|
ПРЯМОУГОЛЬНЫЕ ЩЕЛЕВЫЕ ЗАТВОРЫ ИЗ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ СЕРИИ 28200
 Прямоугольные затворы прямого привода серии 28200 имеют одну из самых малых площадей внутренней поверхности среди всех вакуумных затворов. В открытом положении кольцевые уплотнения полностью перекрыты, что позволяет избежать оседания на них микрочастиц или протекающего вещества. В закрытом положении цельная неразборная конструкция предотвращает попадание любого вещества в механизм затвора, тем самым значительно уменьшая требования к сервису и обслуживанию. Эти затворы разработаны с учетом удовлетворения требований индустрии к механическому интерфейсу и удержанию вакуума. Для удовлетворения специфических требований модульных интегрированных систем обработки, затворы способны удерживать вакуум с любой из сторон тарелки. Узкопрофильная конструкция, включая и привод, и контроллер, позволяет компактно установить затвор между центральной, шлюзовой, загрузочной камерами и камерой обработки.
Спецификация серии 28200
| Используемые материалы: |
|
| Корпус и тарелка
|
Нержавеющая сталь 304 |
| Сильфонное уплотнение штока
|
AM-350 |
| Приводной шток и штифты
|
Закаленная нержавеющая сталь |
| Уплотнения верхней крышки к корпусу/тарелки |
Эластомер Viton® |
| Вакуум: |
Значения характеристик: |
| Рабочий вакуум |
1х10-9 мбар |
| Натекание по гелию |
< 2х10-9 мбар л/с |
| Перепад давлений в закрытом состоянии |
1 бар в любом направлении |
| Макс. перепад давлений перед открытием |
< 30 мбар |
| Температуры прогрева (без соленоида): |
|
| Корпус с эластомерным уплотнением
|
150 °С |
| Привод
|
60 °С |
| Механизм привода |
|
| Пневматический |
80 футов/дюйм2, ман. |
| Соленоид
(самоблокирующийся, при отключении напряжения задвижка остается в том же положении)
|
4.3 Вт |
Напряжение питания
Опциональные напряжения |
~120 В, 50/60 Гц
~24, 200, 240 В, 50/60 Гц или +12, 24 В |
| Индикатор положения, макс. |
~115 В или +28 В, 20 мА |
| Положение для монтажа |
Любое |
|
Циклов до сервисного обслуживания |
1000000 |
Используйте приведенные ниже таблицы для скачивания 2D (PDF) и 3D (STP) чертежей или запроса цен (quote).
Если вам необходимо определить номер модели, используйте следующую ссылку: 28200 Series Model Key Guide
Затворы с пневматическим приводом и эластомерными кольцевыми уплотнениями крышки к корпусу и тарелки (с индикатором положения на герконах)
Опции
Размеры под заказ
Альтернативный материал для кольцевых уплотнений
Другие напряжения питания соленоидов
Микропереключатели для индикаторов положения
Порт предварительной откачки
Версия для сверхглубокого вакуума с медными уплотнениями . | |
2015-2020. 
