Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом.
Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.
Что ещё отличает вакуумные клапаны друг от друга, и на что следует обратить внимание при выборе вакуумного клапана?
Очень важным является тип уплотнения между крышкой (в которой, как правило, расположен механизм, обеспечивающий движение: соленоид у электромагнитного клапана, пневматический цилиндр у пневматического клапана) и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру нагрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Вакуумные клапаны с медным уплотнением корпуса и крышки изготавливаются только с фланцами ConFlat (CF). Так как при нагреве температура на фланце обычно выше, чем температура внутри клапана (в области прижатия крышки вакуумного клапана), то нет смысла в производстве вакуумного клапана с уплотнением крышки медным уплотнителем, и при этом с уплотнением фланца по витону (т.е. вакуумного фланца стандарта KF, или по другой классификации вакуумного фланца стандарта NW).
Одним из главных моментов при выборе пневматического клапана является реализация пневматического привода.
В таком вакуумном клапане шток пневмоцилиндра в одну сторону движется под действием сжатого воздуха, в другую сторону – под действием пружины (при сбросе сжатого воздух из пневмоцилиндра). Такие вакуумные клапаны называют нормально-закрытыми. Нормально закрытый, значит при выключенном пневмоприводе (т.е. при отсутствии сжатого воздуха) вакуумный клапан будет находиться в закрытом состоянии. У нормально-открытого вакуумного клапана при отсутствии подачи сжатого воздуха, нормально открытый - в открытом.
Тип пневматического привода выбирается так: если большую часть времени клапан должен быть закрыт, или же необходимо обеспечить закрытие клапанов (консервирование текущего состояния вакуумной системы) при нештатном отключении электричества - ставят нормально закрытый клапан.
Учитывая, что в подавляющем большинстве вакуумных систем стоят нормально-закрытые вакуумные клапаны, наша компания поддерживает на складе только вакуумные клапаны с данным типом пневмопривода. При этом, мы также можем поставить и нормально-открытые вакуумные клапаны (срок поставки 2-3 месяца).
В вакуумных клапанах с пневмоприводом двустороннего действия открытие и закрытие клапана происходит при подаче сжатого воздуха на два порта пневмоцилиндра: подача сжатого воздуха на первый порт открывает клапан, на второй – закрывает. Некоторым пользователям нравится такая большая определённость в управлении вакуумным клапаном. При этом при возникновении внештатной ситуации (отключение электричества, отсутствие сжатого воздуха) тарелка вакуумного клапана останется в том состоянии, в котором её застала внештатная ситуация.
Поставляемые компанией АКТАН ВАКУУМ угловые пневматические вакуумные клапаны отличает высочайшая надёжность изготовления: срок наработки на отказ составляет более 1 миллиона циклов!
Учитывая высокую популярность данных пневматических вакуумных клапанов, данная серия всегда есть на нашем складе. Обращаем внимание, что вакуумные клапаны поставляются без датчика положения и соленоида для управления пневмоприводом (данные опции приобретаются отдельно).
Технические характеристики линейных пневматических нормально-закрытых вакуумных клапанов
Сверхвысоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – медь,
уплотнение тарелки и седла – витон)
Высоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – витон,
уплотнение тарелки и седла – витон)
2015-2020. 
Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
