Максимальная температура нагрева составляет 950 ºС.
Используются источники питания переменного или постоянного тока.
● Нагреваемые подложкодержатели для крепления образцов в процессе магнетронного распыления
- на поверхности данного подложкодержателя можно просверлить отверстия, нарезать в них резьбу, прикрепить зажимы для крепления образцов
- перед эксплуатацией данный подложкодержатель должен быть обязательно прогрет до (или выше) рабочей температуры процесса напыления
- для лучшей теплопередачи на поверхность подложкодержателя может быть нанесена Теплопроводящая Серебряная Паста (ТСП продается как дополнительная принадлежность).
● Нагреваемые подложкодержатели для крепления пластин
в процессе магнетронного распыления
- выполнен из инконеля
- в подложкодержателе выточено углубление под конкретный размер пластины
- не рекомендуется использовать Теплопроводящую Серебряную Пасту с данным подложкодержателем