Несмотря на то, что процесс магнетронного напыления известен давно, магнетроны для вакуумного напыления продолжают эволюционировать, подстраиваясь под новые задачи появляющихся новых приложений. Компания Angstrom Sciences Inc постоянно нацелена на улучшение характеристик выпускаемых магнетронов, чтобы полностью удовлетворить возрастающим требованиям к вакуумному магнетронному напылению в самых сложных приложениях.

Сегодня многие разработчики технологических процессов прописывают обязательное использование магнетронов Angstrom Science в закупаемых вакуумных магнетронных напылительных установках с целью обеспечить стабильность своих технологических процессов.

Основные отличия магнетронов Angstrom Sciences Inc для вакуумных напылительных систем, это: запатентованный дизайн магнитной системы, турбулентный поток воды для охлаждения мишеней, большая линейка по размерам и по опциям для магнетронов, а главное – большой коэффициент использования мишеней, высокая скорость распыления и повышенная равномерность распыления (и как результат – высокая равномерность напыляемого слоя).

Магнетроны для плоских круглых мишеней серии ONYX
Производимая линейка магнетронов для круглых мишеней является самой широкой из представленных на рынке, и позволяет подобрать магнетрон, наиболее полно учитывающий специфику вакуумного напыления. Магнетроны имеют продуманную конструкцию, которая позволяет легко заменить мишень простым откручиванием прижимного кольца, без использования винтов.

Магнетроны для мишеней диаметром от 2,5 до 40 см (1 - 16 дюймов), косвенное или непосредственное охлаждение мишеней, высокотемпературные магнетроны, магнетроны для распыления ферромагнитных материалов, магнетроны с наклоняемой головой.
Описание и спецификации данных магнетронов вы найдете в этом разделе.

 

Протяженные магнетроны для плоских прямоугольных мишеней
Для тех, кому необходимо напылять на изделия больших размеров, или нужна высокая производительность, протяженные магнетроны будут лучшем решением по сравнению с магнетронами для круглых мишеней. Протяженные магнетроны Angstrom Science используют запатентованную систему полностью капсулированных постоянных магнитов NdFeB и турбулентного потока охлаждающей воды, благодаря чему значительно улучшаются характеристики магнетронов.

Для подсоединения магнетронов используются стандартные фланцы стандартов ISO NW под уплотнение вакуумной резиной или фланцы ConFlat под уплотнение медным кольцом. Подсоединение воды и электропитания осуществляется на атмосфере, а не внутри вакуумной камеры.
Протяженные магнетроны могут работать с блоками питания постоянного тока, ВЧ генераторами, блоками питания средней частоты и высокоимпульсными блоками питания (HIPIMS).
Протяженные магнетроны выпускаются для мишеней шириной от 37 мм (1,5 дюйма) до 40 см (16 дюймов), длиной до 3,5 метра.

Магнетроны для протяженных цилиндрических вращающихся мишеней

 

 

 

 

Магнетроны под заказ
Если спецификации серийно выпускамемых магнетронов не удовлетворяют вашему приложению и стоящим перед вами задачам, или необходимо изготовлением стандартных магнетронов с нестандартным расположением магнетронов, заслонок или же их сборка, компания Angstrom Sciences Inc может изготовить магнетроны для вакуумных напылительных систем под заказ.