Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет кварцевые измерители скорости напыления и толщины пленки.


Кварцевые измерители толщины TM13, TM14

Измерение скорости осаждения тонких плёнок и толщины напыляемой плёнки является одним из самых критичных моментов для многих процессов вакуумного напыления или вакуумного осаждения из газовой  или паровой фазы, особенно при напылении сверхтонких плёнок в десятки нанометров.

Описание кварцевых измерителей толщины пленок и скорости напыления

Устройства для измерения толщины TM13 и TM14 состоят из: кварцевого осциллятора, измерителя частоты и коммуникативного интерфейса. На вход устройства поступает сигнал от кварцевого резонатора. Результаты измерений передаются с помощью RS232 в ПК или контроллер кварцевых измерителей TMC13.

Технические характеристики кварцевого измерителя толщины TM13

• Разрешающая способность по частоте: 0,1 Гц
• Количество измерений в секунду: 4 (фиксированное значение)
• Максимальная частота осциллятора: 6 МГц
• Стабильность частоты: 0,5 ppm
Возможно удаленное управление кварцевым измерителем TM13 через контроллер измерителей толщины TMC13 или ПК.
Дополнительные опции: ? Интерфейс RS485 (указывается при заказе)

Технические характеристики кварцевого измерителя толщины TM14

• Разрешающая способность по частоте: 0,01 Гц
• Количество измерений в секунду: 0,5; 1; 2; 4; 10 (настраивается)
• Максимальная частота осциллятора: 6 МГц
• Стабильность частоты: 0,5 ppm
Возможно удаленное управление кварцевым измерителем TM14 через контроллер измерителей толщины TMC13 или ПК.
Дополнительные опции: ? Интерфейс RS485 (указывается при заказе)

Спецификация кварцевых измерителей толщины TM13 и TM14