|
SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VSI - высоковакуумный датчик с холодным катодом серии Smartline абсолютное давление от 2 х 10-3 до 5 х 10-9 мбар
Вакуумный датчик VSI с холодным катодом предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от глубоко до сверхглубокого вакуума.
Микроконтроллер вакуумного датчика позволяет проводить индивидуальную настройку параметров для технологических процессов.
Типовое применение вакуумного датчика с холодным катодом VSI
• Анализаторы
• Технологии нанесения покрытия и парофазное осаждение
• Промышленные печи
• Технологическое проектирование
• Напылительные установки
• Аналитическое оборудование
• Измерение и контроль в глубоком и ультра глубоком вакууме
Преимущества вакуумного датчика с холодным катодом VSI
• Ручное и автоматическое управление холодным катодом
• Быстрое зажигание катода благодаря специальной технологии
• Автоматическое отключение при напуске атмосферы
• Наличие разъема для класса защиты IP54
• Легкосменная головка датчика с сохраняемой градуировкой
• Дискретный интерфейс RS485 и вспомогательный аналоговый выход 2,199...7,801 В или EtherCAT
• Простое соединение с ПЛК
• Сигнал дискретного выхода можно передавать на длительное расстояние (до 500 м)
• Выходной сигнал масштабируется в зависимости от требуемых выходных характеристик и для простой замены существующих датчиков
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD10
• Большой встроенный ЖК дисплей с задней подсветкой (VSM77DL, VSM79DL)
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF, DN 40 CF-F
Технические характеристики вакуумного датчика с холодным катодом VSI
Принцип измерения |
Обращенный магнетрон, зависимый от типа газа |
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, никель, вольфрам, молибден, стекло, керамика |
Диапазон измерения |
2 x 10-3 - 5 x 10-9 мбар (750 - 5 x 10-9 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар |
Точность |
2 x 10-3 - 2 x 10-8: < 25 % от показания
|
Повторяемость |
2 x 110-3 - 2 x 10-8 мбар: Приблиз. ±7% от показания
|
Напряжение на катоде |
Макс. 2,5 кВ |
Питание |
20 - 30 В пост. |
Электрическое подключение |
VSI17D/DL, VSI18D/DL, VSI19D/DL: SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией,
VSI17E, VSI18E, VSI19E: Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией,
1x A-стандарт, 5-полюсн., 2x D coded, 4-полюсн. |
Потребление мощности |
Макс. 3 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД |
Рабочая температура |
+5...+60°C |
Температура хранения |
-40...+65°C |
Макс. температура вакуума |
160°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами) |
Выходной сигнал |
0 - 10 В пост. , диапазон измерений 1.819 - 8.6 В пост., логарифм. хар-ка, 0,6 В/десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10kΩ (VSI17D/DL, VSI18D/DL, VSI19D/DL) |
Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, переключение адресов 1 - 16 |
Коммутационные положения |
2 переключ. реле, 50 В перем. / 2 A, 30 В пост. / 2 A, макс. 60 ВА |
Вакуумный соединитель |
DN 25 ISO-KF (VSI17), DN 40 ISO-KF (VSI18), DN 40 CF-F (VSI19) |
Степень защиты |
IP54, IP40 |
Масса |
555 г (приблиз.) |
Габаритные размеры вакуумного датчика с холодным катодом VSI
1 Выход (В)
2 Давление (гПа)
3 VВЫХ (В) = 0,6 log (p(гПа)) + 6,8
4 p(гПа) = 10((Vвых(В) - 6,8)/0,6)
5 Размеры даны в миллиметрах
Информация для заказа вакуумного датчика с холодным катодом VSI
Каталожный номер |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
VSI17D |
VSI17D Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI17DL |
VSI17DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI17E |
VSI17E Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI18D |
VSI18D Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI18DL |
VSI18DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI18E |
VSI18E Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI19D |
VSI19D Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце СF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI19DL |
VSI19DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце СF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
VSI19E |
VSI19E Вакуумный датчик с холодным катодом на фланце СF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT от 2 x 10-3 до 5 x 10-9 мбар |
|
Контроллеры вакуумных датчиков: |
VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
Аксессуары: |
SL24 |
SL24 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline, разъем DB15 |
|
SL24-RS485 |
SL24-RS485 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline с выходом RS485, разъем DB9 |
|
SLRS485-USB |
SLRS485-USB Конвертер RS485-USB для вакуумметров серии Smartline |
|
W1515002 |
W1515002 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 2 м |
|
W1515006 |
W1515006 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 6 м |
|
W1515010 |
W1515010 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 10 м |
|
W1515020 |
W1515020 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 20 м |
|
WUSB0002 |
WUSB0002 Кабель USB для соединения с ПК, экранированный, 2 м |
|
B_VSM77 |
B_VSM77 Сменная головка датчика DN 25 ISO-KF, для VSM77 |
|
B_VSM78 |
B_VSM78 Сменная головка датчика DN 25 ISO-KF, для VSM77/VSI17 |
|
B_VSM79 |
B_VSM79 Сменная головка датчика DN 40 CF-F, VSM79 |
|
SLKBT |
SLKBT Конвертер RS485-Bluetooth для вакуумметров серии Smartline |
|
SLRS485-USB |
SLRS485-USBКонвертер RS485-USB для вакуумметров серии Smartline |
|
XB15SL05 |
XB15SL05Соединительный штекер IP54 для вакуумметров серии Smartline |
|
W1500506 |
W1500506Кабель для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline к соединительному штекеру IP54, без разъема, 6 м |
|
W1500502 |
W1500502Кабель для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline к соединительному штекеру IP54, без разъема, 2 м |
|
Программное обеспечение: |
VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows |
|
|
|