АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ  

Кварцевые кристаллы


Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет кварцевые резонаторы для измерения толщины тонких плёнок.

Кварцевые резонаторы серии RC™

Измерение толщины напыляемой пленки во время процесса вакуумного напыления может быть выполнено с высокой точностью и аккуратностью с помощью кварцевых микровесов (кварцевых резонаторов). При идеальных условиях возможно добиться точности измерения тонких плёнок ангстремного уровня. На практике, однако, это редко происходит.
Монитор (или контроллер) для измерения толщины тонких плёнок измеряет изменение резонансной частоты осциллирующего кварцевого кристалла во время осаждения на кристалле атомов напыляемого вещества. Если плотность напыляемого материала известна, толщина напыляемой плёнки рассчитывается и выводится на экран в режиме реального времени. Монитор для измерения толщины тонких плёнок проводит расчёты, исходя из предположения, что изменение резонансной частоты происходит только из-за изменения массы вещества, осаждаемого на кварцевом кристалле. Однако, кварцевый кристалл может менять свою резонансную частоту, когда он подвергается термическому или механическому воздействию.
В типичном процессе вакуумного напыления тонких плёнок оба этих воздействия имеют место: кварцевые микровесы подвергаются нагреву от источников тепла, при конденсации атомов на поверхности кварцевого кристалла в осаждаемой плёнке образуются механические напряжения, во время магнетронного или дугового напыления высокоэнергетичные ионы или атомы также воздействуют на кристалл. Часто все эти факторы воздействуют одновременно. При получении сверхтонких плёнок в диапазоне от 10 до 100 ангстрем совместное воздействие этих факторов приводит к ошибке измерения толщины пёнки на величину 100% и более. В результате, процесс вакуумного напыления становится фактически неконтролируемым.
С целью уменьшить влияние вышеописанных факторов была разработана и запатентована новая серия кварцевых микровесов (кварцевых резонаторов), которые менее чувствительны к термическому воздействию и напряжению, образующемуся в напыляемой плёнке. Данные кристаллы не показывают пик в скорости напыления при открытии заслонки источника напыления. Далее, шум, образующийся при воздействии высокоэнергетичных атомов и ионов значительно меньше. Всё это является большим преимуществом при измерении тонких плёнок, особенно в таких приложениях как OLED, прецизионное напыление оптических плёнок, последние технологии, связанные с производством электронных приборов с нанометровым разрешением.

Образцы кварцевых резонаторов серии RC™.
Кварцевые резонаторы для измерения толщины тонких плёнок с помощью кварцевых микровесов. Кварцевые резонаторы для измерения толщины тонких плёнок с помощью кварцевых микровесов. Кварцевые резонаторы для измерения толщины тонких плёнок с помощью кварцевых микровесов.
PHT06RCIG: Золото
PHT06RCA: Алюминий
PHT06RCS: Серебро

Частота:5.975-5.993 МГц
Сопротивление: <40 Ом
Полировка: 7 мкм
Диаметр: 14 мм (0.550")
Форма: плосковыпуклая

10 штук/упак.
PHT05RCBG: Золото
PHT05RCBA: Алюминий
PHT05RCBS: Серебро

Частота:4.960-4.975 МГц
Сопротивление: <40 Ом
Полировка: 7 мкм
Диаметр: 14 мм (0.550")
Форма: плосковыпуклая

10 штук/упак.
PHT05RCSG: Золото
PHT05RCSA: Алюминий
PHT05RCSS: Серебро

Частота:4.990-5.000 МГц Сопротивление: <40 Ом
Полировка: 7 мкм
Диаметр: 12.5 мм (0.490")
Форма: плосковыпуклая

10 штук/упак.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика