АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 

Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет сеточные ионные источники серии RFICP



сеточные ионные источники серии RFICP

Компания Kaufman & Robinson предлагает линейку сеточных ионных источников с удержанием плазмы ВЧ индукцией (RFICP). Продукты RFICP разработаны на основе самой инновационной технологии сеточных ионных источников. Инновации, такие как удерживание плазмы ВЧ индукцией без использования нитевого накала и самовыравниваемая ионная оптика, доказали свои преимущества. Не имея нить накала в плазменной камере продукты RFICP хорошо подходят для работы в таких установках, в которых могут происходить выбросы химически активных газов и проводиться длительные процессы обработки.

Источники серии RFICP поставляются в виде полностью законченного комплекта. Этот комплект включает компоненты, необходимые для установки и работы источников RFICP, в том числе ионный источник RFICP с удержанием плазмы ВЧ индукцией, специализированную для определенных приложений ионную оптику, нейтрализатор – источник электронов, контроллер электропитания, проходные вакуумные патрубки и кабели.

Продукты серии RFICP используются во всем мире в ведущих научных исследованиях и промышленном производстве оптических, световых, магнитных и микроэлектронных устройств. Комплекты продуктов RFICP сконфигурированы для удовлетворения требований различных технологий. Эти комплекты могут быть установлены в различные вакуумные системы, такие как небольшие многоцелевые НИОКР системы, установки для планетарного нанесения или травления, объемного вакуумного напыления, шлюзовые модули кластерного типа и прочее.

Продукты серии RFICP применяются как в широко известных, так и в еще разрабатываемых процессах обработки материалов. Возможность образовывать и контролировать ионы различных видов с заданной энергией, химической активностью, плотностью тока и траекторией движения делает продукты RFICP эффективными инструментами для обработки пленок и поверхностей. Будь то уплотнение, оптическая передача, критическая однородность размеров, гладкие границы, улучшение адгезии или вертикальные боковые стенки структур – везде продукты серии RFICP помогут получить выигрышные свойства материала. Как правило, продукты этой серии используются в следующих вакуумных процессах:

• Ионно-лучевое ассистирование при термическом и электронно-лучевом напылении (Ion beam assisted deposition – IBAD)

• Предварительная очистка и активация поверхности (preclean – PC)

• Модификация поверхностей (Surface modification – SM)

• Непосредственное нанесение тонких пленок (Direct deposition – DD)

• Нанесение методом ионно-лучевого распыления одно- и многослойных структур (Ion beam sputter deposition – IBSD)

• Ионное травление элементов поверхности в любых материалах (Ion beam etching – IBE)

• Очистка, доводка и придание формы прецизионным деталям с помощью ионного пучка (Ion beam trimming, tuning and figuring – IBE)

Модель сеточного ионного источника RFICP40 RFICP100 RFICP140 RFICP220
Метод генерации ионов
Удерживание плазмы ВЧ индукцией
Высота (номинал)
5.0"
9.25"
9.8"
11.8"
Диаметр (номинал)
5.3"
7.52"
9.8"
16.1"
Размер пучка у сетки (типовой)
4 см
10 см
14 см
22 см
Формы пучка
Фокусированный,
коллимированный,
расфокусированный
Обрабатываемые материалы
Металлы,
диэлектрики,
полупроводники
Рабочие газы
Инертные,
активные,
смеси
Установка (типовая)
6-18"
6-24"
8-36"
8-45"
Применение
(типовое)
PC,
SM,
IBAD,
IBE,
IBSD


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика