2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Компания Suzuki Shokan предлагает широкую линейку криовакуумных насосов с Ду от 100 до 800 мм и производительностью от 360 до 28000 л/с по воздуху (азоту).
Ряд уникальных решений в области криовакуумной техники позволяет компании удерживать лидирующие позиции на рынках Японии и Азии как в области оборудования для полупроводниковой промышленности, так и в сфере сверхпроизводительных вакуумных систем, где необходимо откачивать камеры больших объемов.

Так, крионасосы серии "E" обеспечивают производительность на 50% (!!!) выше аналогов с тем же диаметром условного прохода - например, производительность крионасоса Suzuki Shokan SA12SI-01E (с фланцем 320 мм) составляет 4500 л/с, в то время как аналогичные решения других производителей этого размера имеют производительность 3000 л/с. При этом даже стандартные крионасосы Suzuki Shokan требуют существенно меньше времени для захолаживания (до 50%), чем аналогичные крионасосы других производителей.

Для удовлетворения жестких требований полупроводниковых технологий к уровню вибрации, в криовакуумном оборудовании Suzuki Shokan применяются синхронные трехфазные двигатели специальной конструкции, уровень вибрации которых составляет около 10% от аналогичных характеристик обычных двигателей. Это позволяет значительно снизить влияние криовакуумной подсистемы на чувствительные к вибрации элементы полупроводникового оборудования (например, системы позиционирования подложки, и т. п.).

Продукцию компании Suzuki Shokan отличают высочайшая надежность и длительный ресурс работы:
100000 часов непрерывной работы для насосов с Ду до 250 мм и
80000 часов непрерывной работы для насосов с Ду от 320 до 800 мм.