|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет форвакуумные безмасляные насосы компании Hanbell.
Форвакуумные безмасляные винтовые насосы.
Безмасляные средства откачки - форвакуумные безмасляные
насосы являются одними из самых востребованных инструментов для обеспечения вакуума в современных приложениях вакуумной техники. Они обладают целым рядом преимуществ по отношению к традиционным средствам:
■ Отсутствие смазок и рабочих жидкостей позволяет обеспечивать высокую чистоту газовой среды в рабочей камере, что позволяет выводить на новый уровень технологические процессы, требующие наличие беспримесной газовой среды – исследовательские и экспериментальные задачи ядерной физики, ускорительно-накопительной техники, физики твердого тела, систем анализа и моделирования на атомарном уровне, нанотехнологии, космической техники;
■ При откачке активных, агрессивных или вредных газов нет необходимости очищать или утилизировать рабочую жидкость, что дает возможность их активного использования в полупроводниковых процессах, химическом производстве и т. п.;
■ Отсутствие необходимости следить за состоянием рабочих жидкостей позволяет внедрять откачные средства в новые сегменты, где прежде их использование было затруднено.
Безмасляные форвакуумные насосы Hanbell
- сухие винтовые насосы удовлетворяют самым жестким требованиям и обеспечивают откачку в различных приложениях, где требуется непрерывная надежная работа с учетом самых трудных условий эксплуатации – агрессивные газы, наличие в откачиваемом газе твердых частиц, высокая температура откачиваемого газа и т. п.
Активная многолетняя эксплуатация сухих
винтовых насосов Hanbell в таких приложениях как полупроводниковая промышленность, производство плоскопанельных дисплеев, выращивание кремния, вакуумная металлургия позволяют компании удерживать лидирующие позиции в данных сегментах на предприятиях Тайваня, Китая, Кореи и других стран Юго-Восточной Азии.
Проверенные и инновационные технологии Hanbell позволяют обеспечивать высочайшие технические характеристики
безмасляных насосов:
■ Уникальная надежность безмасляных
насосов – позволяет штатно ( !!!) эксплуатировать
сухие винтовые насосы в таких тяжелых приложениях как вакуумная металлургия, выращивание кремния и других
БЕЗ ФИЛЬТРОВ ( !!!). При этом обеспечивается многолетняя бессбойная работа
данных безмасляных винтовых насосов!
■ Специальная бесконтактная конструкция безмасляных форвакуумных насосов позволяет откачивать газ, в котором присутствуют агрессивные компоненты и посторонние твердые частицы без ущерба работоспособности;
■ В безмасляных винтовых насосах
достигается предельный вакуум до 7x10 -4 торр (при около 40% производительности);
■ Низкий уровень шума
сухих насосов серии PS1302A при работе – 65 дБ;
■ Высокая производительность
безмасляных насосов: различные типы конструкции, в том числе, комбинированная с
сухим насосом позволяет добиваться высокой
производительности;
Рис. Винтовой безмасляный форвакуумный
насос серии PS1302
■ Прекрасная управляемость
безмасляного насоса – удобство управления каждым отдельным
сухим насосом с помощью микропроцессора со встроенным жидкокристаллическим дисплеем и возможность
объединения безмасляных насосов в кластеры и удаленное управление ими с помощью специального программного обеспечения;
■ Полный контроль и система предсказания сбоев работы
сухих вакуумных насосов– позволяет минимизировать риски из-за сбоев в течение технологического процесса;
■ Низкие расходы на техническое обслуживание безмасляных
наосов – детальное обследование требуется только через 4 года работы.
Основные характеристики безмасляных форвакуумных винтовых насосов HANBELL.
Модели безмасляных форвакуумных
винтовых насосов: |
PS80 |
PS160 |
PS180 |
PS602 |
PS902 |
PS1302 |
PS1802 |
Быстрота действия (50 Гц), м3/ч |
75 |
130 |
150 |
600 |
750 |
1050 |
1500 |
Предельный вакуум, мбар |
≤9,9×10-3 |
≤9,9×10-4
|
Потребляемая мощность, кВт (3 ф., 380 В, 50 Гц) |
2,98 |
4,47 |
3 + 3 |
4,5 + 3,5 |
4,5 + 4,5 |
4,5 + 4,5 |
Охлаждающая вода |
Рекомендуемый поток, л/мин
|
3~7
|
Давление, атм. |
2.0~4 |
Температура, 0С |
18~30 |
Присоединение |
RC 3/8” |
Газ для продувки |
Давление, атм.
|
0.5~1 |
Рекомендуемый поток (зависит от
приложения) в зоне высокого давления
насоса, л/мин. |
0~60 |
Рекомендуемый
поток (зависит от
приложения) в уплотнениях, л/мин. |
0~20 |
Присоединение |
Swagelok ¼” |
Интерфейс
|
RS232/485, USB, Ethernet, SEMI
E73-0299
|
Температура окружающей среды, С |
5~40 |
Относительная влажной окружающей
среды |
90% |
Входной фланец |
KF50 |
ISO100 |
ISO160 |
Выходной фланец |
KF40 |
Габаритные размеры, мм |
814x380x642 |
895x410x678 |
940x420x689 |
814x380x915 |
895x410x843 |
920x430x957 |
920x430x1030 |
Масса, кг |
280
|
300 |
320 |
450 |
520 |
520 |
550 |
Уровень шума, дБА |
<68 |
<68 |
<68 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
Характеристика: быстрота
действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS80 – PS180
Характеристика: быстрота действия
форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS602 – PS1802
| |