FilmMaker2 - ПО для системы оптического контроля

Программный продукт FilmMaker2 поставляется с каждой системой оптического контроля производства компании Intellemetrics. ПО позволяет нашим клиентам решать следующие основные задачи:

● Создавать шаблон многослойного покрытия с нуля либо загружать шаблоны из внешних баз данных при помощи пакета программ для САПР (например, TFCalc, Macleod, Optilayer, Filmstar и т.д.).

● Моделировать шаблон многослойного покрытия.

● Создавать схему оптического контроля с шаблона многослойной пленки, включая материалы подложки, дисперсию, смены свидетеля, конфигурацию системы контроля и т.д.

● Использовать набор инструментов для анализа эффективности схемы оптического мониторинга в реальных условиях напыления (данная аналитическая работа проводится до фактического начала цикла напыления).

● Анализировать данные предыдущих циклов напыления с целью оптимизации будущих циклов напыления.

● Осуществлять вывод файла проекта (Project File), в котором содержится вся необходимая информация для запуска автоматического цикла напыления.

Характеристики:

Программное обеспечение FilmMaker2 обладает рядом новых характеристик:

● Включение полной информации о дисперсии подложек в базы данных программ, которые используются для моделирования.

● Включение данных о сменах свидетеля в программные пакеты FilmEditor и FilmSimulator.

● Поправочные (инструментальные) коэффициенты и значения скорости осаждения добавлены в базы данных материалов.

● Автоматическая оптимизация «четвертьволновых» факторов (QWFactors) на основе послойного анализа с дальнейшей точной регулировкой на основе анализа готовой многослойной пленочной структуры.

● Определение результирующих характеристик пленки с использованием для контроля свидетелей либо самого напыляемого элемента.

● Модернизированные программные пакеты FilmEditor и FilmSimulator для ускоренной интерактивной разработки алгоритмов оптического контроля с мгновенной визуальной обратной связью.

● Усовершенствованная процедура создания проекта, его сохранения и перемещения в программную среду FilmDirector.

● Работает на базе Windows7 (как 32 бит, так и 64 бит).

● Полная совместимость с предыдущими версиями FilmMaker.

● Стандартные характеристики программного обеспечения FilmMaker

● Набор инструментов, которые позволяют создавать «четвертьволновые» и «не четвертьволновые» структуры.

● Диапазон длин волн от 190 нм до 30,000 нм.

● Неограниченное количество слоев.

● Неограниченное количество материалов.

● Базы данных материалов для неограниченного количества значений n и k. Выбор между частными базами данных и базами данных общего пользования.

● Информацию о материалах и слоях, а также другие данные можно импортировать с различных источников и экспортировать в файловый формат CVS и/или Excel.

● Поддерживает работу с поглощающими и непоглощающими материалами.

● Поддерживает прямой контроль на напыляемых объектах либо косвенный контроль с применением свидетелей (количество свидетелей не ограничено).

● Присваивает каждому материалу соответствующие скорость осаждения и поправочный (инструментальный) коэффициент.

● Поддерживает следующие режимы контроля: отражение от передней поверхности, отражение от задней поверхности, работа в проходящем свете ("на просвет").

● Используются разные виды подложек: с двухсторонней полировкой, с односторонней полировкой/с шероховатой задней поверхностью и/или с AR-покрытием.

● Моделирование уровня сигнала (T либо R %) в зависимости от толщины.

● Автоматическая оптимизация уровней усиления.

● Автоматическая установка временных ограничений в отношении принудительной остановки процесса напыления (принудительной «отсечки») для целей безопасности.

Возможность остановки процесса напыления отдельных слоев на основе показаний прибора оптического контроля, кварцевого контрольного устройства, времени либо в ручном режиме.

FilmEditor обладает следующими характеристиками:

Оптимизация длины волны на основе послойного анализа.

Минимизация ошибок в точках отсечки на основе послойного анализа посредством автоматической оптимизации «четвертьволновых факторов» (QWFactors).

Позволяет выполнять смену свидетеля и отслеживать влияние на процесс.

Широкий выбор методов анализа и схем фильтрации.

Мгновенная визуальная обратная связь во всех перечисленных выше программных пакетах, что в значительной степени ускоряет и облегчает (делает интуитивным) разработку технологического или производственного процесса.

FilmSimulator обладает следующими характеристиками:

Представление спектральных характеристик на графике в диапазоне от 190 нм до 30,000 нм.

Визуализация спектральных характеристик многослойной пленки на свидетеле либо напыляемом образце.

Дальнейшая автоматическая визуализация «четвертьволновых факторов» (QWFactors) на основе анализа всей пленочной структуры.

Определение источников ошибок (отклонений) в отношении именно вашей напылительной камеры, прибора оптического контроля, конфигурации системы контроля, включая такие показатели, как оптический шум, отклонение коэффициента усиления от идеального значения (фотометрические измерения), погрешность смещения (фотометрические измерения), отклонение уставки длины волны и ширина спектра прибора.

Моделирование спектральных характеристик, количество которых не ограничено, с учетом ошибок и оценкой их влияния на необходимость прекращения цикла напыления.

Оценка производительности и эксплуатационных характеристик вашей модели до запуска цикла напыления.

Графическое представление ошибок в точках отсечки при послойном анализе для любого количества циклов. Оценка устойчивости процесса.

Экспорт информации для анализа ошибок во внешнем программном обеспечении.

FilmReviewer обладает следующими характеристиками:

Анализ данных предыдущих циклов напыления.

Загрузка однослойной либо многослойной модели для анализа.

Просмотр параметров прибора оптического контроля, применяемых в отношении определенного слоя.

Изменение параметров и повторная обработка данных с анализом последствий. Идеальный инструмент для оптимизации параметров с использованием данных, полученных с вашей системы.

Снимки экрана

Бланк базы данных материалов Отсутствие количественных ограничений относительно используемых материалов Определение показателей n и k для неограниченного количества длин волн Определение скорости осаждения для каждого материала Определение поправочного (инструментального) коэффициента для каждого материала Считывание данных из файлов CSV Создание баз данных материалов для частного либо общего пользования.

Используя ленту, можно задать многие важные параметры.

Пример окна программы FilmEditor, в котором изображены смоделированная форма волны и обработанная форма волны для слоя 6 многослойной структуры. Все важнейшие оптические контрольные параметры могут быть отредактированы в режиме реального времени на данном экране, после чего можно быстро оценить влияние изменений параметров на обрабатываемый оптический сигнал. На изображении слева обозначены такие параметры как задержка (HoldOff), время ожидания (latency), экстремумы, подогнанные кривые и т.д. Каждый из параметров выделен отдельным цветом, что облегчает визуальное восприятие информации. В фоновом режиме выполняются операции оптимизации работы системы, что позволяет минимизировать ошибки в точках отсечки, возникшие вследствие выбора вами значений для того или иного параметра.

Пример экрана программы FilmSimulator. На рисунке представлена структура узкополосного фильтра из 44 слоев. Показаны теоретический заданный спектр и результаты анализа 10 циклов моделирования. Графики ошибок (отклонений) показывают динамику ошибок для каждого слоя, которые фиксировались от одного цикла к другому. С помощью данной функции можно определить чувствительность всей структуры к ошибкам, возникающим в отдельных слоях. Вы также можете использовать программу моделирования для того, чтобы увидеть, как бы выглядел результирующий спектр при использовании только кварцевого контрольного устройства.

Графики можно масштабировать различными способами: скопировать в буфер обмена, сохранить в файловом формате BMP, также многие графики могут быть сохранены в формате CSV для проведения анализа при помощи внешнего программного обеспечения.