| Спецификация анализаторов
остаточных газов ХТх00(М) |
Диапазон
анализируемых масс анализаторов остаточных газов
XT100, XT100M
XT200, XT200M
XT300, XT300M |
1-100 а.е.м.
1-200 а.е.м.
1-300 а.е.м. |
| Тип фильтра масс |
Квадрупольный |
Разрешающая
способность
|
Менее 1 а.е.м. при
высоте пика 10%, настраиваемая |
| Диапазон рабочих
давлений |
От атмосферы до
сверхглубокого вакуума
|
| датчик Пирани |
работает от 1 атм до 10-2
торр |
| ионизационный
вакуумный датчик |
работает при
давлении ниже 10-2 торр |
| анализатор остаточных газов (RGA) |
работает при
давлении ниже 10-3 торр |
| усилитель работает |
при давлении ниже 10-6
торр |
| Тип детектора
парциального давления
|
Цилиндр Фарадея |
| Чувствительность
парциального давления (А/торр) |
5x10-4 в
цилиндре Фарадея (измерена для азота N2 (28 а.е.м.) при полной ширине пика 1 а.е.м., 10%
высоте, энергии электронов 70 эВ, энергии ионов
6эВ, и электронном токе эмиссии мА.) |
| Минимально
определяемое парциальное давление |
5x10-14
торр с усилителем (измерена для азота N2
(28 а.е.м.) при полной ширине пика 1 а.е.м., 10%
высоте, энергии электронов 70 эВ, энергии ионов
6 эВ, и электронном токе эмиссии мА. 10-11
торр с цилиндром фарадея). |
| Тип датчика
вакуума для давления >10-3 торр |
Тип Пирани (измеряет
потерю тепла при нагреве нити из благородного
металла) |
| Тип датчика
вакуума для давления <10-3 торр
|
Тип Байард-Альперта,
ионизационный, предел по рентгеновскому
излучению 10-9 торр |
Блок управления
Максимальная рабочая температура |
70°C |
| Датчик температуры
блока управления |
Твердотельный датчик
встроен в блок управления, температура постоянно
контролируется и отображается на компьютере |
| Температура отжига |
350°C (без блока
управления анализатором остаточных газов) |
| Рабочая
температура зонда RGA |
100°C, платиновый
термометр сопротивления на зонде, температура
постоянно контролируется и отображается на
компьютере |
| Конструкция
ионизатора |
Открытый ионный
источник, ионизация электронным ударом |
| Материал зонда RGA |
Нержавеющая сталь
SS304, Ковар, вольфрам, алюминий, иридий, медь,
никель |
| Нить накала |
Двойная из иридия,
покрытая торием, с защитой от перегорания
(защита с помощью программного обеспечения) |
| Degas |
Built-in 1 to 30 W
ramp-up |
| Энергия электронов |
10 - 150 В, постоянно
управляемая с помощью программного обеспечения в
зависимости от внешних условиях |
|
Энергия ионов |
3 - 10 В, постоянно
управляемая с помощью программного обеспечения в
зависимости от внешних условиях |
|
Ток электронной эмиссии |
0.1 - 5 mA, постоянно
управляемая с помощью программного обеспечения в
зависимости от внешних условиях |
|
Крепления зонда RGA |
Фланец 2.75" CF,
минимальный внутренний диаметр 40 мм |
|
Размеры блока управления RGA |
84 x 122 x 190 мм.
Легко отсоединяется (для прогрева зонда) |
|
Стабильность по массам |
±0.1 а.е.м. после 30
минут прогрева |
|
Интерфейс компьютера |
RS-232C, 9600 -
115,200 бод |
|
Программное обеспечение |
Совместимо с
операционными системами Windows® 2000, XP |
|
Требования по электропитанию |
24 прямого тока, 2.1 А |
|
Вес |
2,3 кг |
2015-2020. 
