|
SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VSR - Комбинированный вакуумный датчик серии Smartline абсолютное давление от 1200 до 1 х 10-4 мбар
Комбинированный вакуумный датчик VSR на базе пьезорезистивного датчика и датчика Пирани предназначен для сверхточного измерения с высоким разрешением в условиях низкого и глубокого вакуума.
Микроконтроллер осуществляет автоматическое управление опциональной взаимосвязью обоими вакуумными датчиками.
Smartline представляет собой новейшую разработку, позволяющую реализовать безопасный, точный и экономичный контроль за процессами
Типовое применение комбинированного вакуумного датчика VSR
• Загрузочные шлюзы
• Анализаторы
• Технологии нанесения покрытия
• Вакуумные топки
• Испытания на протечки
• Контроль работы вакуумных насосов
• Технологические процессы
• Масс-спектрометрия
• Цепи безопасности вакуумных систем
Преимущества комбинированного вакуумного датчика VSR
• Широкий диапазон измерения за счет комбинации датчиков пьезорезистивный / Пирани
• Высокая точность и оптимальное разрешение на всем диапазоне измерений
• Два независимых беспотенциальных выключателя - коммутационные положения
• Короткое время отклика
• Высокая надежность и устойчивость, длительный срок службы
• Малое деление измерительной шкалы, например для VSR53D составляет 2 см3
• Датчик в металлической оболочке, подходит для применения в сверхглубоком вакууме
• Нить защищена металлическим экраном от испарений масла и растворителей
• Стабильность измеряемых показателей за счет оптимизированной температурной компенсации
• Легкосменная головка датчика с сохраняемой градуировкой
• Измерение давления свыше 20 мбар не зависит от типа газа, для датчика Пирани возможно выбрать поправочный коэффициент для разных типов газа
• Светодиодные индикаторы для контроля состояния устройства и коммутационных положений
• Дискретный интерфейс RS485 и вспомогательный аналоговый выход 1,5...8,58 В или EtherCAT
• Цифровое регулирование уровней нулевого и атмосферного давления с помощью кнопки или интерфейса связи
• Большой встроенный ЖК дисплей с задней подсветкой (VSR53DL, VSR54DL)
• В случае ошибки дисплей ярко мерцает красным цветом, в нормальном режиме дисплей светится зеленым цветом (VSR53DL, VSR54DL)
• Простое соединение с ПЛК
• Сигнал дискретного выхода можно передавать на длительное расстояние (до 500 м)
• Скорость передачи данных от 9,6 до 115 Кбит/с
• Прочная металлическая конструкция корпуса защищенная от электромагнитных помех
• Степень защиты IP54 (VSR53E, VSR54E)
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD10
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 16 ISO-KF или DN 16 CF
Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSR
Принцип измерения |
Мембранный пьезорезистивный / Пирани |
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, никель, золото, двуокись кремния, вольфрам, стекло |
Диапазон измерения |
1200 - 1 x 10-4мбар (900 - 1 x 10-4 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар |
Точность |
1200 - 10 мбар: ±0,3% от полной шкалы
10 - 2 x 10-3 мбар: ±10% от показания |
Повторяемость |
1200 - 10 мбар: ±0,1% от полной шкалы
10-2x10-3 мбар: ±2% от показания |
Длительность реакции |
1200 - 10 мбар: < 30 мс (пьезо)
10 - 2 x 10-3 мбар: < 100 мс (Пирани) |
Питание |
20 - 30 В постоянного тока |
Электрическое подключение |
VSR53D/DL, VSR54D/DL: SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией
VSR53E, VSR54E: Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией,
1x A-стандарт, 5-полюсн., 2x D coded, 4 -полюсн. |
Потребление мощности |
2,5 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД |
Рабочая температура |
+5...+60°C (для макс. относит. влажности 80% при 30°C без выделения конденсата) |
Температура хранения |
-40...+65°C |
Макс. температура вакуума |
125°C на фланце |
Выходной сигнал |
0-10 В пост., диапазон измерений от 1,5 до 8,58 В пост, логарифмическая хар-ка,
1 В / десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10 kΩ (VSR53D/DL, VSR54D/DL) |
Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, переключение адресов 1 - 16 |
Коммутационные положения |
2 переключ. реле, 50 В перем. / 2 A, 30 В пост. / 2 A, макс. 60 ВА |
Вакуумный соединитель |
DN 16 ISO-KF (VSR53), DN 16 CF-F (VSR54) |
Степень защиты |
IP54 (VSR53E, VSR54E), IP40 (VSR53D/DL, VSR54D/DL) |
Масса |
220 г (VSR53D) |
Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VSR
1 Выход (В)
2 Давление (гПа)
3 VВЫХ (В) = log (p(гПа)) + 5,5
4 p(гПа) = 10(Vвых(В) - 5,5)
5 Размеры даны в миллиметрах
Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VSR
Каталожный номер |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
VSR53D |
VSR53D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, 1200 - 1 x 10-4 мбар |
|
VSR53DL (с дисплеем) |
VSR53DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани с дисплеем на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, 1200 - 1 x 10-4 мбар |
|
VSR53E
(EtherCAT)
|
VSR53E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT, 1200-1 x 10-4 мбар |
|
VSR54D |
VSR54D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, 1200-1 x 10-4 мбар |
|
VSR54DL |
VSR54DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани с дисплеем на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, 1200-1 x 10-4 мбар |
|
VSR54E |
VSR54E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT, 1200-1 x 10-4 мбар |
|
Контроллеры вакуумных датчиков: |
VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
Аксессуары: |
SL24 |
SL24 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline, разъем DB15 |
|
SL24-RS485 |
SL24-RS485 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline с выходом RS485, разъем DB9 |
|
SLRS485-USB |
SLRS485-USB Конвертер RS485-USB для вакуумметров серии Smartline |
|
W1515002 |
W1515002 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 2 м |
|
W1515006 |
W1515006 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 6 м |
|
W1515020 |
W1515020 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 20 м |
|
WUSB0002 |
WUSB0002 Кабель USB для подсоединения c ПК, экранированный, 2м |
|
SLKBT |
SLKBT Конвертер RS485-Bluetooth для вакуумметров серии Smartline |
|
B_VSR53 |
B_VSR53 B_VSR53 Сменная головка датчика DN 16-KF, для VSR53 |
|
B_VSR54 |
B_VSR54 Сменная головка датчика DN 16-CF-F, для VSR54 |
|
Программное обеспечение: |
VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows |
|
|
|