АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 

Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет сеточные ионные источники серии RFICP



сеточные ионные источники серии RFICP

Компания Kaufman & Robinson предлагает линейку сеточных ионных источников с удержанием плазмы ВЧ индукцией (RFICP). Продукты RFICP разработаны на основе самой инновационной технологии сеточных ионных источников. Инновации, такие как удерживание плазмы ВЧ индукцией без использования нитевого накала и самовыравниваемая ионная оптика, доказали свои преимущества. Не имея нить накала в плазменной камере продукты RFICP хорошо подходят для работы в таких установках, в которых могут происходить выбросы химически активных газов и проводиться длительные процессы обработки.

Источники серии RFICP поставляются в виде полностью законченного комплекта. Этот комплект включает компоненты, необходимые для установки и работы источников RFICP, в том числе ионный источник RFICP с удержанием плазмы ВЧ индукцией, специализированную для определенных приложений ионную оптику, нейтрализатор – источник электронов, контроллер электропитания, проходные вакуумные патрубки и кабели.

Продукты серии RFICP используются во всем мире в ведущих научных исследованиях и промышленном производстве оптических, световых, магнитных и микроэлектронных устройств. Комплекты продуктов RFICP сконфигурированы для удовлетворения требований различных технологий. Эти комплекты могут быть установлены в различные вакуумные системы, такие как небольшие многоцелевые НИОКР системы, установки для планетарного нанесения или травления, объемного вакуумного напыления, шлюзовые модули кластерного типа и прочее.

Продукты серии RFICP применяются как в широко известных, так и в еще разрабатываемых процессах обработки материалов. Возможность образовывать и контролировать ионы различных видов с заданной энергией, химической активностью, плотностью тока и траекторией движения делает продукты RFICP эффективными инструментами для обработки пленок и поверхностей. Будь то уплотнение, оптическая передача, критическая однородность размеров, гладкие границы, улучшение адгезии или вертикальные боковые стенки структур – везде продукты серии RFICP помогут получить выигрышные свойства материала. Как правило, продукты этой серии используются в следующих вакуумных процессах:

• Ионно-лучевое ассистирование при термическом и электронно-лучевом напылении (Ion beam assisted deposition – IBAD)

• Предварительная очистка и активация поверхности (preclean – PC)

• Модификация поверхностей (Surface modification – SM)

• Непосредственное нанесение тонких пленок (Direct deposition – DD)

• Нанесение методом ионно-лучевого распыления одно- и многослойных структур (Ion beam sputter deposition – IBSD)

• Ионное травление элементов поверхности в любых материалах (Ion beam etching – IBE)

• Очистка, доводка и придание формы прецизионным деталям с помощью ионного пучка (Ion beam trimming, tuning and figuring – IBE)

Модель сеточного ионного источника RFICP40 RFICP100 RFICP140 RFICP220
Метод генерации ионов
Удерживание плазмы ВЧ индукцией
Высота (номинал)
5.0"
9.25"
9.8"
11.8"
Диаметр (номинал)
5.3"
7.52"
9.8"
16.1"
Размер пучка у сетки (типовой)
4 см
10 см
14 см
22 см
Формы пучка
Фокусированный,
коллимированный,
расфокусированный
Обрабатываемые материалы
Металлы,
диэлектрики,
полупроводники
Рабочие газы
Инертные,
активные,
смеси
Установка (типовая)
6-18"
6-24"
8-36"
8-45"
Применение
(типовое)
PC,
SM,
IBAD,
IBE,
IBSD


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика