2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Оптика для формирования ионных пучков

Продукты серии RFICP предлагают различные конфигурации ионной оптики. Эти конфигурации определяют пространственное распределение плотности ионного тока в плоскости выхода из сетки. При конфигурации оптики для дефокусированного пучка, ионы, после выхода из источника, расходятся, расширяя свой поток по мере удаления от источника. При конфигурации оптики на фокусированный пучок, ионы по мере удаления от плоскости выхода сходятся в точке фокуса. Если оптика сконфигурирована на коллимированный поток, ионы движутся от сетки по траекториям, почти параллельным оси ионного источника. Далее эти заданные формы пучка настраиваются под соответствующий ионный процесс.

Самовыравниваемые сетки (OptiBeam™)

Линейка продуктов серии RFICP использует патентованную для серии KRI технологию самовыравнивания сетки. Сетки торговой марки OptiBeam™ не требуют процедуры настройки. Благодаря перспективной разработке и точному изготовлению, простая процедура сборки гарантирует, что сетки будут выравнены. Преимущества самовыравниваемых сеток включают повторяемость пучка, увеличенный срок службы сетки, максимальный ионный ток, уменьшение времени обслуживания и увеличенное время безотказной работы.

Внешний нейтрализатор

В стандартной конфигурации продукты RFICP поставляются с внешним нейтрализатором. Внешний нейтрализатор устанавливается на стенке источника и вне пучка ионов. Если нейтрализатор находится вне пучка, время между его техническими обслуживаниями больше и сопоставимо с временами для других узлов источников серии RFICP. Внешнее расположение нейтрализатора хорошо подходит для установок с большими межсервисными интервалами и продолжительными циклами работы, для которых необходимо минимизировать риск прерывания процесса. Если время межсервисного обслуживания нейтрализатора не критично, более дешевой альтернативой может быть тугоплавкая металлическая нить, натянутая поперек пучка ионов. Время жизни натянутой поперек пучка нити будет меньше любого межсервисного интервала внешнего нейтрализатора, однако легкость доступа и простота замены могут оправдать использование этой «внутренней» нити.

Удерживание плазмы высокой плотности высокочастотной индукцией

В продуктах серии RFICP используется технология высокочастотной генерации и удерживания плазмы ВЧ индукцией. Индукционная ВЧ катушка намотана вокруг диэлектрической плазменной камеры. Вследствие электромагнитной индукции энергия тока высокой частоты передается внутрь камеры, в которой ионизируется нейтральный плазмообразующий газ, тем самым образуя и поддерживая плазму. При автоматическом согласовании полного сопротивления, эффективная мощность тока высокой частоты, образующая плазму, становится максимальной и создает эффективный процесс ионизации различных плазмообразующих газов. Такой механизм позволяет получать плазму высокой плотности из многих газов, включая Ar, Xe, O₂, N₂ и другие химически активные газы.

Стабильная нейтрализация

Линейка продуктов серии RFICP оснащается специальными регулируемыми нейтрализаторами – источниками электронов. Имея надежный источник электронов, продукты серии RFICP могут обрабатывать диэлектрические, электрически изолированные и чувствительные к статическому электричеству подложки. Количество электронов точно контролируется для компенсирования положительного заряда. В ионном пучке поддерживается требуемое количество электронов. Они достигают поверхности подложки и обеспечивают электрически-нейтральный процесс. Для работы продуктов RFICP не надо полагаться на такие ненадежные источники электронов, как незащищенное проводящее внутрикамерное оборудование. Внешние нарастающие и блуждающие электромагнитные поля, которые могут присутствовать в вакуумной камере, не будут влиять на качество, стабильность или нейтрализацию ионного пучка продуктов серии RFICP. Однако, в случае, когда процесс нейтрализации не очень важен, продукты RFICP действительно могут работать без нейтрализатора.

Уменьшенное взаимное влияние энергии ионов и ионного тока

Для более широкого использования, продукты серии RFICP допускают независимую установку наиболее важных параметров ионного пучка. Например, энергия ионного пучка и ионный ток могут быть установлены без взаимосвязи между этими двумя параметрами. Гибкость изменения энергии ионов (V_b) и ионного тока (I_b) при заданной мощности ионного пучка (P_b = V_b x I_b) предоставляет ценный инструмент для процесса оптимизации. По существу, продукты RFICP формируют ионный поток с моноэнергетическим распределением по энергии ионов. Будет ли поверхность подложки бомбардироваться ионами с энергией 200 или 1000 эВ, это скажется на взаимодействии ионов и материала. Источники RFICP обеспечивают стабильный ток пучка ионов с типовыми отклонениями от заданного значения менее 1%. Будет ли поверхность подложки бомбардироваться ионным током 10 или 1000 мА, это отразится на скорости процесса и температуре.