|
ВЧ генераторы
Серии R и HR ВЧ генераторов по умолчанию поставляются с частотой 13.56 МГц, которая выставляется на заводе и не может быть изменена в дальнейшем пользователем. Возможно изготовление ВЧ генераторов серий R и HR с любой частотой из диапазона 1.7 - 40.68 МГц (по умолчанию ВЧ-генераторы поставляются с одной фиксированной частотой из ряда: 12.56, 13.56, 27.12 и 40.68 МГц, или с возможностью регулировки в диапазоне 1.7 - 2.1 МГц с шагом 1 кГц)
Если при заказе не указана частота ВЧ генератора или автосогласующего устройства, они поставляются с фиксированной частотой 13,56 МГц.).
ВЧ генераторы защищены от условий возникновения избыточного коэффициента стоячей волны по напряжению (КСВН) с помощью ограничения отражённой энергии, силы тока усилителя, рассеиваемой мощности на транзисторах усилителя.
R серия, Высокочастотные генераторы
(ВЧ генераторы), 1.7 – 40.68 МГц
ВЧ генераторы серии R - современные надежные высокочастотные генераторы, нашедшие применение во многих отраслях промышленности и во многих научных лабораториях мира, и разработаны для удовлетворения нужд самых требовательных, в том числе плазменно-вакуумных приложений.
Главное отличие данных ВЧ генераторов от ВЧ генераторов серии HR – высокочастотные генераторы серии R имеет удобную для работы переднюю панель, на которой расположен 4-х строчный дисплей, индикаторы состояния и кнопки управления. Элементы контроля и управления ВЧ генератором сгруппированы в логические группы, а дисплей выводит всю необходимую для работы и контроля информацию (значение генерируемой мощности, значение отраженной мощности,
частоту подаваемого напряжения, и т.д.).
В зависимости от подаваемой мощности ВЧ генераторы имеют водяное или воздушное охлаждение.
ВЧ генератор серии R может быть использован как единственный прибор, позволяющий подавать энергию для образования плазмы, как генератор смещения напряжения, или как один из многих генераторов в мульти-генераторной конфигурации.
ВЧ генераторы обеспечивают стабильность работы и точность подаваемой энергии во всем диапазоне подаваемых мощностей согласно классу АВ (по международной классификации для приборов этого класса), что дополнительно гарантирует высочайший класс данных высокочастотных генераторов.
| Модель ВЧ
генератора |
Мощность, Вт |
Частота, МГц |
Охлаждение |
Крепление в 19''стойку |
| ВЧ генератор R301
|
300
|
12.56, 13.56, 27.12, 40.68 |
Воздушное |
½ Rack |
| ВЧ генератор R601 |
600 |
12.56, 13.56, 27.12, 40.68
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц |
Воздушное |
½ Rack |
| ВЧ генератор R1001 |
1000 |
12.56, 13.56, 27.12, 40.68
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц |
Воздушное |
½ Rack |
| ВЧ генератор R1201 |
1200 |
12.56, 13.56, 27.12, 40.68
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц |
Водяное |
½ Rack |
| ВЧ генератор R2001 |
2000 |
12.56, 13.56, 27.12, 40.68
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц |
Водяное |
19” Rack |
| ВЧ генератор R3001 |
3000 |
12.56, 13.56, 27.12, 40.68
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц |
Водяное |
19” Rack |
| ВЧ генератор R5001 |
5000 |
13.56
1.7 – 2.1 МГц, шаг 1 кГц
|
Водяное |
19” Rack |
| ВЧ генератор R10001 |
10000 |
13.56 |
Водяное |
19” Rack |
| ВЧ генератор R15000 |
15000 |
13.56 |
Водяное |
19” Rack |
| ВЧ генератор R20001 |
20000 |
13.56 |
Водяное |
информация по требованию |
HR серия, Высокочастотные генераторы (ВЧ
генераторы), 1.7 – 40.68 МГц
Серия HR высокочастотных генераторов не имеет дисплея и кнопок управления на передней панели. Всё
управление происходит от компьютерного
интерфейса на задней панели ВЧ генератора.
ВЧ генераторы серии HR управляются системами контроля того оборудования или тех систем, в которые данные ВЧ генераторы установлены.
Модель
ВЧ
генератора |
Мощность, Вт |
Частота, МГц |
Охлаждение |
Крепление в 19''стойку |
| HR601
|
600
|
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
| HR1001 |
1000 |
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
| HR1501 |
1500 |
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
| HR2001-AC |
2000 |
13.56 |
Воздушное |
½ Rack |
| HR2001 |
2000 |
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
| HR3001 |
3000 |
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
| HR5001 |
5000 |
13.56 |
Водяное |
½ Rack |
|
|
2015-2020 
