2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Компания Extorr несколько десятилетий специализируется на производстве анализаторов остаточных газов (английская аббревиатура RGA – Residual Gas analyzer) - квадрупольных масс-спектрометров со встроенными вакуумным датчиком Пирани (низкий вакуум) и ионизационным высоковакуумным датчиком. Выпускаются квадрупольные масс-спектрометры для диапазонов до 100, 200 и 300 а.е.м. Все модели изготавливаются с фланцем ConFlat 2¾ дюйма. Каждый квадрупольный масс-спектрометр снабжен автоматическим включением и выключением, и имеет автоматическую систему контроля в диапазоне от атмосферы до сверхвысокого вакуума (10^-12 торр). Данная функция позволяет включить квадрупольный масс-спектрометр при атмосфере, не боясь его выхода из строя. Эти и многие другие функции предусмотрены в удобном программном обеспечении, поставляемом с анализатором остаточного газа.

Квадрупольные масс-спектрометры серии ХТ компании Extorr предлагают исключительные характеристики, надежность и удобство в работе. Данные анализаторы остаточных газов обеспечивают более подробный анализ газов в вакуумной камере по сравнению с анализаторами остаточных газов конкурентов.

Стандартный набор поставки RGA
1. Зонд RGA и медное уплотнительное кольцо. 2. Блок контроля и управления. 3. Болты, винты, шайбы для крепления зонда RGA. 4. Кабель RS-232. 5. Источник питания и кабель питания RGA. 6. Программное обеспечение на CD. 7. Отвертка и шестигранный ключ. Дополнительное оборудование для заказа.

 В поставку квадрупольного масс-спектрометра входит зонд со встроенными вакуумными датчиками, блок управления, и программное обеспечение для контроля газового состава в режиме реального времени.

Квадруполь ХТ компании Extorr идеально подходит для  анализа газов, контроля герметичности (течеискания), мониторинга процессов, происходящих в вакууме.  Часто квадрупольный масс-спектрометр компании Extorr является единственным датчиком вакуума, необходимым вашей вакуумной системе – с помощью него можно контролировать как общее давление, так и парциальное давление находящихся в вакуумной системе газов. При этом с помощью одного программного обеспечения можно управлять несколькими квадрупольными масс-спектрометрами! Данная комбинация гибкости и конкурентная цена делает анализаторы остаточных газов компании Extorr лучшим измерительным инструментов для вашей вакуумной системы.

Наличие встроенных вакуумных датчиков в квадрупольном масс-спектрометре позволяет автоматически включать и отключать RGA и электронный усилитель. Датчик Пирани выполняет защитные функции для ионизационного датчика и для квадрупольного масс-спектрометра, определяя, не находится ли RGA под высоким давлением. Ионный источник зонда анализатора остаточных газов является высокоэффективным источником ионов как для фильтра квадрупольного масс-спектрометра, так и для высоковакуумного датчика типа Байадр-Альперта. Таким образом, общее давление низковакуумного диапазона, высоковакуумного диапазона и парциальное давление может быть измерено одним анализатором остаточных газов - RGA компании Extorr.

 Уникальная конструкция зонда квадрупольного масс-спектрометра. Зонд состоит из источника ионов, квадрупольного масс-фильтра и детектора. Твердо придерживаясь строгих стандартов производства сверхвысоковакуумного оборудования, компания создала новую, улучшенную по сравнению с конкурентами конструкцию зонда, при этом значительное внимание было уделено надежности работы RGA. Прочная конструкция зонда монтируется к стандартному фланцу ConFlat 2³/₄’’. Край зонда находится на расстоянии 173 мм от фланца. В зонде анализатора остаточного газа есть две нити накаливания из иридия, покрытые торием.

Фланец зонда квадрупольного масс-спектрометра может монтироваться как к фланцу вакуумной камеры, так и к патрубку, который монтируется между зондом RGA и вакуумной камеры. В последнем случае зонд не находится внутри вакуумной камеры, не занимает пространство внутри вакуумной камеры и не мешает проходящим в ней процессам. Зонд анализатора остаточного газа состоит из самосовмещаемых узлов и деталей, что позволяет после чистки производить его сборку легко и быстро.

Блок управления анализатора остаточного газа. Компактный блок управления квадрупольного масс-спектрометра содержит всю электронику, необходимую для управления зондом и передачи данных на компьютер. Для связи с компьютером используется интерфейс RS-232, скорость передачи данных выбирается программно. По умолчанию установлена скорость обмена информацией 115,200 бод (при использовании длинных кабелей или при наличии больших помех рекомендуется использовать меньшую скорость). Если Ваш компьютер не имеет СОМ порта, можно использовать адаптер с USB на COM. В этом случае адаптер необходимо устанавливать со стороны компьютера, так как помехозащищенность USB кабеля хуже. Блок питания RGA питается от источника 24 В прямого тока (2.1А). Электропитание к блоку питания подается от обычного сетевого кабеля, который за дополнительную плату может быть поставлен с квадрупольным масс-спектрометром. Блок управления квадрупольного масс-спектрометра легко демонтируется от зонда с целью прогрева последнего. Программное обеспечение автоматически обновляется с выходом новой версии. Все характеристики работы зонда RGA блоком управления контролируются и передаются на компьютер, эти данные могут быть использованы для диагностики зондов квадрупольного масс-спектрометра.
 

Основные преимущества квадрупольного масс-спектрометра серии ХТ:
RGA c интегрированными датчиками Пирани (на низкий вакуум) и ионизационным (на высокий вакуум)
100, 200 и 300 а.е.м. – самые востребованные диапазоны измерений
Цилиндр Фарадея, дополнительно (по желанию) - электронный усилитель
Программное обеспечение для контроля в режиме реального времени и для управления несколькими RGA
Простая замена нитей накаливания RGA
Разрешающая способность менее 1 а.е.м.
8 порядков динамического диапазона в режиме сканирования единичного масс-спектра, при течеискании и изменении давления во времени
Встроенная диагностика, легкость обновления программного обеспечения и замены узлов квадрупольного масс-спектрометра
Зонд квадрупольного масс-спектрометра полностью помещается в стандартном патрубке с фланцами CF 23/4 дюйма

Нити накаливания зонда RGA длительного срока службы. Для работы анализатора остаточного газа и высоковакуумного ионизационного датчика используются покрытые иридием ториевые нити накаливания длительного срок службы. В зонде анализатора остаточного газа смонтированы две нити накаливания. Их характеристики и режим работы постоянно диагностируются. В случае выхода из строя одной из нитей накаливания работа продолжается на второй, сигнализируя на компьютере пользователю о необходимости замены первой. Узел нитей накаливания анализатора остаточного газа защищен от резкого повышения давления работой низковакуумного и высоковакуумного датчика. Благодаря этой защите нити накаливания RGA компании Extorr имеют более длительный срок службы по сравнению с конкурирующими RGA. Нити накаливания квадрупольных масс-спектрометров легко заменяются собственными силами, процедура замены длится несколько минут. Замена нитей накаливания также возможна сервис-инженерами компании АКТАН ВАКУУМ.

Чувствительный цилиндр Фарадея. В квадрупольных масс-спектрометрах компании Extorr используется чувствительный цилиндр Фарадея на диапазоны масс анализируемых газов от 1 а.е.м. до 100, 200, 300 а.е.м. Сверхчувствительный широкодиапазонный усилитель автоматически определяет ионный ток в диапазоне от 10^-6 до 10^-15 А. Это позволяет получать стабильные результаты при измерении давления от 10^-4 до 10^-11 торр. Большая широта диапазона позволяет видеть на одном скане (графике или таблице) как парциальное давление газов, находящихся в достаточно большом количестве (например, рабочих газов), так и газов, парциальное давление которых сверхмало. При дополнительном использовании электронного умножителя возможно измерять парциальные давления ниже 10^-14 торр.

Сверхчувствительный умножитель электронов. В качестве опции квадрупольных масс-спектрометров серии ХТ могут иметь встроенный умножитель электронов. В этой улучшенной и более чувствительной системе каждый анализируемый ион вызывает лавину электронов, в результате чего может происходить усиление тока более чем в миллион раз. При стандартных настройках обычно происходит усиление тока от тысяч до десятков тысяч раз, что приводит к аналогичному усилению чувствительности RGA. Что еще более важно, отношение спектров шум/сигнал можно уменьшить до значений, меньших 1/1000 по сравнению со стандартным цилиндром Фарадея. С установленным умножителем электронов выпускаются анализаторы остаточных газов серий XT100M, XT200M, и XT300M. Возможна модернизация приобретенных ранее анализаторов остаточных газов серий ХТ путем добавления умножителей электронов. При модернизации в блок управления RGA доставляется специальный высоковольтный мини-модуль, а в зонд данного квадрупольного масс-спектрометра устанавливается узел умножителя электронов. Программное обеспечение VacuumPlus поддерживает обе системы: с умножителем электронов и без него. Так же как и цилиндр Фарадея, умножитель электронов защищен от повышения давления встроенными датчиками вакуума. RGA со встроенным умножителем электронов позволяет определять парциальное давление ниже 10^-14 торр.    

Программное обеспечение для работы с анализатором остаточных газов. Все анализаторы остаточных газов поставляются с программным обеспечением VacuumPlus, работающим в режиме реального времени. Программное обеспечение поставляется бесплатно. Интуитивно понятный графический интерфейс делает работу с программой легкой и интересной даже начинающему пользователю. Программа стартует с показа значения вакуума, поступающего от вакуумного датчика Пирани, затем от высоковакуумного ионизационного вакуумного датчика, и после этого выводит парциальные давления. Весь цикл откачки форвакуумными и высоковакуумными насосами может контролироваться RGA и отображаться на дисплее компьютера. В одной программе может быть открыто несколько графиков или таблиц, отображающих данные от нескольких квадрупольных масс-спектрометров. Все эти данные отображаются в режиме реального времени. Пользователь может выбрать единицы измерений давления: торы (мм.рт.ст.), Па, или амперы (измеренный ионный ток). Данные могут отображаться в логарифмическом масштабе, таким образом, можно на одном графике видеть парциальные значения газов, давление которых отличается на несколько порядков. Программное обеспечение также позволяет управлять параметрами зонда квадрупольного масс-спектрометра: провести настройку по массам, калибровку, чувствительность, установки узла ионизации. Для дальнейшего анализа данных они могут быть сохранены в файле, при этом в разных форматах. Например, данные могут быть сохранены в текстовом формате или в формате XML, что позволит их использовать в дальнейшем во многих приложениях. Данные могут передаваться в режиме реального времени в формате XML, что позволяет их анализировать в других приложениях также в режиме реального времени. Графики могут быть распечатаны на принтере.