|
Компания АКТАН
ВАКУУМ поставляет модульные блоки питания постоянного тока для
магнетронного напыления серии Maris GS. Источники питания для
магнетронов.
Источники питания постоянного тока для магнетронного напыления GS05, GS10, GS15, GS20 и GS30 серии Maris представляют собой
компактные блоки питания постоянного тока, которые были разработаны для надёжного магнетронного напыления при использовании магнетронных систем напыления как на промышленных предприятиях, так и в исследовательских лабораториях.
Простая и безопасная работа модульных источников питания постоянного тока делает эти источники питания подходящими для многих процессов. Автоматическая обработка (гашение)
возникающих микродуг, возможность настроить различные параметры процесса, большой выбор интерфейсов управления, удобная передняя панель, высокое качество немецкой сборки делает блоки питания серии Maris GS лучшим выбором для установок
магнетронного напыления, работающими с магнетронами, для которых нужны блоки питания постоянного тока в диапазоне от 500 до 3000 Вт .
Обращаем ваше внимание, что блоки питания постоянного тока поставляются в двух версиях: с напряжением 800 В и 1000 В.
Блоки питания постоянного тока для магнетронного напыления GS05-GS30 серии MS имеют воздушное охлаждение.
Модульные блоки питания постоянного тока для магнетронного напыления компании ADL имеют панель, которая легко монтируется в 19 – дюймовые стойки управления.
Отличительные характеристики источников питания постоянного тока
для магнетронов вакуумных напылительных систем серии
Maris GS
• Выходная мощность 0.5 - 3.0 кВт
• Воздушное охлаждение
• Размер: половина Rack 19” стойки, высота 3U
• Возможность выбора интерфейса (аналоговый, Profibus, RS-232)
• Отображение напряжения, тока и мощности
• Ручное управление на передней панели (если выбрана активная панель)
• Автоматическая отработка возникающих микродуг
Таблица. Характеристики источников питания постоянного тока серии Maris GS05 – GS30.
Основные характеристики
источников питания постоянного тока
магнетрона |
GS05 |
GS10 |
GS15 |
GS20 |
GS30 |
Номинальная мощность,
кВт |
0.5 |
1.0 |
1.5
|
2.0
|
3.0 |
Выходное напряжение, В |
800 или 1000 |
Сила тока, А |
0.9 |
1.7 |
3
|
3.5
|
5.3 |
Управление |
Сила тока, напряжение или мощность |
Режим работы |
Ручное с панели управления или внешнее через аналого-цифрововые интерфесы AS4 или Profibus |
Установочное значение |
В диапазоне 0...100% от номинального значения
напряжения, силы тока или мощности
|
Выходная точность,% |
+/- 1% от номинального значения
напряжения, силы тока или мощности
|
Подавление дуг |
Время гашения дуги: от 3 до 6 мс, автоматически
Время задержки: от 6 до 10 мс, автоматически
|
Напряжение, В |
Однофазное 220 |
Трёхфазное 3х400 |
Потребляемая мощность, кВА |
0.6 |
1.2 |
1.8 |
2.4 |
3.6 |
Размеры, мм
|
щирина: 1/2 от 19 дюймовой
стойки
высота: 132.5 мм (3HU)
глубина: 560 мм |
Вес, кг |
11 |
12 |
С 2013 года компания является эксклюзивным представителем компании ADL в России, Беларуси и Украине. Инженеры компании обеспечат сервисное гарантийное и послегарантийное обслуживание блоков питания постоянного тока пр-ва ADL для вакуумного магнетронного напыления.
Вы можете попробовать ваши магнетроны в работе с блоками питания мощностью 1 кВт и 10 кВт, которые в демонстрационных целях всегда имеются на нашем складе во Фрязино.
|
|