Измерение толщины напыляемой пленки во время процесса вакуумного напыления может быть выполнено с высокой точностью и аккуратностью с помощью кварцевых микровесов (кварцевых резонаторов). При идеальных условиях возможно добиться точности измерения тонких плёнок ангстремного уровня. На практике, однако, это редко происходит.
Монитор (или контроллер) для измерения толщины тонких плёнок измеряет изменение резонансной частоты осциллирующего кварцевого кристалла во время осаждения на кристалле атомов напыляемого вещества. Если плотность напыляемого материала известна, толщина напыляемой плёнки рассчитывается и выводится на экран в режиме реального времени. Монитор для измерения толщины тонких плёнок проводит расчёты, исходя из предположения, что изменение резонансной частоты происходит только из-за изменения массы вещества, осаждаемого на кварцевом кристалле. Однако, кварцевый кристалл может менять свою резонансную частоту, когда он подвергается термическому или механическому воздействию.
В типичном процессе вакуумного напыления тонких плёнок оба этих воздействия имеют место: кварцевые микровесы подвергаются нагреву от источников тепла, при конденсации атомов на поверхности кварцевого кристалла в осаждаемой плёнке образуются механические напряжения, во время магнетронного или дугового напыления высокоэнергетичные ионы или атомы также воздействуют на кристалл. Часто все эти факторы воздействуют одновременно. При получении сверхтонких плёнок в диапазоне от 10 до 100 ангстрем совместное воздействие этих факторов приводит к ошибке измерения толщины пёнки на величину 100% и более. В результате, процесс вакуумного напыления становится фактически неконтролируемым.
С целью уменьшить влияние вышеописанных факторов была разработана и запатентована новая серия кварцевых микровесов (кварцевых резонаторов), которые менее чувствительны к термическому воздействию и напряжению, образующемуся в напыляемой плёнке. Данные кристаллы не показывают пик в скорости напыления при открытии заслонки источника напыления. Далее, шум, образующийся при воздействии высокоэнергетичных атомов и ионов значительно меньше. Всё это является большим преимуществом при измерении тонких плёнок, особенно в таких приложениях как OLED, прецизионное напыление оптических плёнок, последние технологии, связанные с производством электронных приборов с нанометровым разрешением.

Образцы кварцевых резонаторов серии RC™.

PHT06RCIG: Золото PHT06RCA: Алюминий PHT06RCS: Серебро Частота:5.975-5.993 МГц Сопротивление: <40 Ом Полировка: 7 мкм Диаметр: 14 мм (0.550") Форма: плосковыпуклая 10 штук/упак.	PHT05RCBG: Золото PHT05RCBA: Алюминий PHT05RCBS: Серебро Частота:4.960-4.975 МГц Сопротивление: <40 Ом Полировка: 7 мкм Диаметр: 14 мм (0.550") Форма: плосковыпуклая 10 штук/упак.	PHT05RCSG: Золото PHT05RCSA: Алюминий PHT05RCSS: Серебро Частота:4.990-5.000 МГц Сопротивление: <40 Ом Полировка: 7 мкм Диаметр: 12.5 мм (0.490") Форма: плосковыпуклая 10 штук/упак.