Приборы оптического контроля – Линейка продуктов
Линейка продуктов
Устройства смены свидетеля (УСС)
FilmMaker2
FilmDirector2
Эксплуатационные характеристики
Влияние оптического мониторинга на характеристики продукта и производительность производственного процесса
Модуль источника |
|
Кварцево-галогенный 300 – 2400 нм |
|
При использовании дейтериевого источника возможно расширение диапазона до 220 нм |
Детекторы (приемники) |
|
ФЭУ (PMT) |
220 – 800 нм |
|
Кремний (охлаждённый посредством эффекта Пельтье) |
400 – 1100 нм |
|
Si + InGaAs (охлаждённый посредством эффекта Пельтье) |
550 – 1650 нм |
|
PbS (охлаждённый посредством эффекта Пельтье) |
800 – 2200 нм |
Стандартные устройства
Устройства, описание которых приведено ниже, относятся к стандартной линейке наших продуктов. По запросу могут быть поставлены приборы с другими диапазонами длин волн.
Безволоконные оптические контрольные устройства (FSO-технология) IL550
Модули широкополосного источника и приемника (детектора), которые включают оптику источника и приемную оптику, устанавливаются непосредственно в напылительной камере. Управление этими устройствами осуществляет модуль контроллера, монтируемый в 19-дюймовую стойку. Преобразование в цифровую форму, а также большая часть аналитической работы выполняется модулем приемника (детектора) до того, как цифровые сигналы передаются на контроллер. Модуль контроллера запускает программный пакет FilmMaker и FilmDirector и интегрирует все аппаратные средства/ПО с системой управления напылительной камеры, таким образом, полностью автоматизируя циклы напыления.
Модели
Модель |
Диапазон волн (нм) |
Il551UV |
220-800 |
IL551 |
300-800 |
IL552 |
400-1100 |
IL553 |
550-1650 |
IL555 |
800-2200 |
Типовые конфигурации
 |
Рис. Контроль в режиме отражения от задней поверхности |
 |
| Рис. Контроль в режиме отражения от передней поверхности |
|
Рис. Контроль в режиме работы "на просвет" (в проходящем свете) |
Волоконно-оптические контрольные устройства IL560
В волоконно-оптических контрольных устройствах электроника источника и приемника (детектора), а также большая часть оптики помещается в корпус, монтируемый в 19-дюймовую стойку. Оптические волокна передают сигнал как по направлению к камере, так и от нее. В камере могут быть установлены различные оптические модули (с приемной оптикой и оптикой источника), что позволяет адаптировать систему к самым разным производственным (технологическим) процессам и конфигурациям.
Волоконно-оптические контрольные устройства производства Intellemetrics идеально подходят для применения в случаях, когда требуется контроль образцов при высокой скорости, в том числе прямой контроль подложек в движении. Время замера может быть сокращено до нескольких миллисекунд.
Модели
Модель |
Диапазон волн (нм) |
Il561UV |
220-800 |
IL561 |
300-800 |
IL552 |
400-1100 |
IL553 |
550-1650 |
Типовые конфигурации
Наша команда, обладающая большим опытом в сфере прецизионных оптических покрытий, с радостью обсудит с Вами характеристики вашего технологического (производственного) процесса и предложит решение, отвечающее Вашим требованиям.
Наши квалифицированные инженеры установят и введут в эксплуатацию описанные выше системы мониторинга: работы по установке устройства в вашей системе для нанесения покрытий будут выполнены непосредственно на территории вашего предприятия. Наши специалисты также проведут начальное эксплуатационное обучение.
|
