ATS серия – Устройства с автоматической согласующей схемой (1.7 – 40.68 МГц)
Автоматические согласующие устройства серии ATS
- это современные и надежные приборы, удовлетворяющие всем требованиям наиболее взыскательных заказчиков и самых сложных приложений.
Серия ATS пришла
на смену серии AT >
согласующих устройств, которые были образцом
надежности и стабильности работы в течение
предыдущих десятилетий. Выпускаемые с 2009
года, данные согласующие устройства, вобрав
в себя лучшие достижения и технические
решения предыдущих лет, значительно
опережают по своим параметрам и надежности
многих, даже широко известных на рынке,
конкурентов.
Так, в серии ATS автосогласующих
устройств вместо серводвигателя установлен
высокоскоростной шаговый двигатель
для управления конденсаторами.
Шаговые двигатели более долговечны в работе
и позволяют производить более точную и
быструю регулировку конденсаторами. Согласующие устройства серии ATS содержат встроенный контроллер для регулировки
параметров работы в автоматическом режиме.
Все согласующие устройства серии ATS
идут с программным обеспечением, имеющим
визуальный интерфейс, что позволяет легко и удобно управлять автоматическим согласующим устройством с помощью персонального
компьютера
или ноутбука.
Для желающих, опционно, может быть приобретен дистанционный дисплей MRCS, который соединяется кабелем с автосогласующим
устройством серии ATS. Данный дисплей позволяет наблюдать за параметрами работы автосогласующего устройства и с
помощью кнопок управлять
этими параметрами.
Модель
Мощность, Вт
Выходные параметры
Охлаждение
Типы конденсаторов
Размеры, (Ш×В×Г)
ATS-3
300
20 Amps @ 2.5 KV
Воздушное
Воздушный/Воздушный
* 5” X 9” X15”
ATS-6/100
600
35 Amps @ 4.5 KV
Водяное
Воздушный/Вакуумный
* 5” X 9” X15”
ATS-6/500
600
35 Amps @ 4.5 KV
Водяное
Воздушный/Вакуумный
* 5” X 9” X15”
ATS-10
1000
50 Amps @ 9 KV
Воздушное
Вакуумный/Вакуумный
* 6” X 13.2” X 13.4”
ATS-20
2000
65 Amps @ 9 KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
6” X 13.13” X 13.38”
ATS-30
3000
75 Amps @ 9 KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
6” X 13.13” X 13.38”
ATS-50/120
5000
120 Amps @ 6 KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
7.5” X 14.7” X 14.4”
ATS-50/140
5000
140 Amps @ 6 KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
9.5” X 16.13” X 17”
ATS-100/160
10-15 КВт
160 Amps @ 6KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
информация по требованию
ATS-150/180
15-20 КВт
180 Amps @ 6KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
информация по требованию
ATS-250/250
15-30 КВт
250 Amps @ 6KV
Водяное
Вакуумный/Вакуумный
информация по требованию
Компания АКТАН будет рада помочь Вам определить нужную конфигурацию согласующего устройства (СУ) для Вашего плазменного процесса.
Для этого нам необходимо определить импеданс плазмы в Вашем процессе (действительную и мнимую часть) при зажигании плазмы и при нормальных рабочих условиях. Эти данные будут использованы для определения характеристик внутренних компонентов согласующего устройства. Пожалуйста,
скачайте и заполните опросный лист по подбору
соответствующего согласующего устройства.
Отправить
опросный
лист можно
по
e-mail
или
факсу.
2015-2020 
