Кварцевый датчик (держатель кварцевых кристаллов) Electron на 12 и 24 кристалла

Кварцевый датчик (держатель кварцевых кристаллов) Electron предназначен для применения в процессах напыления тонких пленок в высоком вакууме. Доступны две модификации устройства: Electron-12™ для установки 12-ти стандартных кварцевых кристаллов размером 14 мм; Electron-24™ - для 24 кристаллов размером 8,6 мм.

Благодаря использованию шагового двигателя, предназначенного для применения в вакуумной системе и обеспечивающего шаговое перемещение кварцевых кристаллов, устройство Electron™ по эксплуатационным характеристикам превосходит традиционные, часто характеризующиеся низкой степенью надежности, системы с пневматическим приводом. Система оснащена четвертьдюймовыми охлаждающими трубками (водяное охлаждение), что позволяет поддерживать термическую стабильность датчика (температура датчика и шагового двигателя находится в пределах оптимального диапазона значений), тем самым обеспечивая гибкость при установке сенсора.

В устройствах Electron™ рекомендуется использовать кварцевые кристаллы RC-cut™ (уникальная технология), что позволит расширить диапазон рабочей температуры до 200°C и увеличить срок службы кварцевого резонатора. При оснащении системы Electron™ контроллером Nucleus Plus™ увеличивается ресурс оборудования, гарантируются высочайшие надежность, точность и превосходные эксплуатационные характеристики:

Номера по каталогу:

PTMS-12: кварцевый датчик (держатель кварцевых кристаллов) Electron на 12 кристаллов

PTMS-24: кварцевый датчик (держатель кварцевых кристаллов) Electron на 24 кристалла

Технические характеристики кварцевых датчиков (держателей кварцевых кристаллов) Electron на 12 и 24 кристалла

• Максимальная рабочая температура: с водяным охлаждением, кварцевые кристаллы АТ-среза (AT-cut): 90°C (с водяным охлаждением), кристаллы RC-cut: 90°C
• Максимальная температура: 115°C.
• Размер: диаметр 119,4 мм (4,7”) x 141 мм (5,55”).
• Соединения: один (1) BNC-разъем для кварцевого кристалла, один (1) 9-контактный разъем электропривода, два (2) фитинга VCR с внутренней резьбой для подключения системы охлаждения.
• Длина линии электрического подключения: 760 мм (30”), по запросу длина определяется согласно индивидуальным требованиям заказчика.
• Длина линии подачи воды: определяется индивидуально в каждом конкретном случае.
• Установка: устройство монтируется на кронштейне 44,45 мм (1,75”) x 76,3 мм (3,00”), схемы расположения отверстий могут быть адаптированы к индивидуальным требованиям клиента.
• Ввод: фланец 2,75 ConFlat™, возможна конфигурация в соответствии с индивидуальными требованиями клиента. Характеристики системы подачи воды: расход воды 200 см3/мин (50 фунт-сила/дюйм2) и 20°C.
• Материалы: корпус 304SS, крепления 18-8 и 316SS, позолоченные латунные контакты, коаксиальный кабель для тока высокого напряжения, изолированный провод Kapton™, изоляция PTFE.
• Кварцевые кристаллы: сменные кристаллы АТ-среза (AT-cut) (в стандартном исполнении или в исполнении «премиум») либо RC-cut размером 12х14 мм.