|
Компания АКТАН
ВАКУУМ поставляет модульные блоки питания постоянного тока
для магнетронного напыления серии Maris GX
Источники питания
постоянного тока для магнетронного напыления GX60, GX80, GX100 и GX150 серии Maris представляют собой компактные блоки питания постоянного тока, которые были разработаны для надёжного магнетронного напыления при использовании магнетронных систем напыления как на промышленных предприятиях, так и в исследовательских лабораториях.
Простая и безопасная работа модульных источников питания постоянного тока делает эти источники питания подходящими для многих процессов. Автоматическая обработка (гашение)
возникающих микродуг, возможность настроить различные параметры процесса, большой выбор интерфейсов управления, удобная передняя панель, высокое качество немецкой сборки делает блоки питания серии
Maris GX лучшим выбором для установок
магнетронного напыления, работающими с магнетронами, для которых нужны блоки питания постоянного тока в диапазоне от
6кВт до 15кВт.
Обращаем ваше внимание, что блоки питания постоянного тока поставляются в двух версиях: с напряжением 800 В и 1000 В.
Блоки питания постоянного тока для магнетронного напыления GX60-GX150 серии
Maris GX имеют водное охлаждение.
Модульные блоки питания постоянного тока для магнетронного напыления компании ADL имеют панель, которая легко монтируется в 19 – дюймовые стойки управления.
Отличительные характеристики источников питания постоянного тока
для магнетронов вакуумных напылительных систем серии
Maris GX
• Выходная мощность 6.0 - 15.0 кВт
• Водяное охлаждение
• Размер: половина Rack 19” стойки, высота 3U
• Возможность выбора интерфейса (аналоговый, Profibus, RS-232)
• Отображение напряжения, тока и мощности
• Автоматическая отработка возникающих микродуг
Таблица. Характеристики источников питания постоянного тока серии Maris GX60 – GX150.
Основные характеристики
источников питания постоянного тока
магнетрона |
GX60 |
GX80 |
GX100 |
GX150 |
Номинальная мощность,
кВт |
6.0 |
8.0 |
10.0
|
15.0
|
Выходное напряжение, В |
800 или 1000 |
Сила тока, А |
15.0 |
20.0 |
25.0
|
38.0
|
Управление |
Сила тока, напряжение или мощность |
Управление |
Внешнее через аналого-цифрововые интерфесы AS4,
AS4F или Profibus |
Установочное значение |
В диапазоне 0...100% от номинального значения
напряжения, силы тока или мощности
|
Выходная точность,% |
+/- 1% от номинального значения
напряжения, силы тока или мощности
|
Подавление дуг |
Время гашения дуги: от 3 до 6 мс, автоматически
Время задержки: от 6 до 10 мс, автоматически
|
Напряжение, В |
Трёхфазное 3х400 |
Потребляемая мощность, кВА |
6.6 |
9.0 |
11.0 |
16.5 |
Размеры, мм
|
щирина: 1/2 от 19 дюймовой
стойки
высота: 130.0 мм (3HU)
глубина: 590 мм |
Вес, кг |
21 |
23 |
23 |
25 |
С 2013 года компания является эксклюзивным представителем компании ADL в России, Беларуси и Украине. Инженеры компании обеспечат сервисное гарантийное и послегарантийное обслуживание блоков питания постоянного тока пр-ва ADL для вакуумного магнетронного напыления.
Вы можете попробовать ваши магнетроны в работе с блоками питания мощностью 1 кВт и 10 кВт, которые в демонстрационных целях всегда имеются на нашем складе во Фрязино.
|
|