2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Высокочастотный генератор RF-6-XIII для установки плазменного напыления, травления, чистки подложек в вакуумных напылительных установках, активации поверхностей при вакуумной обработке.

ВЧ генератор RF-6-XIII мощностью 600 Вт при генерируемой частоте 13.56 МГц

- мощность ВЧ генератора при 13.56 МГц составляет 600 Вт
- вес 10 кг
- напряжение питания 100-240 В
- небольшие габаритные размеры
- твердотельная электроника для длительного срока службы
- воздушное охлаждение
- управляющее напряжение 0-5В (опционно: 0-10В)
- полностью дистанционное управление
- RS-232 интерфейс управления
- габаритные размеры 17.8 х 20.3 х 48.3 см (ВхШхГ)
- ширина составляет половину от стандартной 19 дюймовой стойки
- удобная передняя панель управления с цифровыми показаниями подаваемой и отраженной энергии
- возможна поставка без активной передней панели (заглушенная передняя панель
- только для дистанционного управления ВЧ генератором через аналогово-цифровые интерфейсы управления)

Примеры областей применения ВЧ генератора RF-6-XIII:
Установки плазменного напыления
Установки плазменного травления
Чистка подложек в вакуумных напылительных установках
Активация поверхностей при вакуумной обработке
Полупроводниковое производство


Ниже Вы можете ознакомится с наглядным примером заказа полного комплекта ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления - магнетрона.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

Рисунок 2. Полностью собранный комплект ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона), показывающий все необходимые соединения кабелями.

На фотографиях изображены следующие позиции:

1. ВЧ генератор

2. Согласующее устройство для ВЧ генератора

3. Контроллер автосогласующего устройства ( включен в комплект  согласующего устройства для ВЧ генератора)

4. Кабель от ВЧ генератора к согласующему устройству (цена зависит от длины/типа кабеля)

5. Кабель от контроллера автосогласующего устройства к магнетрону (цена зависит от длины/типа соединения кабеля)

6. Кабель от контроллера к согласующему устройству (включен в комплект  автосгласующего устройства)

7. Кабель электропитания (включен в комплект поставки ВЧ генератора)

8. Магнетрон

Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии. Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой). Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период высокочастотных генераторов.