2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Smartline - новое поколение вакуумных датчиков

Вакуумные измерения на базе микропроцессорной технологии.

Семейство устройств Smartline™ с диапазоном измерений от 1000 до 5 x 10^-10 мбар (=гПа, от 750 до 5 x 10^-10 торр), вакуумными преобразователями (трансмиттер) и блоками контроля и индикации отвечают высочайшим требованиям к функциональности, простоты эксплуатации и надежности.

Вакуумные преобразователи (трансмиттеры) семейства устройств Smartline™ предлагают

•  интерфейс RS485 и вспомогательный выход 0-10 В или опциональный EtherCAT
•  устройства THYRACONT на базе датчиков Пирани с расширенным диапазоном измерений, активизируют ионизационные датчики при давлении менее порогового значения Это позволяет защитить датчики и увеличить срок службы вакуумметра
•  опционально большой графический ЖК дисплей с задней подсветкой
•  микропроцессорная система автоматически выполняет контроль за датчиками Это обеспечивает оптимальную взаимосвязь между датчиками Пирани и ионизационными датчиками без вмешательства оператора
•  компактные измерительные элементы в металлической оболочке
•  максимальная готовность вашего оборудования за счет сменных головок датчиков

Типовые сферы применения вакуумных датчиков серии Smartline®

• Технологии нанесения покрытия
• Вакуумные топки
• Металлургия
• Аналитическое оборудование
• Лиофилизация
• Тонкопленочные испарители
Мы с радостью внедряем передовые разработки для улучшения технологии вакуумных измерений. Новое поколение устройств Smartline устанавливает высочайший стандарт точности, надежности и функциональности.

Оправданная износостойкость

Устройства THYRACONT на базе датчиков Пирани с расширенным диапазоном измерений, активация ионизационных датчиков при давлении менее порогового значения. Это позволяет защитить датчики и увеличить срок службы вакуумметра.

Надежный обмен данными

Обмен данными последних измерительных преобразователей реализован на базе интерфейса RS485 и вспомогательного выхода 0-10 В или EtherCAT.

Время-деньги

Микропроцессорная система Smartline автоматически выполняет контроль за датчиками. Это обеспечивает оптимальную взаимосвязь между датчиками Пирани и ионизационными датчиками без вмешательства оператора.

Другие преимущества использования Smartline:

•   Большой ЖК дисплей (в качестве опции)
•   Компактные датчики в металлической оболочке
•   Низкий уровень воздействия на вакуумный процесс температуры и помех
•   Невосприимчивость к резкому сбросу давления
•   Сменные головки датчика
•   Точное измерение давления за счет использования поправочных коэффициентов для разного типа газов для каждого датчика

Комбинированный вакуумный датчик VSR от 1200 до 1 x 10^-4 мбар Пьезорезистивный / Пирани

Пример применения
Нитрид кремния используется для производства полупроводниковых элементов в качестве изолирующих или предохраняющих изделий. Нанесение выполняют путем химического парофазного осаждения PECVD (усиленный плазмой CVD) или LPCVD (CVD при пониженном давлении). Подача происходит через загрузочный шлюз. при поддержке уровня вакуума в камере от 10^-2 до 1 мбар.

Задача
При откачке воздуха из шлюза необходим тщательный контроль давления для оперативной подачи кристаллической пластины в камеру, где происходит нанесение. По завершении процесса пластина возвращается в загрузочный шлюз. После возврата уровня давления до атмосферного и разблокировки дверцы пластина может быть извлечена. Для данного процесса весьма важна быстрая скорость взаимодействия элементов измерительной системы.

Решение
Давление в загрузочном шлюзе отслеживается с помощью вакуумного измерительного преобразователя VSR с комбинированным датчиком (пьезорезистивный/Пирани) для высокоточного измерения давлений от 1200 до 1 x 10^-4 мбар. Точное измерение давления используется для процесса открывания камеры, определяя нужный момент времени для открытия по достижении атмосферного давления. Быстрое время отклика и точное измерение давления позволяют использовать VSR для оперативного управления дверцей, делая возможным выполнение операций в кратчайший цикл. Выдающаяся стабильность работы практически необслуживаемых преобразователей на протяженности длительного времени работы.

Применение
• Аналитическое оборудование
• Вакуумные топки
• Технологии нанесения покрытия
• Проверка предварительных насосов

Вакуумный датчик VSP от 1000 до 1 x 10^-4 мбар Пирани

Пример применения
Пластиковые изделия с металлическим покрытием, предназначенным как для улучшения внешнего вида или экранирования компонентов чувствительных к помехам.

Задача
Металлизация осуществляется посредством процесса напыления конденсацией из паровой фазы (PVD). Вакуумирование перепускной линии до давления 10^-2 мбар выполняют посредством роторно-лопастного насоса. Затем присоединяют турбомолекулярный насос, который понижает уровень давления до 10^-5 мбар. Состояние вакуума в ходе процесса напыления, которое выполняют при 2 x 10^-4 мбар, подвергается тщательному контролю в ходе процесса, что позволяет обеспечить высокое качество покрытия. Также необходимо отслеживать давление в перепускной линии и уровень давления предварительного разрежения во избежание перегрузок турбомолекулярного насоса, происходящих, например, при подключении его к системе с давлением вне рабочего диапазона.

Решение
С помощью измерительных преобразователей VSP (Пирани) осуществляют контроль давления в перепускной линии для правильного подключения турбомолекулярного насоса. Другой VSP отслеживает уровень давления предварительного разряжения непосредственно на турбомолекулярном насосе. С помощью преобразователя VSM с широким диапазоном измерений выполняют измерение уровня глубокого вакуума в системе, а также изменения давления во время процесса покрытия. Многоканальный блок контроля и индикации VD10 используется в качестве центрального модуля управления.

Применение
• Аналитическое оборудование
• Вакуумные топки
• Технологии нанесения покрытия
• Контроль предварительного вакуума
• Цепи безопасности вакуумных систем

Комбинированный вакуумный датчик VSM от 1000 до 5 x 10^-9мбар   Пирани / Холодный катод

Пример применения
Оптическое покрытие зеркал выполняют лазерным резонатором при давлении ниже 2 x 10^-3 мбар.

Задача
Используемый вакуумный измерительный преобразователь должен осуществлять отслеживание давление во время покрытия, а также минимальное допустимое давление 10^-6 мбар в вакуумной камере. Одним из наших клиентов раньше использовался комбинированный вакуумметр Пирани/холодный катод, где холодный катод использовался для отслеживания минимального давления и давления процесса. Однако, продолжительная работа датчика при давлении превышающем 10^-3 мбар приводит к его быстрому износу.

Решение
В преобразователях VSM на базе датчика Пирани с расширенным диапазоном холодный катод используется только при уровне очень низкого давления. Переход с одного датчика на другой конфигурируется, чтобы обеспечить соответствие требованиям применения. В настоящее время для измерений в ходе всего процесса покрытия используют датчик Пирани. Холодный катод таким образом остается вне работы и активизируется только при снижении давления системы ниже минимального значения. Таким образом существенно улучшена технология промышленного покрытия. Для непосредственной проверки уровня давления на месте применения устройства можно использовать встроенный ЖК дисплей.

Применение
• Аналитическое оборудование
• Технологии нанесения покрытия
• Технологические процессы
• Контроль высокого и низкого вакуума
• Металлизация
• Вакуумные топки

Комбинированный вакуумный датчик VSH от 1000 до 5 x 10^-10мбар Пирани / Горячий катод

Пример применения
При процессах пайки, спекания и термической обработки необходимо отсутствие кислорода в окружающей среде, что подразумевает выполнение процессов в вакууме частично с использованием инертных газов.

Задача
Чтобы избежать окисления изделия, уровень вакуума в ходе процесса необходимо отслеживать и поддерживать постоянным. Одному из наших клиентов потребовалось высокоточное измерение давления глубокого вакуума в трубчатой печи рядом с отверстиями для впуска газа и вакуумирования.

Решение
Преобразователи VSH с необходимым широким диапазоном измерений предназначены для высокоточного измерения давления рядом с отверстиями для впуска газа и вакуумирования. Соединение измерительных преобразователей с ПЛК системы выполняется на базе последовательного интерфейса RS485, что позволяет графически отображать оба уровня давления, обеспечивая простоту отслеживания изменения давления внутри печи. В качестве опции возможна реализация отображения показаний давления на оперативной панели с использованием двухканального блока контроля и индикации VD12.

Применение
• Аналитическое оборудование
• Технологии нанесения покрытия
• Контроль состояния вакуума от глубокого до ультра глубокого
• Металлизация
• Технологические процессы