ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет
системы измерения напряжения тонких плёнок,
системы картографирования толщины пленок, установки видеоконтроля и измерения тонкопленочных
покрытии.
Система измерения напряжения в тонких плёнках серии FSM 128.
Система измерения напряжения в тонких плёнках FSM 128 позволяет измерять образцы до 200 мм, система FSM128L – до 300 мм, FSM-128G предназначена для тестирования плоских панелей, и позволяет измерять прогиб (напряжение в плёнке) в панелях размером до 550х650 мм. Спецификация системы измерения напряжения в тонких плёнках FSM 128
Ручная система FSM 128-NT (200
мм) картографирования напряжений в тонкой
пленке и изгиба пластины.
Система является полуавтоматическим инструментом для измерения напряжения при комнатной температуре. Напряжение в пластине определяется путем измерения искривления пластины до и после осаждения пленки на кремниевые пластины.
Спецификация системы FSM 128-NT (200 мм) картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины
Устройство FSM 413-200 для картографирования толщины пластин.
Бесконтактное измерение толщины сверхтонких пластин, изготовленных методом шлифования или химического травления. Измеряет структурированные пластины с контактными выводами, установленные на ленты или наклеенные на носители, для микроэлектромеханических устройств с многоярусным размещением кристаллов. Спецификация FSM 413-200 для картографирования толщины пластин
Система FSM 4pp-C2C для
картографирования поверхностного
сопротивления слоя.
Используется для получения характеристик процесса, управления процессом, квалификационного испытания инструмента и разработки новых пленок, используемых в полупроводниках, микроэлектромеханических системах и нанотехнологиях. Спецификация системы FSM 4pp-C2C для картографирования поверхностного сопротивления слоя
Система видеоконтроля и измерения тонкопленочных покрытий серии FSMA VideoMic с разделением по осям.
Серия FSMA VideoMic с разделением по осям обеспечивает быстрое
бесконтактное измерение по трем осям
координат с повышенной точностью. Такая
возможность позволяет пользователю проверять
критически важные размеры на опытных
изделиях, промышленных образцах или в полном
производственном цикле. Спецификация видеоконтроля и измерения тонкопленочных покрытий серии FSMA VideoMic с разделением по осям
Система измерения FSM RTH профиля поверхности с построением трехмерного изображения.
Устройство «все в одном», сочетающее видеомикроскопию и
объемное топографирование поверхности. Технология двух измерений для гладких и неровных поверхностей. Гибкое устройство с колонкой объективов на 6 позиций.
Спецификация системы измерения FSM RTH профиля поверхности с построением трехмерного изображения
