RFICP 100 – компактный сеточный ионный источник, который хорошо подойдет для ионного осаждения и ионного травления. По сравнению с его малыми физическими размерами мощность ионного пучка (>400 мА) впечатляет. Диаметр источника составляет 19 см и он монтируется на 10” фланец CF.
RFICP 100 подходит для малых и средних вакуумных камер. При ионном напылении ионные источники снабжаются ионной оптикой, которая ограничивает пучок до размера распыляемой мишени. А при травлении ионным пучком установленная ионная оптика обеспечивает равномерность пучка. Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 400 мА.
2015-2020 
