|
SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VSH - Комбинированный вакуумный датчик VSH серии Smartline абсолютное давление от 1000 до 5 х 10-10 мбар
Комбинированный вакуумный датчик VSH на базе датчика Пирани/горячий катод предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от атмосферного до сверх глубокого вакуума.
Микроконтроллер осуществляет автоматическое управление опциональной взаимосвязью обоими вакуумными датчиками.
Smartline представляет собой новейшую разработку, позволяющую реализовать безопасный, точный и экономичный контроль за процессами.
Типовое применение комбинированного вакуумного датчика VSH
• Анализаторы
• Технологии нанесения покрытия и парофазное осаждение
• Промышленная металлизация
• Измерение и контроль в глубоком и ультра глубоком вакууме
• Вакуумные топки
• Технологические процессы
• Камеры моделирования космических условий
Преимущества комбинированного вакуумного датчика VSH
• Широкий диапазон измерений на базе датчика Пирани / Байярда - Альперта
• Датчик с холодным катодом автоматически контролируется датчиком Пирани
• Пирани с расширенным диапазоном измерений и подогреваемым катодом позволяет выполнять измерения при более низком давлении на протяжении увеличенного срока службы
• Высокая точность и исключительная повторяемость
• Низкий уровень воздействия на вакуумный процесс температуры и помех
• Малое деление измерительной шкалы, например для VSH88D составляет 20 см3
• Устойчивый к потоку газа датчик Байярда - Альперта с двойной нитью с иттриевым покрытием
• Невосприимчивость к потокам газов
• Два независимых беспотенциальных выключателя - коммутационные положения
• Светодиодные индикаторы для контроля состояния устройства и коммутационных положений
• Легкосменная головка датчика с сохраняемой градуировкой
• Точное измерение давления за счет использования поправочных коэффициентов для разного типа газов для датчиков Пирани и горячий катод
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD10
• Дискретный интерфейс RS485 и вспомогательный аналоговый выход 1,219...8,6 В или EtherCAT
• Цифровое регулирование уровней нулевого и атмосферного давления с помощью кнопки или интерфейса связи
• Большой встроенный ЖК дисплей с задней подсветкой (VSH88DL, VSH89DL)
• В случае ошибки дисплей ярко мерцает красным цветом, в нормальном режиме дисплей светится зеленым цветом (VSH88DL, VSH89DL)
• Простое соединение с ПЛК
• Сигнал дискретного выхода можно передавать на длительное расстояние (до 500 м)
• Скорость передачи данных от 9,6 до 115 Кбит/с
• Прочная металлическая конструкция корпуса защищенная от электромагнитных помех
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 40 ISO-KF, DN 25 ISO-KF или DN 40 CF-F
Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSH
Принцип измерения |
Пирани / Байярда - Альперта, зависимый от типа газа |
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, Ni, W, Pl, иридий покрытый иттрием, стекло |
Диапазон измерения |
1000 - 5 x10-10 мбар (750 - 5 x10-10 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар |
Точность |
1000 - 10 мбар: < 30% от показания
10 - 1 x 10-8 мбар: < 10% от показания |
Повторяемость |
±2% (10 - 1 x 10-2 мбар), 5% (1 x10-2 - 1 x 10-8 мбар) |
Время отклика |
< 200 мс (2 с - на подключение тока эмиссии БА) |
Ток эмиссии |
Автоматическое переключение 10 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА |
Дегазация |
Нагрев анода электрическим током |
Питание |
20 - 30 В постоянного тока |
Электрическое подключение |
VSH87D/DL, VSH88D/DL, VSH89D/DL: SubD, 15-полюсн., вилка, с фиксацией
VSH87E, VSH88E, VSH89E: Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией,
1xA-стандарт, 5-полюсн., 2xD coded, 4-полюсн |
Потребление мощности |
Макс. 8 Вт, дополнительно 1 Вт для дегазации и 0,8 Вт для EtherCAT/реле/ЖКД |
Рабочая температура |
+5...+60°C |
Температура хранения |
-40...+65°C |
Макс. температура вакуума |
180°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами) |
Выходной сигнал |
0 - 10 В пост., диапазон измерений 1,219 - 8,6 В пост., логарифм. хар-ка,
0,6 В/десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10kΩ (VSH88D/DL, VSH89D/DL) |
Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, переключение адресов 1 - 16 |
Коммутационные положения |
2 переключ. реле, 50 В перем. / 2 A, 30 В пост. / 2 A, макс. 60 ВА |
Вакуумный соединитель |
DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89) |
Степень защиты |
IP54 (VSH87E, VSH88E, VSH89E), IP40 (VSH87D/DL, VSH88D/DL, VSH89D/DL) |
Масса |
555 г (приблиз.) |
Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VSH
1 Выход (В)
2 Давление (гПа)
3 VВЫХ (В) = 0,6 log (p(гПа)) + 6,8
4 p(гПа) = 10(Vвых(В)) - 6,8)/0,6)
5 Размеры даны в миллиметрах
Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VSH
Каталожный номер |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
VSH87D |
VSH87D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH87DL |
VSH87DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH87E |
VSH87E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH88D |
VSH88D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH88DL |
VSH88DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH88E |
VSH88E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH89D |
VSH89D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце CF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH89DL |
VSH89DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце CF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
|
VSH89E |
VSH89E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт на фланце CF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический, RS485, EtherCAT, от 1000 до 5 x 10-10 мбар |
< |
Контроллеры вакуумных датчиков: |
VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
Аксессуары: |
SL24 |
SL24 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline, разъем DB15 |
|
SL24-RS485 |
SL24-RS485 Блок питания 24В для вакуумметров серии Smartline с выходом RS485, разъем DB9 |
|
SLRS485-USB |
SLRS485-USB Конвертер RS485-USB для вакуумметров серии Smartline |
|
W1515002 |
W1515002 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 2 м |
|
W1515006 |
W1515006 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 6 м |
|
W1515010 |
W1515010 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 10 м |
|
W1515020 |
W1515020 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков VSP, VSR,VSM, VSH к контроллерам VD10 и VD12, экранированный, 20 м |
|
WUSB0002
|
WUSB0002
Кабель USB для соединения с ПК, экранированный, 2 м
|
|
SLKBT |
SLKBT Конвертер RS485-Bluetooth для вакуумметров серии Smartline |
|
B_VSH87 |
B_VSH87 Сменная головка датчика DN 25 ISO-KF, для VSH87 |
|
B_VSH88 |
B_VSH88 Сменная головка датчика DN 40 ISO-KF, для VSH88 |
|
B_VSH89 |
B_VSH89 Сменная головка датчика DN 40 CF-F, VSH89 |
|
XB15SL05 |
XB15SL05 Соединительный штекер IP54 для вакуумметров серии Smartline |
|
W1500506 |
W1500506 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline к соединительному штекеру IP54, без разъема, 6 м |
|
W1500502 |
W1500502 Кабель для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline к соединительному штекеру IP54, без разъема, 2 м |
|
Программное обеспечение: |
VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows |
|
|
|