2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Автоматическое согласующее устройство ATN-5

ATN-5 – автосогласующее устройство для работы с ВЧ генератором мощностью до 500 Вт при частоте 13.56 МГц.

Автоматическое согласующее устройство ATN-5 предназначено для согласования параметров электрической цепи (импенданса электрической цепи) с целью уменьшения мощности ВЧ энергии, поступающей обратно в ВЧ генератор. Автосогласующее устройство обеспечивает значение реактивного импеданса на выходе из высокочастотного генератора на уровне 50 Ом (величина, задаваемая спецификацией ВЧ генератора).
Во время поджига плазмы и горения плазменного разряда происходит согласование импеданса электрической цепи, заключающееся в небольшом изменении значения импеданса всей цепи, приводящее к стабильному поджигу и затем стабильному поддержанию плазменного разряда. Изменение плотности плазменного разряда (например, при увеличении давления в вакуумной камере) приводит к изменению общего импеданса всей электрической цепи (плазма, провода, согласующее устройство, ВЧ генератор), при этом автосогласующее устройство будет будет таким образом менять импеданс самого устройства (изменением ёмкости конденсаторов), чтобы обеспечить значение общего реактивного импенданса всей электрической цепи на уровне 50 Ом. Это обеспечивается специальным детектором, который управляет моторами автосогласующего устройства.

Автосогласующее устройство состоит из двух раздельных частей: согласующий тюнер (который изменяет импеданс электрической цепи) и контроллер PT-II-CE, который управляет автоматическим тюнером. Данная двухмодульная конструкция значительно облегчает и удешевляет сервисное обслуживание автосогласующего устройства ВЧ генератора. Согласующий тюнер (matching network) имеет вакуумную ёмкость и изменяемую невакуумную (воздушную) емкостную нагрузку.

Согласующий тюнер предполагается имеет “L” конфигурацию, что позволяет ВЧ генератору и согласующему устройству стабильно работать, когда в качестве нагрузки выступает плазменный разряд (квазинейтральный ионизованный газ, т.е. частично ионизованный газ с нулевым объёмным зарядом). Данный метод является наиболее эффективным методом регулировки импеданса для передачи ВЧ энергии в плазменных приложениях.

Контроллер PT-II-CE автосогласующего устройства – автономный блок, обеспечивающий питание согласующего тюнера и управление сервомоторами согласующего тюнера. Он также подаёт питание на вентиляторы согласующего тюнера. На передней панели имеются элементы управления для работы как в ручном, так и автоматическом режимах. Он также обеспечивает предустановку потенциометров, обеспечивающую эффективный поджиг плазмы и её стабильное горение.
 

ATN-5 – автосогласующее устройство для работы с ВЧ генератором мощностью до 500 Вт при частоте 13.56 МГц. Регулируемый широкий диапазон значений импеданса.
- возможность работы в ручном или автоматическом режимах
- разные типы выходов: N, HN, STUD
- существует модель для работы с частотой 27.12 МГц
- версии с водяным или воздушным охлаждением
- небольшие габаритные размеры
- предназначен для работы с любой нагрузкой 50 Ом
 

PT-II-CE – универсальный контроллер для автосогласующего устройства ВЧ генератора
- удалённое управление контроллером для встраивания в автоматическую систему управления вакуумной напылительной системы
- позволяет работать в ручном, автоматическом или дистанционном режимах управления
- твердотельная компонентная база для долговременной работы
- лёгкий, простой и понятный интерфейс управления
- вес всего 1 кг
- питание 100-240В переменного тока (50 или 60 Гц)
- может быть использован чтобы заменить существующие контроллеры согласующими устройствами для вч генераторов
 

Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии. Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой). Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период высокочастотных генераторов.