Высокочастотный генератор RF-1-XXVII для создания индуктивно связанной плазмы в вакуумных напылительных системах и других приложений.
ВЧ генератор RF-1-XXVII мощностью 100 Вт при генерируемой частоте 27.12 МГц
- мощность ВЧ генератора при 13.56 МГц составляет 100 Вт
- напряжение питания 100-240 В
- небольшие габаритные размеры
- твердотельная электроника для длительного срока службы
- воздушное охлаждение
- управляющее напряжение 0-5 В (опционно: 0-10 В)
- полностью дистанционное управление
- RS-232 интерфейс управления
- габаритные размеры 7.4 х 19.1 х 29.2 см (ВхШхГ)
- вес 1,8 кг
Примеры областей применения ВЧ генератора RF-1-XXVII:
Создание индуктивно связанной плазмы
Индукционный нагрев
Медицинские приложения
Ниже Вы можете ознакомится с наглядным примером заказа полного комплекта ВЧ генератора
и согласующего устройства для питания одного источника
напыления - магнетрона.
Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в
неподсоединенном виде со всеми необходимыми кабелями.
Рисунок 2. Полностью собранный комплект ВЧ генератора и согласующего
устройства для питания одного источника напыления (магнетрона),
показывающий все необходимые соединения кабелями.
На фотографиях изображены следующие позиции:
1. ВЧ генератор
2. Согласующее устройство для ВЧ генератора
3. Контроллер автосогласующего устройства ( включен в комплект
согласующего устройства для ВЧ генератора)
4. Кабель от ВЧ генератора к согласующему устройству (цена зависит от
длины/типа кабеля)
5. Кабель от контроллера автосогласующего устройства к магнетрону (цена
зависит от длины/типа соединения кабеля)
6. Кабель от контроллера к согласующему устройству (включен в комплект
автосгласующего устройства)
7. Кабель электропитания (включен в комплект поставки ВЧ генератора)
8. Магнетрон
Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии.
Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой).
Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период
высокочастотных генераторов.
|