АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ  

Смотреть другие модели кварцевых измерителей толщины тонких пленок




Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет кварцевые измерители скорости напыления и толщины пленки.


Кварцевые измерители толщины TM13, TM14

Кварцевые измерители скорости напыления и толшины напыленных пленок вакуумными методами
Измерение скорости осаждения тонких плёнок и толщины напыляемой плёнки является одним из самых критичных моментов для многих процессов вакуумного напыления или вакуумного осаждения из газовой  или паровой фазы, особенно при напылении сверхтонких плёнок в десятки нанометров.

Описание кварцевых измерителей толщины пленок и скорости напыления

Устройства для измерения толщины TM13 и TM14 состоят из: кварцевого осциллятора, измерителя частоты и коммуникативного интерфейса. На вход устройства поступает сигнал от кварцевого резонатора. Результаты измерений передаются с помощью RS232 в ПК или контроллер кварцевых измерителей TMC13.

Технические характеристики кварцевого измерителя толщины TM13

• Разрешающая способность по частоте: 0,1 Гц
• Количество измерений в секунду: 4 (фиксированное значение)
• Максимальная частота осциллятора: 6 МГц
• Стабильность частоты: 0,5 ppm
Возможно удаленное управление кварцевым измерителем TM13 через контроллер измерителей толщины TMC13 или ПК.
Дополнительные опции: ? Интерфейс RS485 (указывается при заказе)

Технические характеристики кварцевого измерителя толщины TM14

• Разрешающая способность по частоте: 0,01 Гц
• Количество измерений в секунду: 0,5; 1; 2; 4; 10 (настраивается)
• Максимальная частота осциллятора: 6 МГц
• Стабильность частоты: 0,5 ppm
Возможно удаленное управление кварцевым измерителем TM14 через контроллер измерителей толщины TMC13 или ПК.
Дополнительные опции: ? Интерфейс RS485 (указывается при заказе)

Спецификация кварцевых измерителей толщины TM13 и TM14

Основные характеристики кварцевых измерителей толщины тонкх пленок Кварцевый иземиреть ТМ13     Кварцевый иземиреть ТМ14     
Напряжение питания 5В постоянного тока
Максимальное значение тока 500 мА
Разрешающая способность по толщине 0.1 Å 0.01 A
Разрешающая способность по скорости напыления 0.1 Å/с 0.01 Å/с
Разрешающая способность по частоте 0,1 Гц 0,01 Гц
Стабильность частоты 0,5 ppm 0,5 ppm
Число измерений в секунду 4 0,5; 1; 2; 4; 10 (настраивается)
Коммуникационный интерфейс RS232
Размеры, мм ШхВхГ 80х50х27
Вес (приблизительно) 0,1 кг


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика