Приборы оптического контроля для прецизионных оптических покрытий

Приборы оптического контроля серий IL550 и IL560:

> Автоматизированные двухлучевые приборы, готовые к эксплуатации
> Безволоконные (с применением FSO-технологии) и оптоволоконные устройства
> Непосредственный (прямой) контроль и с использованием свидетелей
> Применение устройств в диапазоне от 230 нм до > 12 микрон
> Комплекты мощного программного обеспечения FilmMaker2 и FilmDirector2 установлены в каждой системе

Рис. Контроль в режиме отражения от      передней поверхности в камере напыления      с электронно-лучевымиспарителем с      применением устройства смены свидетеля      (УСС).

Приборы оптического контроля серий IL550 и IL560, предоставляемые конечному пользователю, готовы к использованию (поставляются «под ключ»). Комплект поставки - это полностью автоматизированный пакет аппаратных средств и программного обеспечения, характеризующийся превосходными рабочими характеристиками и высокой производительностью. Компания Intellemetrics является крупнейшим производителем систем оптического контроля для отраслей промышленности, связанных с прецизионными покрытиями, с 1987, и данные продукты явились результатом многолетней успешной работы компании.

Приборы оптического контроля серий IL550 и IL560 устанавливаются в вашей напылительной камере и интегрируются в процесс напыления.

Мы совместно с инженерами из Intellemetics выполним все необходимые работы на этапе проектирования, что позволит успешно интегрировать систему в ваш производственный процесс. Также наши специалисты прибудут непосредственно в место расположения вашей напылительной системы, в какой бы точке СНГ она не находилось, для установки системы в напылительной камере и проведения пуско-наладочных работ. Помимо этого, будет проведено необходимое начальное обучение.

Приборы оптического контроля серий IL550 и IL560 подходят для применения во многих сферах, связанных с прецизионными оптическими покрытиями, и способны работать в режиме реального времени в широком диапазон значений – от 230 нм до 12 микрон.

Системы серий IL550 и IL560 контролируют оптический сигнал, относящийся к росту пленки, и автоматически прекращают процесс напыления слоя (пленки), руководствуясь значением оптической толщины, заданным предварительно в отношении данной пленки. Система автоматически регулирует длину контролирующей волны в отношении каждого осаждаемого слоя. Оператор определяет алгоритм, в соответствии с которым будут определяться точки «отсечки» слоя (завершения напыления): система может использовать алгоритм контроля в точках экстремума на основе четвертьволновой оптической толщины либо не четвертьволновой оптической толщины, в зависимости от конкретных условий. Данное свойство является основным преимуществом продуктов IL550 и IL560 по сравнению с системами с фиксированной длиной волны: обеспечивается беспрецедентно высокие воспроизводимость, точность и стабильность. Описанный процесс повторяется автоматически в отношении других слоев, количество которых не ограничено, до полного завершения процесса.

Рис. Оптоволоконное контрольное устройство для контроля образцов в ионно-лучевой распылительной системе.

Приборы кварцевого контроля измеряют массу осаждаемого материала, ввиду чего они наилучшим образом подходят для управления такими параметрами как, например, скорость испарения (напыления). Тем не менее, оптический мониторинг является единственным способом, позволяющим провести прямое измерение действительной оптической толщины слоя, благодаря чему этот метод широко применяется в работе с прецизионными оптическими компонентами.

Устройства серий IL550 и IL560 оснащаются полностью программируемым цифровым интерфейсом ввода-вывода на базе Windows. Благодаря этому пользователи имеют возможность быстро интегрировать прибор оптического контроля в самые разные системы для нанесения покрытий (включая OEM-системы, а также системы, изготовленные по специальным техническим требованиям заказчика).

Широкополосный источник освещает растущую пленку, в то время как модуль приемника анализирует полученный сигнал (анализ спектра отражения либо пропускания). Система автоматически регулирует длину волны датчика на основе характеристик наращиваемого слоя.

Система оснащается блоком процессора, который позволяет пользователю использовать мощные и, в то же время, «дружественные» запатентованные программно-реализованные алгоритмы на базе Windows®, обеспечивающие высокую воспроизводимость итоговой оптической толщины, также при достаточно высоком уровне шума системы.

Полный комплект ПО, включая инструменты для расчета параметров пленки, расчета параметров процесса нанесения покрытия, моделирования и анализа, интегрируется в систему оптического контроля. Также комплект программ может быть поставлен в качестве автономной настольной версии.

Комплект мощного программного обеспечения FilmMaker2 и FilmDirector2 компании Intellemetrics встроен в каждую систему.