АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru


Вакуумметры. Измерители вакуума.
Анализаторы остаточных газов (RGA)
Вакуумные клапаны
Вакуумные камеры
Вакуумные затворы
Вакуумная арматура
Вакуумные окна
Двери вакуумные быстрого
доступа
Электрические вакуумные вводы
Вакуумные вводы вращения
Вакуумные сильфоны и
вакуумные ПВХ шланги
Вакуумные масла и смазки
Вакуумные уплотнения

Турбомолекулярные насосы
Пластинчато-роторные двухкамерные
насосы АДВАВАК
Ловушки и фильтры для
вакуумных насосов
Пластинчато-роторные одноступенчатые
насосы VACANT
Вакуумные спиральные насосы
ACTAN VACSCROLL
Безмасляные винтовые насосы
Вакуумные откачные посты





Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

Вакуумное оборудование

21700 - 3-х позиционные вакуумные затворы

Данная серия вакуумных затворов разработана для работы в установках травления, химического осаждения из паровой фазы, напыления в вакууме, производстве мониторных панелей и любых других процессах, которые требуют точной и повторяемой регулировки давления.

Три положения затвора: полностью открыт, полностью закрыт и третье промежуточное настраиваемое положение
Плавное изменение давления при переходе от низкого к глубокому вакууму
Установка и управление промежуточного положения уплотняющей тарелки
При работе совместно с регулятором расхода газа обеспечивает широкие возможности по контролю уровня вакуума в вакуумной системе
Объединяет функции дросселя и затвора.


Спецификация 3-х позиционных вакуумных затворов серии 21700

Материалы   Пневматический вакуумный затвор серии 21700
Корпус и тарелка Нержавеющая сталь 304
Сильфонное уплотнение штока сплав на основе нержавеющей стали AM-350
Приводной шток и штифты Закаленная нержавеющая сталь
Уплотнение верхней крышки к корпусу/тарелки
               Серия HV

Viton (эластомер)
Вакуумные параметры  
Диапазон давлений 1х10-9 мбар
Натекание по гелию < 2 x 10-9 мбар л/с
Перепад давлений в закрытом состоянии 1 бар в любом направлении
Макс. перепад давлений перед открытием

≤ 30 мбар

Рабочая температура  
Корпус 150 °С
Привод 60 °С
Привод:
Пневматический (ман.) 80 футов/дюйм2
Соленоид 4.0 Вт
Напряжение питания ~120 В, 50/60 Гц
Возможные напряжения питания ~24, 200, 240 В, 50/60 Гц
Индикатор положения, макс.
     Герконовые контакты на открытое и закрытое положения

    Микровыключатель для третьего положения

    Возможные напряжения

~115 В или +28, 20 мА


~115 В, 5 А
250 ВА, 5 А

+28 В, 5 А, активная нагрузка
+28 В, 3 A, индуктивная нагрузка
Положение для монтажа в вакуумную систему любое
Ресурс
    Циклов до сервисного обслуживания
1 000 000
зависит от процесса



 
Пневматический вакуумный затвор серии 21700 Пневматический вакуумный затвор серии 21700 Пневматический вакуумный затвор серии 21700
1. Открыт

Соленоид А – включен,
Соленоид В – выключен

Когда соленоид A включен, поток воздуха через верхний входной штуцер поступает непосредственно на регулятор давления воздуха. Регулятор настроен так, что его выходное давление примерно на 15-20 футов/дюйм2 меньше, чем входное. Несмотря на то, что это выходное давление меньше полного давления, оно достаточно для открытия задвижки.

2. Закрыт

Соленоид А – выключен,
Соленоид В – выключен

Когда оба соленоида выключены, давление воздуха поступает в верхний штуцер. Т.к. верхний штуцер соленоида В закрыт, воздух через него не проходит. Через верхний штуцер соленоида А воздух поступает в пустую полость над приводным штоком и в воздушный цилиндр, что приводит к закрытию задвижки. Это – стандартное положение при нормальном закрытии.

3. Частично открыт

Соленоид А – включен,
Соленоид В – включен

Соленоид В не имеет регулятора давления воздуха в магистрали подачи. Поэтому, когда соленоид В включен, полное давление воздуха приложено к верхней стороне сепаратора – дополнительного поршня внутри воздушного цилиндра. Этот дополнительный поршень движется вниз к стационарному положению, устанавливаемому вручную с помощью регулятора, расположенного вверху корпуса. Полное давление воздуха на 15-20 футов/дюйм2 больше, чем давление у соленоида А, поэтому, когда заслонка пытается открыться, ее поршень привода встречается с регулировочным поршнем и таким образом поддерживает «третью


Пневматический вакуумный затвор серии 21700


 

 

 

 

 

 

 

 

 

Артикулы для заказа 
3-х позиционный затвор с витоновым уплотнением

DN Модели ISO-F Модели ISO-K Модели CF-F*
мм дюйм
100 4.00 21712-0403R 21712-0406R 21712-0400R
160 6.00 21712-0603R 21712-0606R 21712-0600R
200 8.00 21712-0803R 21712-0806R 21712-0800R
250 10.00 21712-1003R - 21712-1000R
320 12.00 21712-1203R - 21712-1200R

Включает соленоид на ~120 В. Для заказа с соленоидом на +24 В измените 2 на 1: 2171[1] -

* Для метрической системы последняя цифра изменяется с ‘0’ на ‘4

Опции 
Версия для сверхглубокого вакуума с медными уплотнениями
Альтернативные фланцы JIS, ANSI или по размерам заказчика
Альтернативный материал для кольцевых уплотнений
Порт предварительной откачки
Другие напряжения питания соленоидов


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2024 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика