|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет
держатели кварцевых сенсоров для измерения скорости напыления и толщины тонких пленок.
Вакуумные сенсоры для измерения толщины и скорости напыления плёнок
(вакуумные держатели кварцевых датчиков (микровесов)).
Кварцевый датчик (держатель кварцевых кристаллов) Electron на 12 и 24 кристалла
Поставляемые нами держатели кварцевых сенсоров для измерения скорости напыления и толщины плёнки производятся в США, надёжные в работе, лёгко обслуживаются, и при этом имеют привлекательную цену. Предлагаем вам наиболее спрашиваемые и распространённые модели держателей кварцевых кристаллов для измерения толщины тонких плёнок.
Возможно изготовление на заказ под вашу задачу.
Далее в таблице обозначения:
1/Е, 2/Е, 3/Е – один, два или три электрических контакта
1/Ж, 2/Ж, 3/Ж – один, два или три подсоединения для жидкости и/или газа (как правило, воды для охлаждения и/или сжатого воздуха для заслонки).
Пожалуйста, обращайте внимание на наличие кабелей при описании позиций. В комплект большинства позиций кабели не входят.
Схемы вакуумных вводов и вакуумных
датчиков |
Описание вакуумных вводов и
вакуумных датчиков
|
|
501-025 Вакуумный ввод для датчика измерения скорости напыления, фланец NW 40 ISO-KF, 1/E, 2/Ж
( 1 соединение Microdot – BNC, две линии подвода воды 3/16" OD ) |
|
501-028 Вакуумный ввод для датчика измерения скорости напыления, фланец CF2.75 (CF40), 1/E
( 1 соединение Microdot – BNC, без линий подвода воды )
|
|
VSO-100Б Гибридный вакуумный датчик
измерения скорости напыления плёнок в вакууме (кварцевый кристалл и осциллятор расположены в одном корпусе) |
|
500-017 Вакуумный ввод для датчика измерения скорости напыления, фланец CF2.75 (CF40)
( 1 соединение Microdot – BNC, две линии подвода воды 36" OD )
|
|
501-012 Вакуумный ввод с болтовым креплением 1 дюйм для датчика измерения скорости напыления с двумя сенсорами и пневматической заслонкой, 2/Е, 3Ж.
Болтовое вакуумное соединение, 2 разъёма Microdot – BNC, две линии охлаждающей воды 16" OD, одна линия сжатого воздуха. Включает два электрических кабеля Microdot - BNC
|
|
501-019 Вакуумный ввод с болтовым креплением 1 дюйм для датчика измерения скорости напыления с одним сенсором и пневматической заслонкой, 1/Е, 3Ж.
Болтовое вакуумное соединение, 1 разъём Microdot – BNC, две линии охлаждающей воды 3/16" OD, одна линия сжатого воздуха 3/16” OD . Электрический кабель Microdot - BNC не включён.
|
|
501-002 Вакуумный ввод с болтовым креплением 1 дюйм для датчика измерения скорости напыления с одним сенсором, 1Е, без линий водяного охлаждения.
|
|
501-026 Вакуумный ввод для датчика измерения скорости напыления, фланец CF2.75 (CF40), 4/E
4 соединения Microdot – BNC, без линий подвода воды
|
|
501-013 Вакуумный ввод с болтовым креплением 1 дюйм для датчика измерения
скорости напыления, 1Е, 2Ж, Ultratorr соединение линий водяного охлаждения. 1"
вакуумный ввод, 1 электрическое соединение Microdot – BN, две линии подвода воды
3/16" OD с соединением Ultrtorr на концах трубок.
|
|
501-018/L Вакуумный датчик для измерения толщины и скорости напыления на фланце CF40, трубки приварены, датчик перпендикулярен трубкам.
Длина трубки определяется заказчиком. В комплект поставки включён вакуумный кабель соответствующей длины.
|
|
500-016 Вакуумный ввод с болтовым креплением 1 дюйм для датчика измерения скорости напыления с одним сенсором, 1/Е, 2Ж.
Одно соединение Microdot - BNC и две трубки 3/16" OD для подсоединения охлаждающей воды |
|
501-017 Вакуумный ввод на фланце CF40 для датчика измерения скорости напыления, 1Е, 2Ж, Ultratorr соединение линий водяного охлаждения.
Фланец CF40, 1 электрическое соединение Microdot – BN, две линии подвода воды 3/16" OD с соединением Ultrtorr на концах трубок.
|
|
501-008 Вакуумный ввод на фланце CF40 для датчика измерения скорости напыления с пневматической заслонкой, 1Е, 3Ж,
.
Фланец CF40, 1 электрическое соединение Microdot – BN, две линии подвода воды 3/16" OD и одна линия для подачи сжатого воздуха 3/16” OD.
|
|
501-020 Вакуумный ввод на фланце CF40 для датчика измерения скорости напыления с двумя кварцевыми сенсорами и пневматической заслонкой, 2Е, 3Ж,
.
Фланец CF40, 2 электрических соединения Microdot – BN, две линии подвода воды 3/16" OD и одна линия для подачи сжатого воздуха 3/16” OD.
|
|
500-042 Датчик измерения скорости напыления и толщины плёнки, с водяным охлаждением
Сенсор имеет Microdot электрическое соединение, две линии для охлаждающей воды диаметром 3/16” OD длиной 75 см.
|
|
500-088 Датчик измерения скорости напыления и толщины плёнки, с водяным охлаждением, сенсор расположен
перпендикулярно охлаждающим трубкам.
Сенсор имеет Microdot электрическое соединение, две линии для охлаждающей воды диаметром 3/16” OD длиной 75 см.
|
|
500-080 Датчик измерения скорости напыления с кварцевым сенсором и заслонкой.
Линии подвода воды 1/8" OD, линия подвода сжатого воздуха 1/8" OD, один электрический разъём типа Microdot.
Опционно: соленоид 24 В ПТ для линии сжатого воздуха.
|
|
500-103 Комплект на базе датчика измерения скорости напыления с кварцевым сенсором.
Линии подвода воды 1/8" OD, один электрический разъём типа Microdot.
В комплект поставки входят:
1) 500-042 Вакуумный датчик измерения толщины плёнки
2) OSC-100 Осциллятор
3) 500-024 Вакуумный кабель длиной 75 см
4) 500-025 BNC-кабель длиной 15 см,
5) 500-026 BNC-кабель длиной 3 м,
6) 500-014 Набор кварцевых кристаллов, 5шт.
Вакуумный фланец в комплект не входит.
|
|
500-091 Комплект на базе датчика измерения скорости напыления с кварцевым сенсором, расположенным перпендикулярно подводящим охлаждающим трубкам.
Линии подвода воды 3/16" OD, один электрический разъём типа Microdot.
В комплект поставки входят:
1) 500-088 Вакуумный датчик измерения толщины плёнки
2) OSC-100 Осциллятор
3) 500-024 Вакуумный кабель длиной 75 см
4) 500-025 BNC-кабель длиной 15 см,
5) 500-026 BNC-кабель длиной 3 м,
6) 500-014 Набор кварцевых кристаллов, 5шт.
Вакуумный фланец в комплект не входит.
|
|
500-106 Вакуумный датчик измерения толщины и скорости напыления плёнок в вакуумне, одно электрическое соединение Microdot (тип S-50) расположено на боковй (цилиндрической) поверхности, без водяного охлаждения.
|
|
501-137 Вакуумный датчик измерения толщины и скорости напыления плёнок в вакууме, одно электрическое соединение Microdot (тип S-50) расположено на тыльной стороне датчика, без водяного охлаждения.
|
|
501-009/L Прогреваемый до 275°С вакуумный датчик измерения толщины и скорости напыления плёнок в вакууме, одно электрическое соединение Microdot (тип S-50) расположено на боковой стороне датчика, с водяным охлаждением, смонтированы на фланце CF40.
Длина от фланца до середины кварцевого сенсора определяется заказчиком, и может лежать в пределах 8-50 см. Перед прогревом линии подачи воды должны быть продуты сжатым воздухом. Электрический вакуумный кабель находится внутри жёсткого керамического изолятора с внешним диаметром 6 мм (изгиб вакуумных трубок, держащих сенсор, после установки в вакуумную камеру, недопустим).
|
|
500-065/L Прогреваемый до 275°С вакуумный датчик измерения толщины и скорости напыления плёнок в вакууме с пневматической заслонкой, одно электрическое соединение Microdot (тип S-50) расположено на боковой стороне датчика, с водяным охлаждением, смонтированы на фланце CF40.
Длина от фланца до середины кварцевого сенсора определяется заказчиком, и может лежать в пределах 8-50 см. Перед прогревом линии подачи воды должны быть продуты сжатым воздухом. Электрический вакуумный кабель находится внутри жёсткого керамического изолятора с внешним диаметром 6 мм (изгиб вакуумных трубок, держащих сенсор, после установки в вакуумную камеру, недопустим).
|
|
500-093 Датчик измерения скорости напыления с двумя кварцевыми сенсорами и заслонкой.
Линии подвода воды 1/8" OD, линия подвода сжатого воздуха 1/8" OD, 2 электрических разъёма типа microdot.
Опционно: соленоид 24 В ПТ для линии сжатого воздуха.
|
|
501-015/L Вакуумный датчик измерения скорости напыления материалов в вакууме, смонтированный на болтовом вакуумном гермовводе диаметром 1 дйюм.
Длина от гермоввода до сенсора определяется заказчиком и не может превышать 80 см. Вакуумный кабель соответствующей длины включён в комплект поставки.
(чтобы сформировать полный комплект поставки измерительной части (без контроллера), закажите набор с осциллятором и кабелями 500-109)
|
|
501-032/L Вакуумный датчик измерения скорости напыления материалов в вакууме, смонтированный на болтовом вакуумном гермовводе
диаметром CF2.75 (CF40). |
|
501-016/L Вакуумный датчик измерения скорости напыления материалов в вакууме, смонтированный на болтовом вакуумном гермовводе диаметром 1 дйюм.
Сенсор расположен перпендикулярно охлаждающим трубкам. |
|
501-134/L Вакуумный датчик измерения скорости напыления материалов в вакууме, смонтированный на болтовом вакуумном гермовводе диаметром 1 дйюм.
с пневматической заслонкой. |
|
|