Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом.
Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.
Что ещё отличает вакуумные клапаны друг от друга, и на что следует обратить внимание при выборе вакуумного клапана?
Очень важным является тип уплотнения между крышкой (в которой, как правило, расположен механизм, обеспечивающий движение: соленоид у электромагнитного клапана, пневматический цилиндр у пневматического клапана) и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру нагрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Вакуумные клапаны с медным уплотнением корпуса и крышки изготавливаются только с фланцами ConFlat (CF). Так как при нагреве температура на фланце обычно выше, чем температура внутри клапана (в области прижатия крышки вакуумного клапана), то нет смысла в производстве вакуумного клапана с уплотнением крышки медным уплотнителем, и при этом с уплотнением фланца по витону (т.е. вакуумного фланца стандарта KF, или по другой классификации вакуумного фланца стандарта NW).
Одним из главных моментов при выборе пневматического клапана является реализация пневматического привода.
В таком вакуумном клапане шток пневмоцилиндра в одну сторону движется под действием сжатого воздуха, в другую сторону – под действием пружины (при сбросе сжатого воздух из пневмоцилиндра). Такие вакуумные клапаны называют нормально-закрытыми. Нормально закрытый, значит при выключенном пневмоприводе (т.е. при отсутствии сжатого воздуха) вакуумный клапан будет находиться в закрытом состоянии. У нормально-открытого вакуумного клапана при отсутствии подачи сжатого воздуха, нормально открытый - в открытом.
Тип пневматического привода выбирается так: если большую часть времени клапан должен быть закрыт, или же необходимо обеспечить закрытие клапанов (консервирование текущего состояния вакуумной системы) при нештатном отключении электричества - ставят нормально закрытый клапан.
Учитывая, что в подавляющем большинстве вакуумных систем стоят нормально-закрытые вакуумные клапаны, наша компания поддерживает на складе только вакуумные клапаны с данным типом пневмопривода. При этом, мы также можем поставить и нормально-открытые вакуумные клапаны (срок поставки 2-3 месяца).
В вакуумных клапанах с пневмоприводом двустороннего действия открытие и закрытие клапана происходит при подаче сжатого воздуха на два порта пневмоцилиндра: подача сжатого воздуха на первый порт открывает клапан, на второй – закрывает. Некоторым пользователям нравится такая большая определённость в управлении вакуумным клапаном. При этом при возникновении внештатной ситуации (отключение электричества, отсутствие сжатого воздуха) тарелка вакуумного клапана останется в том состоянии, в котором её застала внештатная ситуация.
Поставляемые компанией АКТАН ВАКУУМ угловые пневматические вакуумные клапаны отличает высочайшая надёжность изготовления: срок наработки на отказ составляет более 1 миллиона циклов!
Учитывая высокую популярность данных пневматических вакуумных клапанов, данная серия всегда есть на нашем складе. Обращаем внимание, что вакуумные клапаны поставляются без датчика положения и соленоида для управления пневмоприводом (данные опции приобретаются отдельно).
Технические характеристики
Сверхвысоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – медь,
уплотнение тарелки и седла – витон)
Высоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – витон,
уплотнение тарелки и седла – витон)
Максимальный перепад давлений при закрытом клапане
2,025 Торр
2,700 мбар
270 кПа
1,800 Торр
2,400 мбар
240 кПа
1,725 Торр
2,300 мбар
230 кПа
1,500 Торр
2,000 мбар
200 кПа
Максимальный перепад давлений при открытии клапана
1,500 Торр
2,000 мбар
200 кПа
Время открытия/закрытия клапана
0,5 сек.
0,6 сек.
0,8 сек.
0,9 сек.
Проводимость клапана (молекулярный поток)
5 (литр/сек)
12 (литр/сек)
44 (литр/сек)
66 (литр/сек)
Таблица для заказа
Артикул
Наименование
Фланцы
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru
PIV-HV-CF-133-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF16 (CF1,33") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF16 (CF1.33")
PIV-HV-CF-212-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF25 (CF2,12") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF25 (CF2.12")
PIV-HV-CF-275-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF35/40 (CF2,75") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF40 (CF2.75")
PIV-HV-CF-338-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF50 (CF3,38") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF50 (CF3.38")
PIV-HV-KF-16
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами KF16 (NW16) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF16
PIV-HV-KF-25
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами KF25 (NW25) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF25
PIV-HV-KF-40
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами KF40 (NW40) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF40
PIV-HV-KF-50
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами KF50 (NW50) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF50
Клапан вакуумный прямоточный пневматический одностороннего действия с медным уплотнением корпуса.
PIV-UHV-CF-133-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF16 (CF1,33") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF16 (CF1,33")
PIV-UHV-CF-212-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF25 (CF2,12") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF25 (CF2,12")
PIV-UHV-CF-275-S
Клапан вакуумный прямоточный пневматический с фланцами CF35/40 (CF2,75") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
2015-2020. 
Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
