|
вакуумные датчики SmartlineTM серии VS
Широкодиапазонный вакуумметр абсолютного давления VSH82MV для диапазона 1000 - 1x10-9 Torr
Широкодиапазонный вакуумметр VSH82MV, включающий в себя два
вакуумных датчика (низковакуумный датчик Пирани и высоковакуумный датчик с нитью накаливания) обеспечивает удобное, точное и стабильное измерение вакуума в диапазоне от атмосферы до сверхглубокого вакуума.
Вам нет необходимости заботиться о контрольных точках, обеспечивающих переход измерения давления от низковакуумного к высоковакуумному датчику, и о соответствующем контроле вакуумметров –
микропроцессорное управление, работающее под надежным программным обеспечением, сделает эту работу за вас.
Высокий стандарт разработки и изготовления вакуумметров, применение самых последних технологий обеспечивают удобное, безопасное и эффективное с точки зрения стоимости решение для применения, контроля и управления сложными вакуумными технологическими процессами.
Преимущества применения широкодиапазонных вакуумметров VSH82MV
● Широкий диапазон измерения одним вакуумметром
● Высоковакуумный вакуумметр автоматически включается и отключается, используя данные с низковакуумного датчика Пирани
● Использование в широкодиапазонном вакуумметре запатентованного датчика Пирани с расширенным диапазоном измерения (до 10-4 торр)
позволяет включать высоковакуумный датчик с нитью накаливания при более глубоком вакууме, что значительно увеличивает срок его работы.
● Очень высокая повторяемость результатов и высокая точность измерения вакуумметра
● Сверхнизкое термическое и электрическое влияние на вакуумную систему
● Высоковакуумный датчик типа Байард-Альперта имеет две нити накаливания и в случае перегорания одной нити вакуумметр автоматически переключается на вторую
● Вакуумметр нечувствителен к прорывам атмосферы – происходит автоматическое отключение высоковакуумного датчика
● Выходной сигнал: логарифмический, 0-10 В прямого тока. Удобная и наглядная интерпретация результатов.
● Через встроенный интерфейс RS485 вакуумметр может встраиваться в цифровую сеть
● Выходной цифровой сигнал вакуумметра может быть передан на сверхдлинные расстояния (до 500 м) с обеспечением безотказной работы системы
● Низкое энергопотребление
● Скорректированное выходное значение давления, учитывающее различные корректирующие коэффициенты для различных газов для различных типов сенсоров
● Сенсоры из нержавеющей стали с металлическим уплотнением, со сменным защитным экраном
● Легкая и точная настройка вакуумного датчика
Типичные применения вакуумметров VSH82MV
Аналитические задачи с применением вакуума
Физика разных процессов в вакууме
Напылительные установки
Инжиниринг вакуумных установок
Измерение и управление вакуумными процессами
Вакуумные печи
Спецификация широкодиапазонного вакуумметра VSH82MV серии Smartline для измерения абсолютного давления 1 атм – 1х10-9 мбар.
Принцип измерения |
Пирани: тепловой нагрев спирали и ее охлаждение, зависящее от теплопроводности (давления) газа
Высоковакуумный сенсор: тип Байард-Альперта, термоэлектронная эмиссия из катода (металлической нити, нагретой проходящим током), ионизация
электронным ударом газа с измерением ионного тока в газе. Оба сенсора газозависимые. |
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нержавеющая сталь, вольфрам, покрытый иридием иттрий, никель, стекло, керамика |
Диапазон измерения |
1000 - 1,0х10-9 мбар (750 - 1,0х10-9 Torr) разрешимое избыточное давление: 4 атм. |
Точность измерения |
1000 -20 мбар: 30 % 20 -0,001 mbar: < 10 % < 0,001 mbar: < 15 % |
Ток эмиссии |
10 мкA, 100 мкA, 1 мA |
Дегазация |
Омический нагрев анода |
Температура эксплуатации |
5 ... 50oC |
Температура хранения |
-20 ... +70o C |
Напряжения питания |
19-30 В постоянного тока |
Потребляемая мощность |
Прим. 6,5 Вт (без точек переключения) |
Выходной сигнал |
0 - 10 В прямого тока, диапазон измерения
1,4 – 8,6 В прямого тока, логарифмическая шкала |
Последовательный компьютерный порт |
RS485: 9600 бод |
Точки переключения |
2 переключающих реле, 60 В, 0,5 A |
Тип электрического подсоединения |
Sub-D, 15-ти штырьковый, «папа» |
Тип вакуумного подсоединения |
NW40 или DN40 ConFlat, нержавеющая сталь |
Максимальная температура прогрева |
180 °C на фланец (со снятой электроникой) |
Класс защиты |
IP40 |
Вес |
665 г. |
Габаритные размеры вакуумного датчика VSH82MV серии Smartline
Блок управления для работы с данным вакуумным датчиком:
VD9S2 (размер: четверть 19-ти дюймовой
стойки, RS-232 интерфейс, 2 реле, 95-265 В
переменного тока)
Дополнительные принадлежности для вакуумметра VSH82MV:
W1506002
Кабель для подсоединения датчика к контроллеру, экранированный, 2 м. (для VD9)
W1506006
Кабель для подсоединения датчика к контроллеру, экранированный, 6 м. (для VD9)
|
|