|
Компания АКТАН
ВАКУУМ поставляет блок питания постоянного тока Т-3000 мощностью 3 кВт
для резистивного испарения
Блок питания постоянного тока Т-3000 для
резистивного распыления разработан компанией Sycon (Сайкон, США) специально для работы с резистивными источниками питания
 для испарения материалов с целью напыления в вакууме. Данный блок питания был разработан специально с учётом всех специфических требований, которые предъявляет метод резистивного испарения (термического испарения) в вакууме. Блок питания для резистивного испарения Т-3000 обеспечивает стабильное значения силы тока при больших значениях силы тока в сотни Ампер при низковольтной нагрузке в единицы вольт.
Для оператора доступны несколько методов контроля выходной мощности блока питания Т-3000
резистивного испарителя. Самый простой – подаётся управляющее постоянное напряжение для регулировки выходного значения силы тока. Обратная связь по значению силы тока используется для стабилизации силы тока, выдаваемому блоком питания на нагрузку (лодочку для испарения), которая поддерживается в соответствии с подаваемым на вход блока питания управляющим напряжением.
Следующий, более сложный уровень управления – совместная работа данного блока питания для резистивного испарения и контроллера RS-3000.
Данный контроллер позволяет оператору ввести нужное значение силы тока с заданным уровнем увеличения силы тока в начальный момент работы резистивного испарителя с целью контроля возникающего напряжения в испаряемом материале вследствие быстрого увеличения его температуры.
Контроллер для блока питания резистивного испарителя также регулирует заданный уровень мощности, подаваемый на резистивный испаритель. Контроллер RS-3000 также обеспечивает автоматическое выключение блока питания Т-3000 при возникновении разных чрезвычайных ситуаций.
| Контроллер RS-3000. Внешний вид. |
| (Для увеличенного просмотра в новом окне, нажмите на фотографию). |
 |
 |
 |
Большим преимуществом блока питания для резистивного испарения Т-3000 является возможность его прямого подключения к контроллерам для измерения скорости напыления с целью поддержания требуемой скорости напыления.
Наибольшая функциональность получается при конфигурации, когда блок питания для
резистивного испарения
T-3000 используется совместно с контроллером RS-3000 и
контроллером для измерения скорости напыления STC-2002. Данная конфигурация позволяет установить заданную скорость напыления и поддерживать её с использованием обратной связи, обеспечивает работу в соответствии с заданными установочными точками и уровнем подаваемой на резистивный испаритель мощности, а также другие функции по мониторингу и контролю процесса резистивного испарения.
Блок питания для резистивного испарения Т-3000 и контроллер RS-3000 для управления блоком питания Т-3000
для резистивного испарения - полный и удобный комплект для создания системы вакуумного резистивного напыления (термического напыления).
Блок питания для термического испарения Т-3000 имеет малое время отклика, составляющее менее 100 мс для диапазонов токов от 250 до 500 А.
Спецификация блока питания для резистивного испарения Т-3000:
- Выходная мощность: 3000 Вт при входном питании 230 В переменного тока.
- Выходные значения мощности и силы тока: 600 А при 5 В, 300 А при 10 В
- Параметры питающей электросети: 180-264 В, 47-63 Гц, 18 А при напряжении 230 В.
- Коэффициент мощности: >0.99 при полной нагрузке
- Мониторинг выходного значения силы тока: аналоговый сигнал 1 В эквивалентен силе тока 100 А
- Мониторинг выходного значения напряжения: аналоговый сигнал 1 В эквивалентен напряжению 1,5 В
- Защита по избыточному значению силы тока и по повышенной температуре (светодиодный индикатор для повышенной температуры)
- Размер: (В х Ш х Г, мм) 290 х 133 х 320
- Вес: 15 кг
- Окружающая температура: 0 – 50 ˚С при полной нагрузке
- Охлаждение: принудительное, 2 встроенных вентилятора
- Выходные коннекторы: плоские шины
- Коннектор для контроля и мониторинга: DB15 (входные управляющие сигналы, контроль выходного напряжения и силы тока, сигналы для мониторинга статуса (состояния) блока питания)
| Блок питания
для резистивного испарения Т-3000. Внешний вид.д. |
| (Для увеличенного просмотра в новом окне,
нажмите на фотографию). |
 |
 |
|
Блок питания для термического напыления Т-3000 производится компанией Sycon (США), которая успешно работает в области создания
контроллеров для измерения скорости напыления вакуумными методами более 30 лет, и знает все нюансы, особенности и предъявляемые требования для узлов и оборудования, устанавливаемых в вакуумных напылительных системах.
Компания АКТАН ВАКУУМ является эксклюзивным представителем компании Sycon в России и
Белоруссии, имеет в штате инженеров, прошедших обучение в компании Sycon и оказывает гарантийное и послегарантийное обслуживание на всю линейку оборудования компании Sycon.
|
|
2015-2020 
