|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет систему измерения скорости напыления и толщины напыляемых пленок.
Контроллер для измерения скорости и толщины напыляемой пленки TMC-13
Описание контроллера TMC-13 кварцевых измерителей
 TMC13 — новейший контроллер для наблюдения и контроля за любыми процессами напыления. Данный контроллер кварцевых измерителей имеет 6 входов для кварцевых измерителей напыления и 2 доп.входа для датчиков давления. Наличие сенсорного 7" дисплея делает контроллер кварцевых измерителей универсальным для всех видов напылительных процессов. Каждый вход может быть настроен для конкретного материала со своими особыми параметрами. Высокая скорость и точность измерений, получаемые при обработке данных процессором DSP, увеличивает качество получаемой пленки и повторяемость результата.
Контроллер ТМС13 работает совместо с кварцевыми измерителями TM13 и TM14 толщины и скорости напыления.
Технические характеристики контроллера TMC-13 кварцевых измерителей
• 6 каналов для кварцевых измерителей толщины
• Сенсорный 7" дисплей
• Интуитивный мультиязыковой интерфейс
• Компактная конструкция
• 2 входа для измерителей давления
• До 8 программируемых выходов для заслонок и других функций
• Релейные выходы
• 2 программируемых аналоговых выхода для контроля скорости и толщины напыления с разрешением 16 бит
• Коммуникационный интерфейс: RS232/485, Ethernet
• 6МГц кристалл промышленного стандарта
• Разрешающая способность по частоте: 0,1 Гц для TM13 или 0,01 Гц для TM14
• Библиотеки Rapid SE и LabVIEW
• Поддержка до 2 голов сенсоров с несколькими кристаллами (пневматический или моторный привод)
• Модуль для построения 2D графиков в режиме реального времени (опционально)
• Изменение типа материала и единиц измерения одним нажатием
• Список избранных материалов
• Сохраняемые пользовательские настройки
• Встроенные обучающие видео
Спецификация контроллера TMC-13 кварцевых измерителей толщины TM13 и TM14
| Основные характеристики
контроллера кварцевых измерителей толщины |
Значения характеристик |
| Напряжение питания |
100-240 VAC, 50/60 Гц (максимальная мощность 100 Вт) |
| Количество входов для измерителей TM |
6 |
| Диапазон толщины |
0-9999000 Å |
| Диапазон скорости напыления |
0-9999 Å/s |
| Разрешающая способность по частоте |
0,1 Гц для TM13, 0,01 Гц для TM14 |
| Диапазон частот |
2-6 МГц |
| Разрешающая способность по толщине |
0.1 Å для TM13, 0.01 Å для TM14 |
| Разрешающая способность по скорости напыления |
0.1 Å/с для TM13, 0.01 Å/с для TM14 |
| Поправочный коэффициент |
1-400% |
| Единицы измерения |
Å, кÅ, нм |
| Период измерения |
100 мс — 2 с (зависит от типа TM) |
| Управление задвижкой |
Ручное, по времени, по толщине |
| Время работы задвижки |
1 - 1000000 с |
| Количество входов для датчиков давления |
2 |
| Совместимые модели датчиков давления (двухканальные) |
CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251, PCR280, ATMION |
| Единицы измерения давления |
Торр, мбар, Па, Psia |
| Время дегазации |
1-3 мин |
| Количество выходов |
8 релейных выходов (2 выхода с общим, НО и НЗ контактами), 2 аналоговых выхода 0-10 В (толщина, скорость, давление) |
| Количество входов |
4 цифровых входа 24 В |
| Пользовательский интерфейс |
Сенсорный дисплей 7 дюймов |
| Коммуникационный интерфейс |
RS232/485, Ethernet |
| Протокол |
MODBUS-TCP |
| Размеры, мм |
ШхВхГ 212,6х128,4х260,9 |
| Вес (приблизительно) |
3 кг |
|
|
