RFICP 220 – мощный сеточный ионный источник, хорошо подходящий для ионного осаждения методом напыления, ионно-лучевого осаждения и ионного травления. При ионном напылении ионные источники снабжаются ионной оптикой, которая ограничивает пучок до размера распыляемой мишени.
Для ионно-лучевого осаждения RFICP 220 обычно применяется с ионной оптикой, максимизирующей расхождение ионного пучка. При ионном травлении этот ионный источник используется с оптикой, оптимизирующей равномерность. Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 800 мА.
2015-2020 
