Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет держатели кварцевых сенсоров для измерения скорости напыления и толщины тонких пленок.

Вакуумные сенсоры для измерения толщины и скорости напыления плёнок
(вакуумные держатели кварцевых датчиков (микровесов)).

Поставляемые нами держатели кварцевых сенсоров для измерения скорости напыления и толщины плёнки производятся в США, надёжные в работе, лёгко обслуживаются, и при этом имеют привлекательную цену. Предлагаем вам наиболее спрашиваемые и распространённые модели держателей кварцевых кристаллов для измерения толщины тонких плёнок.

Возможно изготовление на заказ под вашу задачу.

Гибридный вакуумный датчик измерения скорости напыления плёнок (кварцевый кристалл и осциллятор расположены в одном корпусе)

Исторически, когда появились первые кварцевые микровесы, осциллятор был совмещён с кварцевым датчиком, они оба находились в вакууме в одном корпусе. Данная конструкция была громоздкая, дорогая, и обычно не пригодная для последующего ремонта. По мере того, как улучшалась микропроцессорная техника и конструкция осцилляторов, последние удалось вынести из вакуумной камеры. На сегодняшний день большинство измерителей скорости напыления делаются по данной идеологии: кварцевый сенсор – внутри вакуумной камеры, осциллятор – снаружи.
Данная конструкция хорошо работает в большинстве приложений. Однако расстояние между кварцевым кристаллом и осциллятором ограничено ёмкостью (т.е. длиной) кабеля. Большинство производителей измерителей скорости напыления рекомендуют размещать осциллятор не далее 75 см от кварцевого сенсора, гарантируя в этом случае оптимальную работу и срок жизни кварцевого кристалла. Более длинные кабели снижают срок жизни кварцевых кристаллов измерителей скорости напыления тонких плёнок. Для больших систем вышеописанное ограничение длины кабеля может быть проблемой при их проектировании.
Разработанная новая технология гибридных микросхем позволила создать недорогую и компактную конструкцию вакуумного датчика измерения скорости напыления тонких плёнок, что облегчило конструирование больших вакуумных напылительных систем и размещение в них измерителей толщины плёнок. Теперь датчики кварцевых микровесов могут располагаться в камере в тех местах, где это требует техпроцесс. Длина вакуумных кабелей для подключения датчиков кварцевых микровесов значительно, в разы, увеличилась. К датчику подходит одна водяная линия, которая охлаждает как сам кварцевый кристалл, так и электронику. А расположение в одном корпусе кварцевого кристалла и осциллятора значительно увеличивают срок службы кристалла, а также повышает надёжность измерений всей системы.


Преимущества гибридного вакуумного датчика измерения скорости напыления плёнок (кварцевый кристалл и осциллятор расположены в одном корпусе)

■  Длина вакуумного кабеля может быть увеличена до 3 метров ■  Компактный сенсор, лёгкая модернизация имеющихся систем
■  Лёгкая смена кварцевого кристалла, надёжный дизайн для работы в сложных техпроцессах
■  Линии охлаждения воды большого диаметра - 3/16”
■  Один коаксиальный кабель +5V
■  Прочная и надёжная вакуум-плотная конструкция
■  Совместимы с другими предлагаемыми нами продуктами
■  Возможна конструкция с заслонкой

Спецификация гибридного вакуумного датчика измерения скорости напыления плёнок.

Размер без заслонки:
• 30 х 20 мм
Размер с заслонкой:
• 30 х 37 мм
Максимальная температура:
• 150 ºC
Линия охлаждения:
• 75 см (в стандартной поставке)
Соединение:
• MicroDot Miniature
Материалы:
• 304 нерж. сталь, Тефлон, керамика
Материал для пайки:
• Высоковакуумный сплав Ni/Cr/Cu
Длина кабеля до контроллера:
• 9 метров (в сумме, внутривакуумоного и атмосферного)