|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет линейку источников электронов с полым катодом
Источники электронов с полым катодом KRI разработаны на основе передовой технологии изготовления катодов. Наши патентованные катодные вставки изготавливаются полностью из металла и не содержат хрупких и дорогостоящих керамических деталей с низкими рабочими характеристиками. Надежная технология, использующая только металлы, обеспечивает катодам длительный срок службы и противостоит эффекту старения при работе в атмосфере химически-активных газов, что делает эти катоды хорошо подходящими для продолжительных рабочих циклов, работы в химически активных газах.
Полые катоды от KRI – компактные и легкие. Эти неиммерсионные нейтрализаторы могут устанавливаться на стенке ионного источника. Их межсервисный интервал существенно больше чем у иммерсионного нитевого источника. Большой межсервисный интервал полезен, когда проведение сложных процессов требует постоянной работы без перерывов. Кроме того, полые катоды KRi могут устанавливаться в высокопроизводительные шлюзовые модули, в которых нерегулярные откачки газа из камеры требуют надежного источника электронов с малым временем обслуживания и большим периодом безотказной работы. По сравнению с нитью, эти полые катоды излучают на подложку меньше тепловой энергии. В случаях, когда проводятся работы с чувствительными к температуре подложками, источники электронов с полыми катодами SHC 1000, MHC 1000 или LHC 1000 могут оказаться предпочтительными.
Основные характеристики
| Модель источника электронов с полым катодом |
SHC 1000 |
MHC 1000 |
LHC 1000 |
| Газ в источнике |
Инертные
(Ar, Xe)
|
Инертные
(Ar, Xe)
|
Инертные
(Ar, Xe)
|
| Ток эмиссии (макс) |
>1 A |
>5 A |
>10 A |
| Длина (номинал.) |
2.9" |
3.6" |
4.6" |
| Ширина (номинал.) |
1.5" |
2.3" |
2.3" |
| Рабочие газы |
Инертные,
активные,
смеси |
Инертные,
активные,
смеси |
Инертные,
активные,
смеси |
| Контроллер питания |
HC12015A |
HC12015A |
HC12015A |
| Установка |
Рядом с ИИ |
Рядом с ИИ |
Рядом с ИИ |
| Опции |
Неремонтопригодная версия |
|
Неремонтопригодная версия |
Модели:
SHC 1000
MHC 1000
LHC 1000
Опции:
Неремонтопригодная версия |
|
2015-2020 
