АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы



Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 

Все системы анализа тонких пленок


Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы картографирования сопротивления поверхностного слоя и тока утечки.

Система картографирования сопротивления поверхностного слоя и тока утечки FSM RsL200/300
Бесконтактное измерение поверхностного сопротивления слоя и тока утечки для устройств с солнечными батареями, фотодиодами, светодиодами и лазерными диодами.
Система картографирования сопротивления поверхностного слоя и тока утечки FSM RsL200/300
• Бесконтактное измерение фотонапряжения с электронно-дырочным переходом p-n, с анализом поверхностного сопротивления слоя и плотности тока утечки.
• Измерение тока утечки через переход на неструктурированных пластинах.
• Широкий диапазон чувствительности измерений:
Фотонапряжение перехода: от 0,01 до ~10 мВ (для низкой интенсивности света)
Сопротивление слоя: от 10 до более 100 000 Ом/квадрат
Ток утечки: 10-7—10-2 A/см2
Глубина перехода: ~5 нм – > 5 мкм.
• Автоматизированное калибрование поверхностного напряжения.
• Высокая воспроизводимость измерений сопротивления поверхностного слоя, < 0,3 % (для 100 повторных тестов, одна точка), независимо от глубины перехода.
• Возможность быстрого картографирования: ~1000 точек менее чем за 4 мин.
• Имеются полностью автоматизированные (например, c двойной системой FOUP1 300 мм) и компактные версии R&D.



Автоматизированное калибрование поверхностного напряжения. Высокая воспроизводимость измерений сопротивления поверхностного слоя, < 0,3 % (для 100 повторных тестов, одна точка), независимо от глубины перехода.  Возможность быстрого картографирования: ~1000 точек менее чем за 4 мин. Имеются полностью автоматизированные (например, c двойной системой FOUP 300 мм) и компактные версии R&D.

                      RsL100 300 мм. Инструмент картографирования
                      поверхностного сопротивления слоя и тока
                      утечки. (Вариант с одинарным портом
                                        загрузки/выгрузки FOUP)

 

 

 

Принцип измерения:
Автоматизированное калибрование поверхностного напряжения. Высокая воспроизводимость измерений сопротивления поверхностного слоя, < 0,3 % (для 100 повторных тестов, одна точка), независимо от глубины перехода.  Возможность быстрого картографирования: ~1000 точек менее чем за 4 мин. Имеются полностью автоматизированные (например, c двойной системой FOUP 300 мм) и компактные версии R&D.Инструмент картографирования RsL100 использует бесконтактный способ определения поверхностного сопротивления слоя и плотности тока утечек, который объединяет фотогенерацию носителей с анализом амплитуды и фазы измерения измерения вентильной фото-ЭДС перехода (JPV). Датчик RsL состоит из модулированного по яркости луча света и двух емкостных электродов (рис. 1).
 

 

Рис. 1. Датчик поверхностного сопротивления слоя и тока утечек FSM RsL100, показывающий образование носителей
под световым пучком и дрейф носителей под двумя электродами датчика напряжения.

Электронно-дырочные пары образуются энергией поглощения фотонов на освещенном участке. Диффузия и дрифт носителей отслеживаются на прозрачном (V1) и смещенном (V2) электродах. Напряжение под датчиком согласно уравнению 1 (в упрощенной одномерной модели).

V = A*e-kx                                                                                 (уравн. 1)

где:
x = расстояние от датчика до освещенного участка
k = [Rs*G + i w*Rs*Cs] 1/2
Rs = сопротивление слоя в переходе
G = проводимость перехода
Cs = емкость подложки
w = 2p*частота световой модуляции.

Путем анализа амплитуд и относительных фаз в JPV как функции частоты световой модуляции можно определить проводимость перехода G и сопротивление слоя в переходе Rs. Зависимость проводимости перехода и плотности тока утечки Io выражается уравнением 2.

G = Io*(q/kT)                                                                                 (уравн. 2)

где:
G = проводимость перехода
Io = амплитуда утечки в переходе
q = электрический заряд
k = постоянная Больцмана
T = температура пластины (K)
I = плотность тока утечки в электронно-дырочном p-n переходе. = Io *[e(qV/kT) –1]
V = напряжение смещения в переходе.

Автоматизированное калибрование поверхностного напряжения. Высокая воспроизводимость измерений сопротивления поверхностного слоя, < 0,3 % (для 100 повторных тестов, одна точка), независимо от глубины перехода.  Возможность быстрого картографирования: ~1000 точек менее чем за 4 мин. Имеются полностью автоматизированные (например, c двойной системой FOUP 300 мм) и компактные версии R&D.

Рис. 2. Карта Rs (слева) и диаметральное скан-изображение (справа) для отожженного мелкого
перехода RTP (~20 нм) с высокой неравномерностью местного нагрева.

Спецификации Измерения:
Сопротивление слоя: от 10 до более 100 000 Ом/квадрат
Воспроизводимость Rs: < 0,3 % (100 циклов)
Ток утечки: 10-7—10-2 A/см2
Рабочий диапазон: Глубина перехода: 10 нм – > 5 мкм
Доза: от 1011 до >1016 ионов/см2
Контурные и цветные карты, линейное сканирование
Производительность:
Карты 973 точки менее чем за 4 мин.; карты 30 000 точек (разрешение 1 мм) менее чем за 30 мин.; карты 72 000 точек (разрешение 1 мм) менее чем за 60 мин.
Схема:
Двойной прот FOUP 300 мм: 1,16 (ширина) х 2,01 (глубина) м
С ручной подачей 300/200: 0,67 (ширина) х 0,92 (глубина) м

Конфигурация:
Инструмент RsL имеется в полуавтоматическом исполнении (ручная подача пластин) и в варианте «из кассеты в кассету» (С2С) для пластин 200 и 300 мм.
RsL100 300 мм Инструмент картографирования поверхностного сопротивления слоя и тока утечки. (Вариант с одинарным FOUP)


1 FOUP: Front Opening Unified Pod - Унифицированная тара для хранения и перевозки полупроводниковых пластин


 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика