KDC 75 – компактный сеточный ионный источник. Диаметр источника – 14 см и он может крепиться на 8” фланец CF. KDC 75 подойдет для малых и средних вакуумных камер. Этот источник оснащен двумя нитевыми катодами, что увеличивает межсервисный интервал. Когда первый катод работает, второй выключен до тех пор, пока первый не выйдет из строя. Далее, не нарушая вакуум, включается неработающий катод и обеспечивает дальнейшую нормальную работу. KDC 75 предлагает уникальный набор сильно выгнутой ионной оптики, которая обеспечивает точную фокусировку пучка в установках ионного напыления. С другой стороны, эта же ионная оптика формирует выраженный дефокусированный пучок, необходимый для установок ионно-лучевого осаждения или ионного травления. Вместе с компактностью размеров KDC 75, эти сильно выгнутые сетки очень важны, если небольшие установки требуют малых расстояний между источником и распыляемой мишенью или подложкой.
Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 250 мА.