2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Плавное включение

Источники электронов имеют функцию плавного включения, обеспечивающую после включения постепенное нарастание мощности на катоде/нейтрализаторе. Такое плавное нарастание смягчает первоначальный скачок мощности и уменьшает потери времени на сервисное обслуживание для замены нагревающихся элементов.

Возможность модернизации

Из-за того, что источники электронов KRI поставляются в виде полностью законченного комплекта, они могут устанавливаться на ионные источники, которые уже работают на установках. Наиболее распространенный пример для такого случая: пользователь хочет установить неиммерсионный нейтрализатор на ионный источник, на котором в данный момент установлена иммерсионная нить. Возможность использования существующего оборудования и замены только источника электронов на желаемый обеспечивает эффективную по затратам модернизацию.

Конструкция крепления Sidewinder

Конструкция крепления нити eH Sidewinder™ для увеличения продолжительности службы нити по сравнению с типовыми временами наработки использует патентованную технологию. Эта инновационная разработка представляет собой недорогую нить особой конструкции, которая обеспечивает самое длительное из когда-либо достигнутых время работы до замены. В конструкции Sidewinder нитевой катод/нейтрализатор сдвинут в сторону от его обычного положения в центре пучка. Из-за того, что нить не полностью находится в месте высокой плотности тока ионов, ее эрозия от бомбардировки ионами уменьшается. Из-за уменьшения этого обычного износа, срок службы нити существенно увеличивается, что минимизирует риск прерывания процесса.

Регулируемая эмиссия

Для гарантии требуемого потока электронов мощность, подводимая к источникам электронов KRI, точно контролируется. Измерение и поддержание требуемой эмиссии электронов производится не только путем регулировки блока питания для поддержания необходимого тока электров, но и через контур обратной связи. Поскольку эмиссия электронов точно контролируется, источники электронов KRI представляют собой надежный инструмент для вашего приложения. Количество электронов точно соответствует количеству, необходимому для компенсации положительного заряда. Должным образом нейтрализованный ионный поток будет стабильным и будет поддерживать процесс на поверхности подложки электрически нейтральным. Это особенно важно, если в процессе обрабатываются диэлектрические, электрически изолированные или чувствительные к статическому электричеству подложки. Когда в процессе используется сомнительный источник электронов и нет уверенности, что ток эмиссии регулируется соответствующим образом, появляется риск накопления заряда и нестабильности процесса.