|
Модельный ряд системы LEP400
Модельный ряд системы LEP400
Программный пакет EtchDirector для LEP400
Применение системы LEP400
Выбор продукта
Продукты серии LEP400 могут иметь различную конфигурацию, что позволяет адаптировать устройства к требования, предъявляемым к процессу травления различных материалов, а также к особенностям различных технологических процессов (система может быть сконфигурирована как в соответствии с гибкими требованиями опытно-исследовательских лабораторий, так и согласно жестким требованиям крупносерийного производства). Конструкция этих приборов сделана универсально-сборной для того, чтобы вы могли адаптировать систему к своим потребностям. Мы можем поставить вам полный комплект оборудования, которое вы сможете запустить за несколько минут. Вам просто необходимо подать питание на установку плазменного травления и стол, чтобы включить контроллер и экран. 
Вначале вам необходимо выбрать базовую систему. В состав каждой базовой системы включен ряд элементов:
 |
 Интерферометрическая лазерная головка LEP400 с камерой, осуществляющей слежение за образцом в режиме реального времени.
Подвижная оправа с кнопочным управлением для оперативной настройки правильного падения в оптической системе.
Высокоточный координатный столик (XY) с ручным управлением и длиной хода 25 мм, позволяющий отрегулировать лазерное пятно в соответствии с шаблоном.
Переходник, позволяющий прикрутить головку к верхней части камеры плазменного травления.
Оснащение всеми кабельными разъемами и разъемами питания. |
 |
Износоустойчивый модуль контроллера (19 дюймов x 4U)
Аналого-цифровой модуль сбора данных (20 бит) для приема интерференционных сигналов с высоким разрешением. |
 |
Предустановленное программное обеспечение EtchDirector. Ознакомиться с подробной информацией о программном обеспечении EtchDirector можно здесь. |
Базовые системы поставляются в трех модификациях, выбор которых зависит от требуемой длины волны:
ДЛИНА ВОЛНЫ |
КОД ДЛЯ ЗАКАЗА |
670 нм |
LEP400.BASE.670 |
980 нм |
LEP400.BASE.980 |
1550 нм |
LEP400.BASE.1550 |
Стандартные опции
Каждая базовая система может быть укомплектована следующими опциями, адаптирующими устройство к вашим требованиям:
ОПИСАНИЕ |
КОД ДЛЯ ЗАКАЗА |
Оснащение полным набором средств цифрового ввода/вывода. Программа EtchDirector позволяет выполнять привязку сигналов к критическим событиям, благодаря чему реализована возможность интеграции базовой системы в систему контроля установки травления. Данное свойство системы позволяет выполнять автоматические запуск и остановку процесса травления при достижении требуемой глубины травления либо при выполнении критериев, установленных в отношении точки завершения (endpoint). |
LEP.DIGIIO |
17-дюймовый монитор для просмотра изображения образца и лазерного пятна с камеры LEP400 в режиме реального времени. Монитор может быть размещен рядом с базовой системой либо вблизи лазерной головки LEP400: решение идеально подходит для случаев установки оборудования в удаленных чистых комнатах. |
LEP.CAMMON |
Графическое отображение на экране. Установка данной опции позволяет просматривать изображение с камеры на 20-дюймовом жидкокристаллическом экране в режиме реального времени (LEP.LCDMON). Идеально подходит для случаев, когда занимаемое пространство является решающим фактором. |
LEP.VISION |
Координатный столик (XY) с механическим приводом, оборудованный координатной ручкой управления. Идеально подходит для случая, когда LEP400 находится за перегородкой чистой комнаты. В комплект поставки включен кабель длиной 5 м для соединения координатного столика и ручки управления. |
LEP.MOTORXY |
20-дюймовый жидкокристаллический монитор с красивым дизайном для подключения к базовой системе |
LEP.LCDMON |
Клавиатура и мышка для подключения к базовой системе. |
LEP.KBDMOU |
Предлагается ряд других опций для сопряжения и интеграции с установками плазменного травления от OEM-производителей. Пожалуйста, свяжитесь с нашими техническими специалистами, чтобы обсудить требования вашего технологического (производственного) процесса
|
|
