АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 

Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет линейку источников электронов



Компания Kaufman & Robinson предлагает несколько типов источников электронов с низкой энергией и большим током.

Компания Kaufman & Robinson предлагает несколько типов источников электронов с низкой энергией и большим током. Конструкции этих источников разные: от простых иммерсионных термоэлектронных нитей до неиммерсионных эмиттеров с полым катодом. Обычно эти источники электронов могут работать и как катод, и/или как нейтрализатор совместно с источником плазмы или ионов. Их работа в среде инертных или реактивных газов – нормальное явление. Ток эмиссии источников электронов измеряется и контролируется с помощью контура обратной связи по току. Из-за того, что они точны и надежны, источники электронов KRI успешно используются в чувствительных к статическому электричеству устройствах и в окружении диэлектрических материалов.

Kaufman & Robinson предлагает полностью законченные комплекты источников электронов. Эти комплекты включают компоненты, необходимые для инсталляции и работы этих источников электронов, в том числе источник электронов, контроллер питания, контроллер массового расхода, проходные вакуумные патрубки и кабели.

Как правило, электронные источники KRI работают в производственной среде обработки материалов. В большинстве случаев они устанавливаются как нейтрализаторы в ионные источники и также могут быть интегрированы в процесс ионизации. В других, более специализированных приложениях, они могут быть инсталлированы вместе с магнетронными катодами для модификации операций напыления.

• Нейтрализация пучка ионов

    Сеточные ионные источники, источники end-Hall, источники анодного слоя

• Ионизация при генерации плазмы

    Источники end-Hall, сеточные ионные источники

• Снятие заряда с заряженных статикой поверхностей

• Увеличение потока электронов при магнетронном распылении

Модель источника электронов
Нить Sidewinder SHC 1000 MHC 1000 LHC 1000
Установка
Иммерсионная
Неиммерсионная
Типовая энергия электронов
<40 эВ
<40 эВ
<50 эВ
<50 эВ
<50 эВ
<50 эВ
Газы – источники электронов
н/а
н/а
Инертные
(Ar, Xe)
Инертные
(Ar, Xe)
Инертные
(Ar, Xe)
Инертные
(Ar, Xe)
Структура эмиссии
Пространственная
зарядная
ограниченная
Плазменный мост
Регулируемые параметры
Ток эмиссии
Рабочие газы
Инертные,
активные,
смеси
Вид источника (типовой)
end-Hall,
сеточные
end-Hall,
анодного слоя,
сеточные
Процессы (типовые)
PC,
SM,
IBAD,
DD,
IBE,
IBSD
PC,
SM,
IBAD,
IBE,
IBSD,
космический полет
PC,
SM,
IBAD,
DD,
IBE,
IBSD


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика