2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

Высокочастотный генератор RF-1-XIII для плазменных установок, вакуумных напылительных систем и других приложений.

ВЧ генератор RF-1-XIII мощностью 100 Вт при генерируемой частоте 13.56 МГц
 

- мощность ВЧ генератора при 27.12 МГц составляет 100 Вт
- напряжение питания 100-240 В
- небольшие габаритные размеры
- твердотельная электроника для длительного срока службы
- воздушное охлаждение
- управляющее напряжение 0-5 В (опционно: 0-10 В)
- полностью дистанционное управление
- RS-232 интерфейс управления
- габаритные размеры 7.4 х 19.1 х 29.2 см (ВхШхГ)
- вес 1,8 кг

Примеры областей применения ВЧ генератора RF-1-XIII:
Полупроводниковое производство,
установки плазменного напыления,
установки плазменного травления,
чистка подложек в вакуумных напылительных установках,
активация поверхностей при вакуумной обработке.

Ниже Вы можете ознакомится с наглядным примером заказа полного комплекта ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления - магнетрона.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

Рисунок 2. Полностью собранный комплект высокочастотного генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона) со всеми  необходимыми  кабелями.

На фотографиях изображены следующие позиции:

1. ВЧ генератор

2. Согласующее устройство для ВЧ генератора

3. Контроллер автосогласующего устройства ( включен в комплект  согласующего устройства для ВЧ генератора)

4. Кабель от ВЧ генератора к согласующему устройству (цена зависит от длины/типа кабеля)

5. Кабель от контроллера автосогласующего устройства к магнетрону (цена зависит от длины/типа соединения кабеля)

6. Кабель от контроллера к согласующему устройству (включен в комплект  автосгласующего устройства)

7. Кабель электропитания (включен в комплект поставки высокочастотного генератора)

8. Магнетрон

Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии. Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой). Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период высокочастотных генераторов.