АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru


Вакуумметры. Измерители вакуума.
Анализаторы остаточных газов (RGA)
Вакуумные клапаны
Вакуумные камеры
Вакуумные затворы
Вакуумная арматура
Вакуумные окна
Двери вакуумные быстрого
доступа
Электрические вакуумные вводы
Вакуумные вводы вращения
Вакуумные сильфоны и
вакуумные ПВХ шланги
Вакуумные масла и смазки
Вакуумные уплотнения

Турбомолекулярные насосы
Пластинчато-роторные двухкамерные
насосы ADVAVAC
Ловушки и фильтры для
вакуумных насосов
Пластинчато-роторные одноступенчатые
насосы VACANT
Вакуумные спиральные насосы
ACTAN VACSCROLL
Безмасляные винтовые насосы
Вакуумные откачные посты





Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

Вакуумное оборудование


Новая серия HVA 88200 - Алюминиевые перепускные затворы

Новая серия HVA 88200 - Алюминиевые перепускные задвижки

OEM интеграция. Все наши продукты разрабатываются с учетом обеспечения совместимости с новейшим электронным оборудованием и предлагают решение для обновления аналогичного оборудования предыдущих поколений. Будь то установки для травления, химического осаждения из паровой фазы, физического осаждения паров или имплантационная установка, затворы серии HVA везде обеспечат простую интеграцию для всех ваших приложений. Наши затворы имеют стандартные фланцы для подсоединения к магистралям 150, 200, 300 и 450 мм. 
Универсальные размеры. Если вам нужен уникальный затвор, мы можем разработать для вас затвор произвольного размера и с нестандартными фланцами размером до 4000 мм. 
Совместимость с процессом. Каждый затвор покидает наше производство с высококачественным анодированным покрытием по стандарту MIL SPEC type II. Неотъемлемая черта конструкции затворов серии HVA – возможность работы в процессах с высокой температурой до 150 °C. Опционально возможны модели для более высоких температур.
Вакуумные характеристики. Корпус и тарелка прецизионно-точно изготавливаются из заготовки High Grade 6061 T6. Для уменьшения утечек в производственном процессе не используется сварка и литье. Когда вы используете затвор серии HVA, вы  можете быть уверены, что получите наилучшие характеристики вакуума. 
Надежность системы. Затворы серии HVA оснащены штоками из закаленной нержавеющей стали и нашей молибденовой очистительной системой защиты для гарантии, что затворы будут продолжать работать и после многочисленных разрушений подложки и обеспечат сервисный интервал в более чем 2 000 000 циклов. 
Простота обслуживания / Эффективность по стоимости. Мы разработали список наших сервисных процедур максимально гибко. Список стандартных процедур сервисного обслуживания может быть изменен по просьбе пользователя на меньший объем регулярных процедур, что уменьшит время простоя и стоимость обслуживания. 
Пожизненная гарантия. Вы можете быть уверены, что сделали разумный выбор. Мы подтверждаем качество каждого выпущенного заводом затвора нашей ограниченной пожизненной гарантией.*
(* стандартное сервисное обслуживание, за исключением уплотнительных колец и гофрированной мембраны. Частота обслуживания зависит от условий процесса)

Спецификация серии 88200

Материалы  
Корпус и тарелка Алюминий 6061-T6
Сварное гофрированное уплотнение штока AM-350
Привод и штифты Закаленная нержавеющая сталь
Уплотнение верхней крышки к корпусу/тарелки Уплотнительные кольца
Viton®, опционально FFKM
Вакуумные характеристики  
Рабочий вакуум до 1 x 10-9 мбар
Натекание по гелию < 2 x 10-9 мбар л/с
Перепад давлений в закрытом состоянии 1.5 бар в любом направлении
Перепад давлений перед открытием

≤ 30 мбар

Рабочая температура Без соленоида
Корпус 150°C
Привод 60°C
Привод:
Пневматический 2 - 7 бар
Соленоид (При отключении напряжения тарелка остается в том же положении) 4.3 Вт
Индикатор положения, макс. ~115 В или +28 В, 20 мА
Положение для монтажа любое
Циклов до сервисного обслуживания >2,000,000
в зависимости от процесса



Стандартные технические характеристики серии 88200
DN

мм

дюйм

32 x 222

1.26 x 8.74

46 x 236

1.81 x 9.29

50 x 336

1.97 x 13.23

56 x 496

1.81 x 9.29
A

мм

дюйм

203.2

8.00

203.2

8.00

203.2

8.00

249.9

9.84
B

мм

дюйм

300.0

11.81

300.0

11.81

400.0

15.75

586.0

23.07
C

мм

дюйм

340.0

13.39

340.0

13.39

440.0

17.32

645.0

25.39
D

мм

дюйм

162.1

6.38

162.1

6.38

162.1

6.38

210.8

8.30
E

мм

дюйм

50.0

1.97

50.0

1.97

50.0

1.97

67.0

2.64
F

мм

дюйм

58.0

2.28

58.0

2.28

58.0

2.28

60.0

2.36
G

мм

дюйм

361.7

14.24

361.7

14.24

361.7

14.24

401.7

15.82

*Размеры могут быть изменены

Информация для заказа

Пневматические с витоновым уплотнением

DN Модели с креплением корпуса на болтах Модели с креплением корпуса на струбцинах
мм дюйм
32 x 220 1.26 x 8.74 88212-0109RXJ 88212-0109RXK
32 x 332 1.26 x 13.0 88212-0113RXJ 88212-0113RXK
46 x 236 1.81 x 9.29 88212-0209RXJ 88212-0209RXK
50 x 336 1.97 x 13.23 88212-0213RXJ 88212-0213RXK
50 x 486 1.97 x 19.13 88212-0219RXJ 88212-0219RXK

Включает индикатор положения на герконах и соленоид на ~120 В. Для заказа соленоида на 24 В надо изменить 2 на 1: 8821[1]-

Опции:
Твердое анодирование корпуса и тарелки
Пульт электрического управления
Контроль температуры
Альтернативный материал для кольцевых уплотнений
Переходные детали для фланцев
Порт предварительной откачки
Подготовка корпуса для установки датчиков


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика