2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Магнетроны для напыления в вакуумной камере круглых плоских мишеней серии ONYX давно стали стандартом в области вакуумного напыления, на который равняются и с которым сравнивают свои магнетроны другие производители. В дополнение к запатентованной улучшенной магнитной системе и системе водяного охлаждения турбулентным потоком данные магнетроны имеют следующие преимущества:
Большая линейка магнетронов по размерам распыляемых мишеней
Магнетроны доступны для установки круглых мишеней диаметром от 25 до 400 мм (от 1 до 16 дюймов) как для стандартных, так и для изготавливаемых под заказ магнетронов.

Большой выбор опций
Магнетроны имею большой выбор опций, что позволяет их использовать в самых разнообразных приложениях:
- регулируемый угол наклона головы магнетрона
- магнетрон для распыления ферромагнитных материалов
- высокотемпературный магнетрон (работает без водяного охлаждения до 200С)
- магнетрон с непосредственным охлаждением мишени
- магнетрон для работы в высоком вакууме (при давлении 10^-4 мм.рт.ст)
- возможны разные комбинации вышеперчисленных опций (например, высокотемпературный + распыление ферромагнитных материалов + регулируемый наклон головы магнетрона)

Большой рабочий диапазон давлений, повышенные мощности
Магнетроны серии ONYX могут работать в широком диапазоне давлений от 0,5 до 50 мТорр (5х10^-4 – 5х10^-2 мм.рт.ст), при этом магнетрон с непосредственным охлаждением мишени работает с мощностью до 30 Вт/см²

Совместимость с блоками питания разных типов
Низкий импеданс магнетронов позволяет использовать их с ВЧ генераторами, блоками питания постоянного тока, блоками питания средней частоты, импульсными блоками питания, и даже с СВЧ энергией. Данное преимущество будет полезно для вакуумных напылительных систем, приобретаемых лабораториями университетов, где важна универсальность оборудования в виду широкого круга стоящих задач. В такой вакуумной напылительной системе магнетрон может быть поочерёдно подключён к разным блокам питания, работая в одном процесс от блока питания постоянного тока, а в другом – от ВЧ генератора.

Компактная конструкция магнетронов
Компактная конструкция магнетронов позволяет создавать кластеры или сборки из нескольких магнетронов в меньшем пространстве по сравнению с магнетронами других производителей. Учитывая компактный размер магнетронов компании Angstrom Sciences, можно быть уверенным, что они всегда встанут на место заменяемых магнетронов других производителей, а при разработке и проектировании новых систем с большим количеством магнетронов можно использовать камеру меньшего размера.