставлен с функцией плавного закрытия с пневматическим фиксированием тарелки к седлу.

Стандартные вакуумные затворы предназначены для работы с ТМН, криовакуумными насосами, магниторазрядными вакуумными насосами, и в других вакуумных приложениях, требующих вакуумных затворов с низкой дегазацией поверхностей, или вакуумных затворов, не образующих частиц вследствие трения механизмов внутри затвора (полупроводниковая промышленность).
Рабочий вакуум: до 1х10^-10 мбар
Герметичность по гелию: < 2х10^-9 мбар × л/сек
Количество циклов: 100 000
Подробное описание и технические характеристики вакуумных затворов серии 11000

Серия 81000 – алюминиевые вакуумные затворы

Серия 81000 – алюминиевые вакуумные затворы

■ Корпус вакуумного затвора прецизионно изготовлен из болванки алюминиевого сплава, что исключает появление скрытых раковин, трещин и прочих неоднородностей металла, приводящих к виртуальным течам
■ Уменьшенное трение внутренних компонентов, значительно снижено количество образующихся частиц
■ Меньшая стоимость по сравнению с вакуумными затворами из нержавеющей стали
■ Меньшая дегазация водорода по сравнению с вакуумными затворами из нержавеющей стали
■ Уменьшенная вибрация за счет использования непосредственного привода штока вакуумного затвора (изготовленного из нержавеющей стали марки 304)
Рабочий вакуум: до 1х10^-7 мбар
Герметичность по гелию: < 2х10^-9 мбар × л/сек
Количество циклов: 400 000 (Ду40 – Ду160)
250 000 (Ду200-Ду320)
Подробное описание и технические характеристики вакуумных затворов серии 81000

Серия 21200 – вакуумные затворы с миллионным циклом

Серия 21200 – Вакуумные затворы с миллионным циклом

Данная серия вакуумных затворов разработана для высоковакуумных приложений, в которых уровень вакуума составляет примерно 1х10^-9 мбар и температура прогрева системы не превышает 150°C. Внутри вакуума отсутствуют механические защелки или блокировки тарелки вакуумного затвора, что является большим преимуществом для таких приложений, как полупроводниковая промышленность или нанотехнологии, требующих безвибрационного функционирования вакуумного затвора. Все узлы подвижных соединений изготовлены из специальной закаленной стали, что значительно уменьшает образование частиц вследствие трения и обеспечивает более плавное перемещение штока.

Данные вакуумные затворы предназначены для работы с криовакуумными насосами, магниторазрядными вакуумными насосами, и в других вакуумных приложениях, где необходимо обеспечить длительную работу вакуумного затвора, низкую дегазацию поверхностей, а также не образующих частиц вследствие трения механизмов внутри затвора. Рабочий вакуум: 1х10^-9 мбар
Герметичность по гелию: < 2х10^-9 мбар × л/сек
Количество циклов: 1 млн.

Серия 21700 - 3-х позиционный вакуумный затвор

Серия 21700 - 3-х позиционный вакуумный затвор

Данная серия вакуумных затворов разработана для процессов вакуумного травления, вакуумного напыления, и для других техпроцессов, требующих контроля уровня давления в камере. Когда данные вакуумные затворы работают в одной системе управления вместе с регуляторами расхода газа, они обеспечивают исключительные возможности по контролю уровня вакуума в вакуумной системе. Данный вакуумный шибер может быть использован для сглаживания, более плавного изменения давления в вакуумной системе при переходе от низкого вакуума к высокому вакууму. Уплотняющая тарелка данного вакуумного затвора может находиться в одном из трех положений: полностью открытом, полностью закрытом, промежуточном положении. Механическая предустановка промежуточного положения тарелки вакуумного затвора и последующее дистанционное управление. Индикаторы позиции для всех трёх состояний уплотняющей тарелки вакуумного затвора.
Рабочий вакуум: 1х10^-9 мбар
Герметичность по гелию: < 1х10^-9 мбар × л/сек
Количество циклов: 1 млн.
Подробное описание и технические характеристики вакуумных затворов серии 21700

Серия 71000 - вакуумные затворы для агрессивных приложений
Серия 71000 Вакуумные затворы для агрессивных приложений

Данные вакуумные затворы разработаны для наиболее агрессивных вакуумных приложений, таких как плазмохимическое осаждение (PECVD) или травление, металлорганическое вакуумное осаждение (MOCVD), атомное послойное осаждение (ALD), в которых техпроцесс характеризуется подачей агрессивных газов и высокой температурой техпроцесса. Подаваемые в камеру реагенты или обязующиеся в вакуумной камере побочные продукты негативно сказываются на работе траспортировочного механизма, подшипников, и могут вызвать «заедание» движения штока. Все это учтено в вакуумном затворе для агрессивных приложения серии 71000, в котором все подвижные части и сильфон изолированы от среды техпроцесса. Также данный затвор может открываться при перепаде давления 1 атм, а не 30 мбар, как в большинстве вакуумных затворов других серий компании HVA или вакуумных затворов других производителей.
Высокая надежность - для применения в самых «жестких» техпроцессах
Увеличенная безопасность – надежная конструкция двойного защитного экрана
Необслуживаемые сильфоны - Сильфон изолирован от среды техпроцесса
Уменьшенное время простоя – Лёгкость чистки и замены уплотнителей
Рабочий вакуум: 1х10^-9 мбар
Герметичность по гелию: < 1х10^-9 мбар × л/сек
Количество циклов: > 250 000 (зависит от процесса)
Перепад давления при открытии: 1 атм
Подробное описание и технические характеристики вакуумных затворов серии 71000 ПРЯМОУГОЛЬНЫЕ ЩЕЛЕВЫЕ ЗАТВОРЫ ИЗ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ СЕРИИ 28200

ПРЯМОУГОЛЬНЫЕ ЩЕЛЕВЫЕ ЗАТВОРЫ ИЗ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ СЕРИИ 28200