Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет мониторы Eon-LT для прецизионного измерения скорости напыления и толщины пленки.


USB монитор для измерения толщины и скорости напыления плёнки.

Измерение скорости осаждения тонких плёнок и толщины напыляемой плёнки является одним из самых критичных моментов для многих процессов вакуумного напыления или вакуумного осаждения из газовой  или паровой фазы, особенно при напылении сверхтонких плёнок в десятки нанометров. При этом прецизионный контроль скорости напыления вакуумными методами всегда был затруднён из-за температурных флуктуаций в рабочей вакуумной камере, которые вносили погрешность в измеряемую скорость напыления и  толщину напыляемой сверхтонкой плёнки. Также просто повышенные температуры (даже без флуктуаций температуры) приводят к неточности измерения скорости напыления, так как температура влияет на изменение частоты кварцевого кристалла, установленного в датчике измерения толщины (некоторые используют терминологию микровесы измерения скорости напыления). Эксперименты показывают, что один и тот же измеритель толщины без температурной компенсации, работающий со стандартными кварцевыми кристаллами, при одинаковой скорости напыления даёт показания, отличающиеся в 2 раза, если измерения проводились при температурах 100 °С и 200 °С.

По этой причине на рынок был предложен монитор с температурной компенсацией серии Eon-LT для измерения скорости напыления вакуумными методами. Данный монитор одновременно измеряет частоту колебания и температуру кварцевого кристалла. Температура учитывается при пересчёте реальной скорости напыления. Сочетание одновременного измерения частоты и температуры позволяет получать беспрецедентную точность мониторинга скорости и толщины пленки в режиме реального времени. Именно по этой причине монитор Eon-LT превосходит обычные мониторы, которые являются слепыми к изменениям температуры кристалла микровесов для измерения скорости напыления.

Отличие монитора от контроллера заключается в том, что монитор не имеет обратной связи для регулирования скорости вакуумного напыления, а используется только для индикации текущего значения скорости напыления.

В то время как монитор Eon-LT ™ совместим с датчиками измерения скорости напыления других производителей, мы рекомендуем его использовать в паре с датчиком Феникс ™ (датчик измерения скорости напыления, имеющий встроенную термопару) в сочетании с кристаллами серии AT или RC ™, работающими на частоте 6 МГц. Только в этом случае (использование правильного монитора, датчика, кристалла) вы получаете реальную скорость вакуумного напыления, без учёта негативного влияния повышенных температур.

Отличительные особенности

• Измерение частоты кристалла, расчёт скорости напыления с температурной компенсацией
• Подключение двух датчиков измерения скорости напыления
• Высокая точность измерения частоты кристалла: 0.001 Гц на частоте 6 МГц
• Поддержка открытия / закрытия заслонки (реле)
• Индикатор состояния нагревателя на блоке и в программном обеспечении
• Система контроля температуры, которая считывает температуру с точностью +/- 1 °C
• Удобное программное обеспечение, поставляемое с монитором (без дополнительной платы)
• До 255 мониторов Eon-LT могут быть объединены в одну сеть
• Интерфейс RS-232 для связи с компьютером
• Компактный дизайн, размер монитора 12 х 6.5 х 2.5 см
• Питание от 24 В постоянного тока