АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

ВЧ генераторы. Главная страница
Высокочастотные генераторы SEREN
Высокочастотные согласующие устройства SEREN
Низкочастотные генераторы SEREN
ВЧ комплектующие SEREN
Высокочастотные согласующие устройства.





ATS серия – Устройства с автоматической согласующей схемой (1.7 – 40.68 МГц)

Автоматические согласующие устройства серии ATS - это современные и надежные приборы, удовлетворяющие всем требованиям наиболее взыскательных заказчиков и самых сложных приложений. Серия ATS пришла на смену серии AT > согласующих устройств, которые были образцом надежности и стабильности работы в течение предыдущих десятилетий. Выпускаемые с 2009 года, данные согласующие устройства, вобрав в себя лучшие достижения и технические решения предыдущих лет, значительно опережают по своим параметрам и надежности многих, даже широко известных на рынке, конкурентов.
Так, в серии ATS  автосогласующих устройств вместо серводвигателя установлен высокоскоростной шаговый двигатель для управления конденсаторами. Шаговые двигатели более долговечны в работе и позволяют производить более точную и быструю регулировку конденсаторами. Согласующие устройства серии ATS содержат встроенный контроллер для регулировки параметров работы в автоматическом режиме.
Все согласующие устройства серии ATS идут с программным обеспечением, имеющим визуальный интерфейс, что позволяет легко и удобно управлять автоматическим согласующим устройством с помощью персонального компьютера или ноутбука.
Для желающих, опционно, может быть приобретен дистанционный дисплей MRCS, который соединяется кабелем с автосогласующим устройством серии ATS. Данный дисплей позволяет наблюдать за параметрами работы автосогласующего устройства и с помощью кнопок управлять этими параметрами.

 
Модель
                      
Мощность, Вт Выходные параметры          Охлаждение                      Типы конденсаторов                   Размеры, (Ш×В×Г)                              
ATS-3 300 20 Amps @ 2.5 KV Воздушное Воздушный/Воздушный * 5” X 9” X15”
ATS-6/100 600 35 Amps @ 4.5 KV Водяное Воздушный/Вакуумный * 5” X 9” X15”
ATS-6/500 600 35 Amps @ 4.5 KV Водяное Воздушный/Вакуумный * 5” X 9” X15”
ATS-10 1000  50 Amps @ 9 KV Воздушное Вакуумный/Вакуумный * 6” X 13.2” X 13.4”
ATS-20 2000  65 Amps @ 9 KV Водяное Вакуумный/Вакуумный 6” X 13.13” X 13.38”
ATS-30 3000  75 Amps @ 9 KV Водяное Вакуумный/Вакуумный 6” X 13.13” X 13.38”
ATS-50/120 5000 120 Amps @ 6 KV Водяное Вакуумный/Вакуумный 7.5” X 14.7” X 14.4”
ATS-50/140 5000  140 Amps @ 6 KV Водяное Вакуумный/Вакуумный  9.5” X 16.13” X 17”
ATS-100/160 10-15 КВт 160 Amps @ 6KV Водяное Вакуумный/Вакуумный информация по требованию
ATS-150/180 15-20 КВт 180 Amps @ 6KV Водяное Вакуумный/Вакуумный информация по требованию
ATS-250/250 15-30 КВт 250 Amps @ 6KV Водяное Вакуумный/Вакуумный информация по требованию

Компания АКТАН будет рада помочь Вам определить нужную конфигурацию согласующего устройства (СУ) для Вашего плазменного процесса.
Для этого нам необходимо определить импеданс плазмы в Вашем процессе (действительную и мнимую часть) при зажигании плазмы и при нормальных рабочих условиях. Эти данные будут использованы для определения характеристик внутренних компонентов согласующего устройства.
Пожалуйста, скачайте и заполните опросный лист по подбору соответствующего согласующего устройства. Отправить опросный лист можно по e-mail или факсу.


 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика