АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет дроссельные заслонки для магнетронов в
вакуумных напылительных системах

Компания РОБВАК поставляет нагреваемые подложкодержатели для магнетронного напыления.


Нагреваемые подложкодержатели для магнетронного распыления выпускаются в двух версиях:
1. Для крепления образцов
2. Для крепления пластин

Максимальная температура нагрева составляет 950 ºС.
Используются источники питания переменного или постоянного тока.

 

 

 


Нагреваемые подложкодержатели для крепления образцов в процессе магнетронного распыления
- на поверхности данного подложкодержателя можно просверлить отверстия, нарезать в них резьбу, прикрепить зажимы для крепления образцов
- перед эксплуатацией данный подложкодержатель должен быть обязательно прогрет до (или выше) рабочей температуры процесса напыления
- для лучшей теплопередачи на поверхность подложкодержателя может быть нанесена Теплопроводящая Серебряная Паста (ТСП продается как дополнительная принадлежность).

Нагреваемые подложкодержатели для крепления пластин в процессе магнетронного распыления
- выполнен из инконеля
- в подложкодержателе выточено углубление под конкретный размер пластины
- не рекомендуется использовать Теплопроводящую Серебряную Пасту с данным подложкодержателем

Таблица.  Нагреваемые подложкодержатели.
Основные характеристики SU-200-HH SU-200-IH SU-300-HH SU-300-IH SU-600-IH
Тип напыляемого изделия Образец Пластина Образец Пластина Пластина
Размер, мм 50 50 75 100 150
Равномерность температуры +/- 1% +/- 1% +/- 1% +/- 2% +/- 2%
Область равномерности, мм 32 50 56 100 150
Время нагрева до 950 ºС, мин 12 12 13 22 30
Время охлаждения 35 мин 35 мин 40 мин 3 ч 4 ч
Максимальный ток, А 10   10 9 14 14
Максимальное напряжение, В 45 45 85 85 135
Сопротивление нагревателя, Ом 5   5 10 6 10

 

 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика