АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ  

Смотреть другие модели кварцевых измерителей толщины тонких пленок




Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет систему измерения скорости напыления и толщины напыляемых пленок.


Контроллер для измерения скорости и толщины напыляемой пленки TMC-13

Описание контроллера TMC-13 кварцевых измерителей

Контроллер TMC-13 для кварцевых измерителей скорости и толщины напыляемой пленкиTMC13 — новейший контроллер для наблюдения и контроля за любыми процессами напыления. Данный контроллер кварцевых измерителей имеет 6 входов для кварцевых измерителей напыления и 2 доп.входа для датчиков давления. Наличие сенсорного 7" дисплея делает контроллер кварцевых измерителей универсальным для всех видов напылительных процессов. Каждый вход может быть настроен для конкретного материала со своими особыми параметрами. Высокая скорость и точность измерений, получаемые при обработке данных процессором DSP, увеличивает качество получаемой пленки и повторяемость результата.

Контроллер ТМС13 работает совместо с кварцевыми измерителями TM13 и TM14 толщины и скорости напыления.

Технические характеристики контроллера TMC-13 кварцевых измерителей

• 6 каналов для кварцевых измерителей толщины
• Сенсорный 7" дисплей
• Интуитивный мультиязыковой интерфейс
• Компактная конструкция
• 2 входа для измерителей давления
• До 8 программируемых выходов для заслонок и других функций
• Релейные выходы
• 2 программируемых аналоговых выхода для контроля скорости и толщины напыления с разрешением 16 бит
• Коммуникационный интерфейс: RS232/485, Ethernet
• 6МГц кристалл промышленного стандарта
• Разрешающая способность по частоте: 0,1 Гц для TM13 или 0,01 Гц для TM14
• Библиотеки Rapid SE и LabVIEW
• Поддержка до 2 голов сенсоров с несколькими кристаллами (пневматический или моторный привод)
• Модуль для построения 2D графиков в режиме реального времени (опционально)
• Изменение типа материала и единиц измерения одним нажатием
• Список избранных материалов • Сохраняемые пользовательские настройки
• Встроенные обучающие видео

Спецификация контроллера TMC-13 кварцевых измерителей толщины TM13 и TM14

Основные характеристики контроллера кварцевых измерителей толщины Значения характеристик
Напряжение питания 100-240 VAC, 50/60 Гц (максимальная мощность 100 Вт)
Количество входов для измерителей TM 6
Диапазон толщины 0-9999000 Å
Диапазон скорости напыления 0-9999 Å/s
Разрешающая способность по частоте 0,1 Гц для TM13, 0,01 Гц для TM14
Диапазон частот 2-6 МГц
Разрешающая способность по толщине 0.1 Å для TM13, 0.01 Å для TM14
Разрешающая способность по скорости напыления 0.1 Å/с для TM13, 0.01 Å/с для TM14
Поправочный коэффициент 1-400%
Единицы измерения Å, кÅ, нм
Период измерения 100 мс — 2 с (зависит от типа TM)
Управление задвижкой Ручное, по времени, по толщине
Время работы задвижки 1 - 1000000 с
Количество входов для датчиков давления 2
Совместимые модели датчиков давления (двухканальные) CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251, PCR280, ATMION
Единицы измерения давления Торр, мбар, Па, Psia
Время дегазации 1-3 мин
Количество выходов 8 релейных выходов (2 выхода с общим, НО и НЗ контактами), 2 аналоговых выхода 0-10 В (толщина, скорость, давление)
Количество входов 4 цифровых входа 24 В
Пользовательский интерфейс Сенсорный дисплей 7 дюймов
Коммуникационный интерфейс RS232/485, Ethernet
Протокол MODBUS-TCP
Размеры, мм ШхВхГ 212,6х128,4х260,9
Вес (приблизительно) 3 кг



Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика