KDC 40 – небольшой и эффективный по стоимости сеточный ионный источник с удерживанием плазмы постоянным магнитным полем. Это – новая конструкция и модификация ранее популярного ионного источника Кауфмана с размером пучка 3 см. Он имеет сетку большего размера, большую прочность и большие возможности, которые предоставит самовыравниваемая трехсеточная ионная оптика. KDC 40 может обеспечить все процессы обработки ионным пучком, включая предварительную очистку, модификацию поверхности, ионно-лучевое осаждение, осаждение методом напыления, ионное травление и прямое напыление. Он совместим с инертными и химически активными газами, включая O2 и N2.
Универсальность KDC 40 оправдывает его место в списке технологического оборудования любой лаборатории, в которой производственные процессы включают напыление пленок и плазменное травление. Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 120 мА.
2015-2020 
