АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

ВЧ генераторы. Главная страница
Высокочастотные генераторы RFVII


Высокочастотный генератор RF-3-XIII для установки плазменного напыления, травления, чистки подложек в вакуумных напылительных установках.

ВЧ генератор RF-3-XIII мощностью 300 Вт при генерируемой частоте 13.56 МГц

- мощность ВЧ генератора при 13.56 МГц составляет 300 Вт
- вес 6 кг
- напряжение питания 100-240 В
- небольшие габаритные размеры
- твердотельная электроника для длительного срока службы
- воздушное охлаждение
- управляющее напряжение 0-5В (опционно: 0-10В)
- полностью дистанционное управление
- RS-232 интерфейс управления
- габаритные размеры 14 х 19.1 х 39.4 см (ВхШхГ)
- ширина составляет половину от стандартной 19 дюймовой стойки
- удобная передняя панель управления с цифровыми показаниями подаваемой и отраженной энергии
- возможна поставка без активной передней панели (заглушенная передняя панель - только для дистанционного управления ВЧ генератором через аналогово-цифровые интерфейсы управления)

Примеры областей применения ВЧ генератора
RF-3-XIII:

Полупроводниковое производство
Установки плазменного напыления
Установки плазменного травления
Чистка подложек в вакуумных напылительных установках
Активация поверхностей при вакуумной обработке


Ниже Вы можете ознакомится с наглядным примером заказа полного комплекта ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления - магнетрона.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

 

Рисунок 2. Полностью собранный комплект ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона), показывающий все необходимые соединения кабелями.

Рисунок 2. Полностью собранный комплект Вч генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона), показывающий все необходимые соединения кабелями.

 

На фотографиях изображены следующие позиции:

1. ВЧ генератор

2. Согласующее устройство для ВЧ генератора

3. Контроллер автосогласующего устройства ( включен в комплект  согласующего устройства для ВЧ генератора)

4. Кабель от ВЧ генератора к согласующему устройству (цена зависит от длины/типа кабеля)

5. Кабель от контроллера автосогласующего устройства к магнетрону (цена зависит от длины/типа соединения кабеля)

6. Кабель от контроллера к согласующему устройству (включен в комплект  автосгласующего устройства)

7. Кабель электропитания (включен в комплект поставки ВЧ генератора)

8. Магнетрон
 

Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии. Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой). Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период высокочастотных генераторов.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2024 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика