Схема работы углового вакуумного клапана приведена на рисунке слева. Когда тарелка вакуумного клапана садится на седло вакуумного клапана (в которое вставлена уплотнительная резинка), вакуумный клапан находится в состоянии «закрыто».
Данная серия вакуумных клапанов имеет сильфонное уплотнение штока, что с точки зрения вакуумных технологий является более предпочтительным вариантом по сравнению с уплотнением штока с помощью витонового кольца, хотя сильфонное уплотнение удорожает стоимость вакуумного клапана. Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом. Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
Важным преимуществом данных вакуумных клапанов является электрополировка всех поверхностей и всех частей вакуумного клапана, что позволяет их применять в высоковакуумных сверхчистых приложениях. Электрополировка значительно уменьшает дегазацию с поверхности. Большая часть вакуумных клапанов, поставляемая нашими конкурентами, не имеет электрополировку поверхности.
Что ещё отличает вакуумные клапаны друг от друга, и на что следует обратить внимание при выборе вакуумного клапана?
Очень важным является тип уплотнения между крышкой (в которой, как правило, расположен механизм, обеспечивающий движение: соленоид у электромагнитного клапана, пневматический цилиндр у пневматического клапана) и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру прогрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Вакуумные клапаны с медным уплотнением корпуса и крышки изготавливаются только с фланцами ConFlat (CF). Так как при нагреве температура на фланце обычно выше, чем температура внутри клапана (в области прижатия крышки вакуумного клапана), то нет смысла в производстве вакуумного клапана с уплотнением крышки медным уплотнителем, и при этом с уплотнением фланца по витону (т.е. вакуумного фланца стандарта KF, или по другой классификации вакуумного фланца стандарта NW).
Одним из главным моментов при выборе пневматического клапана является реализация пневматического привода.
Пневматический привод может быть одностороннего действия или двустороннего действия.
Схема пневматического вакуумного клапана одностороннего действия приведена на рисунке выше. В таком вакуумном клапане шток пневмоцилиндра в одну сторону движется под действием сжатого воздуха, в другую сторону – под действием пружины (при сбросе сжатого воздух из пневмоцилиндра). Такие вакуумные клапаны называют нормально-закрытыми. Нормально закрытый, значит при выключенном пневмоприводе (т.е. при отсутствии сжатого воздуха, или что тоже самое в нашем случае – при отсутствии подачи напряжения на соленоид пневмопривода, например, при нештатном пропадании электричества) вакуумный клапан будет находиться в закрытом состоянии. У нормально-открытого вакуумного клапана при отсутствии подачи сжатого воздуха (или питания на соленоид пневмопривода), нормально открытый - в открытом.
Тип пневматического привода выбирается так: если большую часть времени клапан должен быть закрыт, или же необходимо обеспечить закрытие клапанов (консервирование текущего состояния вакуумной системы) при нештатном отключении электричества - ставят нормально закрытый клапан.
Учитывая, что в подавляющем большинстве вакуумных систем стоят нормально-закрытые вакуумные клапаны, наша компания поддерживает на складе только вакуумные клапаны с данным типом пневмопривода. При этом, мы также можем поставить и нормально-открытые вакуумные клапаны (срок поставки 2-3 месяца).
В вакуумных клапанах с пневмоприводом двустороннего действия открытие и закрытие клапана происходит при подаче сжатого воздуха на два порта пневмоцилиндра: подача сжатого воздуха на первый порт открывает клапан, на второй – закрывает. Некоторым пользователям нравится такая большая определённость в управлении вакуумным клапаном. При этом при возникновении внештатной ситуации (отключение электричества, отсутствие сжатого воздуха) тарелка вакуумного клапана останется в том состоянии, в котором её застала внештатная ситуация.
Поставляемые компанией АКТАН ВАКУУМ угловые пневматические вакуумные клапаны отличает высочайшая надёжность изготовления: срок наработки на отказ составляет более 1 миллиона циклов!
Учитывая высокую популярность данных пневматических вакуумных клапанов, данная серия всегда есть на нашем складе. Обращаем внимание, что вакуумные клапаны поставляются без датчика положения и соленоида для управления пневмоприводом (данные опции приобретаются отдельно).
Ниже вы можете ознакомиться с технической спецификацией вакуумных клапанов и информацией для заказа.
Технические характеристики:
Сверхвысоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – медь,
уплотнение тарелки и седла – витон)
Высоковакуумная серия
(уплотнение крышки к корпусу клапана – витон,
уплотнение тарелки и седла – витон)
Максимальный перепад давлений при закрытом клапане
2,025 Торр
2,700 мбар
270 кПа
1,800 Торр
2,400 мбар
240 кПа
1,725 Торр
2,300 мбар
230 кПа
1,500 Торр
2,000 мбар
200 кПа
2,925 Торр
3,900 мбар
390 кПа
Максимальный перепад давлений при открытии клапана
1,500 Торр
2,000 мбар
200 кПа
Время открытия/закрытия клапана
0,5 сек.
0,6 сек.
0,8 сек.
0,9 сек.
0,7 сек.
Проводимость клапана (молекулярный поток)
6 (литр/сек)
15 (литр/сек)
48 (литр/сек)
82 (литр/сек)
170 (литр/сек)
ISO-K 80
ISO-K 100/CF6”
ISO-K 160/CF8”
ISO-K 200
ISO-K 250
Максимальный перепад давлений при закрытом клапане
2,925 Торр
3,900 мбар
390 кПа
2,925 Торр
3,900 мбар
390 кПа
3,300 Торр
4,400 мбар
440 кПа
3,300 Торр
4,400 мбар
440 кПа
3,300 Торр
4,400 мбар
440 кПа
Максимальный перепад давлений при открытии клапана
1,500 Торр
2,000 мбар
200 кПа
Время открытия/закрытия клапана
0,7 сек.
0,8 сек.
1,5 сек.
2 сек.
2 сек.
Проводимость клапана (молекулярный поток)
220 (литр/сек)
490 (литр/сек)
1090 (литр/сек)
1,600 (литр/сек)
2,650 (литр/сек)
Таблица для заказа
Артикул
Наименование
Фланцы
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru
Клапан вакуумный угловой пневматический одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной) с витоновым уплотнением корпуса.
PAV-HV-KF-16-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами KF16 (NW16) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF16
PAV-HV-KF-25-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами KF25 (NW25) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF25
PAV-HV-KF-40-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами KF40 (NW40) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF40
PAV-HV-KF-50-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами KF50 (NW50) одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
KF50
PAV-HV-CF-133
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF16 (CF1,33") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF16 (CF1.33")
PAV-HV-CF-212
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF25 (CF2,12") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF25 (CF2.12")
PAV-HV-CF-275
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF35/40 (CF2,75") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF40 (CF2.75")
PAV-HV-CF-338
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF50 (CF3,38") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF50 (CF3.38")
PAV-HV-ISOK-63-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами ISO-K 63 одностороннего действия (открытие сжатым воздухом, закрытие пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
ISO63
PAV-HV-ISOK-80-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами ISO-K 80 одностороннего действия (открытие сжатым воздухом, закрытие пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
ISO80
PAV-HV-ISOK-100-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами ISO-K 100 одностороннего действия (открытие сжатым воздухом, закрытие пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
ISO100
PAV-HV-ISOK-160-S
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами ISO-K 160 одностороннего действия (открытие сжатым воздухом, закрытие пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
ISO16
PAV-HV-BW-075-S
Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 0,75 дюйма под приварку, одностороннего действия, без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
Труба 0,75"
PAV-HV-BW-100-S
Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 1 дюйм под приварку, одностороннего действия, без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
Труба 1"
PAV-HV-BW-150-S
Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 1,5 дюйма под приварку, одностороннего действия, без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
Труба 1,5"
PAV-HV-BW-200-S
Клапан вакуумный угловой пневматический без фланцев, труба 2 дюйма под приварку, одностороннего действия, без датчика положения и пневмораспределителя, витоновое уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
Труба 2"
Клапан вакуумный угловой пневматический одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной) с медным уплотнением корпуса
PAV-UHV-CF-133
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF16 (CF1,33") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF16 (CF1.33")
PAV-UHV-CF-212
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF25 (CF2,12") одностороннего действия (открытие и закрытие сжатым воздухом), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF25 (CF2,12")
PAV-UHV-CF-275
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF35/40 (CF2,75") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
CF35/40 (CF2,75")
PAV-UHV-CF-338
Клапан вакуумный угловой пневматический с фланцами CF50 (CF3,38") одностороннего действия (открытие - сжатым воздухом, закрытие - пружиной), без датчика положения и пневмораспределителя, медное уплотнение корпуса, нержавеющая сталь 304L
2015-2020. 
Схема работы углового вакуумного клапана приведена на рисунке слева. Когда тарелка вакуумного клапана садится на седло вакуумного клапана (в которое вставлена уплотнительная резинка), вакуумный клапан находится в состоянии «закрыто».
Сильфон штока надёжно защищает шток от взаимодействия с вакуумом. Учитывая динамический характер уплотнения штока, а тем более то, что это линейное движение (которое сложнее уплотнить и является менее надёжным по сравнению с вращательным движением), а также принимая во внимание, что сильфоны выдерживают до миллиона и больше циклов, вакуумные клапаны с сильфонным уплотнением штока стали стандартным решением для подавляющего большинства современных вакуумных приложений. Сильфонное уплотнение штока показано на рисунке справа.
Очень важным является тип уплотнения между крышкой (в которой, как правило, расположен механизм, обеспечивающий движение: соленоид у электромагнитного клапана, пневматический цилиндр у пневматического клапана) и корпусом вакуумного клапана. Данное уплотнение может быть выполнено в виде витонового уплотнителя (витон – специальный полимер, аналог вакуумной резины) или в виде медной прокладки. Наличие медной прокладки позволяет поднять температуру прогрева клапана на несколько десятков градусов, что очень важно для сверхвысоковакуумных приложений, в которых все узлы сверхвысоковакуумной системы прогреваются до максимально возможных температур.
Пневматический привод может быть одностороннего действия или двустороннего действия.
